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薄膜型敏感元件近况简介 被引量：1
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作者 张桂成 《传感技术学报》 CAS CSCD 1991年第2期63-66,共4页
薄膜材料的研究为许多领域提供了新颖的功能材料,发展了新型的功能器件。本文旨在着重介绍近年来薄膜型压力、温度、光敏、色敏、磁敏的国内外研究与开发现状。 1 薄膜型压力敏感元件 1.1 多晶硅、微晶硅压力敏感元件 国外,美国威斯康... 薄膜材料的研究为许多领域提供了新颖的功能材料,发展了新型的功能器件。本文旨在着重介绍近年来薄膜型压力、温度、光敏、色敏、磁敏的国内外研究与开发现状。 1 薄膜型压力敏感元件 1.1 多晶硅、微晶硅压力敏感元件 国外,美国威斯康森大学在有预设氧化隔离层的硅衬底上,采用LPCVD技术淀积微晶粒多晶硅膜,制成压敏电阻。由于器件是全硅结构,消除了膨胀系数不同的影响,在工艺上取消了正反面对准和KOH腐蚀;以薄膜技术,得到严格的尺寸容差,并已研制出具有12×12阵列、量程为一个大气压的器件。 展开更多
关键词 薄膜材抖 压力敏感元件 温度敏感元件 光敏敏感元件 色敏敏感元件 磁敏敏感元件
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