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磁控溅射沉积钌薄膜的微观结构及生长过程 被引量：4
1
作者 沈月 余登德 +5 位作者 王书明 许彦亭 王传军 施晨琦 闻明 杜风贞 《贵金属》 CAS CSCD 北大核心 2020年第3期44-52,共9页
采用射频磁控溅射,通过改变基底温度、溅射时间、基底形貌,制备不同参数的钌薄膜。结果表明,该工艺制备的钌薄膜均没有明显的择优取向。随着溅射温度的升高,薄膜的致密性不断提高,表面由平整向起伏型结构转变,晶粒尺寸出现先增大后减小... 采用射频磁控溅射,通过改变基底温度、溅射时间、基底形貌,制备不同参数的钌薄膜。结果表明,该工艺制备的钌薄膜均没有明显的择优取向。随着溅射温度的升高,薄膜的致密性不断提高,表面由平整向起伏型结构转变,晶粒尺寸出现先增大后减小的趋势。随着溅射时间的增加,晶粒尺寸小幅增加,晶粒由圆形状演变为致密的长条状。在表面形貌较平坦的基底上更易获得光滑而致密的钌薄膜。在此基础上,研究并讨论了不同基底形貌上钌薄膜的生长方式。 展开更多
关键词 磁控溅射 钌薄膜 微观形貌 薄膜生长模型
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计算机模拟在薄膜生长模型中的应用
2
作者 张永生 《技术与市场》 2016年第1期45-46,共2页
薄膜技术在现代科技领域中有着广泛的应用。人们对薄膜的生长过程通过理论和实验进行了深入的研究,其中计算机模拟是重要的方法。阐述了计算机模拟薄膜生长研究在纳米材料设计中的重要意义。归类介绍了常见的薄膜生长模型、原理及方法,... 薄膜技术在现代科技领域中有着广泛的应用。人们对薄膜的生长过程通过理论和实验进行了深入的研究,其中计算机模拟是重要的方法。阐述了计算机模拟薄膜生长研究在纳米材料设计中的重要意义。归类介绍了常见的薄膜生长模型、原理及方法,并详细对比了分子动力学、蒙特卡罗和量子力学3类方法、原理及应用特点。结合不同的方法与原理,以分子动力学结合蒙特卡罗模型为重点,简要评述了这些模型及模拟特点,并提出了作者的一些见解。 展开更多
关键词 计算机模拟 薄膜生长模型 应用
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