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影响ESD荷电器件模型放电电流的关键参数研究
被引量：
1
1
作者
邢洁
王明湘
何健
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第4期349-353,共5页
静电放电峰值电流是基于荷电器件放电模型的放电测试装置中波形验证的关键指标。针对影响放电峰值电流的几个因素:测试探针长度、直径、形状和充电盘绝缘介电层的厚度,研究了这些参数变化对放电峰值电流的影响规律。根据研究结果可调整...
静电放电峰值电流是基于荷电器件放电模型的放电测试装置中波形验证的关键指标。针对影响放电峰值电流的几个因素:测试探针长度、直径、形状和充电盘绝缘介电层的厚度,研究了这些参数变化对放电峰值电流的影响规律。根据研究结果可调整相应参数,保证荷电器件放电模型的测试装置符合测试标准。基于LRC放电电路的等效模型,实验结果给出了到满意的定量或定性解释。
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关键词
静电
放电
荷电
器件
放电
模型
测试探针
LRC
模型
下载PDF
职称材料
题名
影响ESD荷电器件模型放电电流的关键参数研究
被引量：
1
1
作者
邢洁
王明湘
何健
机构
苏州大学电子信息学院微电子学系
飞索半导体中国有限公司
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第4期349-353,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(60406001)
文摘
静电放电峰值电流是基于荷电器件放电模型的放电测试装置中波形验证的关键指标。针对影响放电峰值电流的几个因素:测试探针长度、直径、形状和充电盘绝缘介电层的厚度,研究了这些参数变化对放电峰值电流的影响规律。根据研究结果可调整相应参数,保证荷电器件放电模型的测试装置符合测试标准。基于LRC放电电路的等效模型,实验结果给出了到满意的定量或定性解释。
关键词
静电
放电
荷电
器件
放电
模型
测试探针
LRC
模型
Keywords
electrostatic discharge （ESD）
charged device model （CDM）
pogo-pin
LRC model
分类号
TN43 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
影响ESD荷电器件模型放电电流的关键参数研究
邢洁
王明湘
何健
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2007
1
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