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蒸发镀膜机改制平面磁控溅射镀膜机的研制
1
作者 仲永安 张怀武 《陕西师大学报（自然科学版）》 CSCD 1990年第2期86-87,共2页
1 磁控溅射机理为了克服二极溅射淀积速率低及基片温度高两大缺点,笔者在蒸发镀膜机二极靶的后面加适当形状的磁铁,使其在靶面形成水平磁场。这样,处于辉光放电阴极区的电子,同时受到电场力和洛仑磁力作用,作旋轮线运动,电子运动路径大... 1 磁控溅射机理为了克服二极溅射淀积速率低及基片温度高两大缺点,笔者在蒸发镀膜机二极靶的后面加适当形状的磁铁,使其在靶面形成水平磁场。这样,处于辉光放电阴极区的电子,同时受到电场力和洛仑磁力作用,作旋轮线运动,电子运动路径大大增加,碰撞电离机会增多, 展开更多
关键词 镀膜机 蒸发镀膜机 溅射 磁控
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基于Nelder-Mead算法的PVD加热器结构优化
2
作者 周皓天 张勤芳 +1 位作者 卢倩 龙汝磊 《盐城工学院学报（自然科学版）》 CAS 2023年第3期65-72,共8页
为提高蒸发镀膜机内基板温度均匀性,以蒸发镀膜机为研究对象进行建模,采用COMSOL有限元软件对真空环境下的基板加热器温度场进行有限元仿真,并耦合PID算法用于温度控制,揭示了基板温度分布规律。在此基础上对基板温度均匀性的影响因素... 为提高蒸发镀膜机内基板温度均匀性,以蒸发镀膜机为研究对象进行建模,采用COMSOL有限元软件对真空环境下的基板加热器温度场进行有限元仿真,并耦合PID算法用于温度控制,揭示了基板温度分布规律。在此基础上对基板温度均匀性的影响因素进行研究,并借助Nelder-Mead单纯形法对加热系统进行优化。结果表明,当顶加热丝间距与侧加热丝间距为1∶1.23、加热距离为440 mm、反射距离为3.56 mm时,基板表面最大温差由优化前的16.5℃降低至9.9℃,温度均匀性得到改善。最后,结合实测数据分析显示,仿真结果与实测数据误差为6%,验证了优化的有效性。 展开更多
关键词 蒸发镀膜机 PID算法 温度均匀性 单纯形法 系统优化
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改造真空蒸发镀膜机为蒸发溅射两用镀膜机 被引量：3
3
作者 张浩康 《实验技术与管理》 CAS 2003年第6期106-109,共4页
本文阐述了改造普通真空蒸发镀膜机为蒸发与磁控溅射多用途镀膜机的意义.叙述了两种磁控溅射靶的安装方式、结构与特点.介绍了改造后的多用途镀膜机在本科生教学实验和科学工作中的应用与效果.
关键词 真空蒸发镀膜机 蒸发溅射两用镀膜机 磁控溅射 技术改造
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蒸发卷绕镀膜机几个关键技术问题的研究 被引量：5
4
作者 夏正勋 《真空与低温》 2001年第3期130-135,143,共7页
针对蒸发卷绕镀膜机真空室内的压力变化、卷绕速度、送铝丝速度和薄膜沉积厚度之间的关系等关键技术问题 ,通过理论分析、设计计算 ,结合实践经验 。
关键词 卷绕镀膜 抽气特征 设计 计算 真空室 压力 蒸发卷绕镀膜机 蒸发材料 膜厚
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BAK641电子束蒸发镀膜机结构原理与维修技巧初探 被引量：1
5
作者 徐柳 邓学文 《科技与企业》 2016年第6期211-211,共1页
电子束蒸发镀膜是镀膜的一种重要的形式,镀膜机在工业生产中被大量的使用,本文将通过对BAK641电子束蒸发镀膜机的结构原理以及一些实例的叙述来探讨相关的维修技巧。
关键词 电子束蒸发镀膜机 机构原理 维修技巧
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