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题名绝缘电介质薄膜中空间电荷分布测量技术的研究进展
被引量：8
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作者
郑飞虎
张冶文
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机构
同济大学电气工程系
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出处
《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第7期2460-2470,共11页
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基金
国家自然科学基金(51477119)。
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文摘
绝缘电介质薄膜广泛用作为高压电气设备中的绝缘材料和传感器件中电介质功能材料,如果用在直流高压应用条件下,空间电荷分布是其重要的特性表征。如果用于功能电介质,空间电荷分布是其功能实现的决定性因素之一。为此总结了厚度为数微米至几十微米的薄膜电介质中空间电荷分布测量方法的研究进展,按照测量的空间分辨率分别介绍了压力波法、热扰动法、电声反射法和基于飞秒脉冲激光器光电测量方法的测量原理。比较了这几种测量方法的特点,讨论了影响测量分辨率的几个关键因素:如对介质的扰动方式、对介质响应信号的探测方式以及对响应信号处理的解卷积方法。压力波法和热扰动法是其中较为成熟有效的测量方法,分辨率介于亚微米及数微米之间,扰动方法及信号监测都相对容易实现,而热扰动法虽然较容易实现亚微米分辨率,但数据处理较为繁琐。目前还处于试探阶段的电声反射法的测量基于网络分析仪,具微米级空间分辨率。基于飞秒脉冲激光器光电测量法是对传统压力波法或电声脉冲法的改进,通过太赫兹窄脉冲扰动,利用光电方式实现极高带宽测量,能够实现数十纳米级空间分辨率。
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关键词
薄膜电介质
空间电荷分布
空间分辨率
压力波法
热扰动法
电声反射法
光电测量法
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Keywords
dielectrics films
space charge distribution
spatial resolution
pressure wave propagation method
thermal perturbation method
electroacoustic reflection method
photoelectric measurement method
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分类号
TM933.23
[电气工程—电力电子与电力传动]
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题名电子用三甲基硅烷（美国Dow Corning）
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出处
《有机硅氟资讯》
2002年第1期31-31,共1页
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关键词
美国Dow
Corning公司
推出
半导体级
三甲基硅烷
用途
薄膜电介质
化学蒸汽淀积
硅来源气体
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分类号
TQ264.11
[化学工程—有机化工]
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