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“Π”型循环喷雾机设计
被引量:
25
1
作者
宋坚利
何雄奎
+2 位作者
张京
刘亚佳
曾爱军
《农业机械学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第4期31-36,共6页
针对篱壁式种植葡萄缺乏病虫害防治专业施药机具,农药利用率低等问题,设计了能够将未沉积在靶标上的农药雾滴截留回收再利用的"Π"型循环喷雾机,并测试了该喷雾机的药液回收率与冠层中药液沉积分布状态。结果显示:两侧喷杆交...
针对篱壁式种植葡萄缺乏病虫害防治专业施药机具,农药利用率低等问题,设计了能够将未沉积在靶标上的农药雾滴截留回收再利用的"Π"型循环喷雾机,并测试了该喷雾机的药液回收率与冠层中药液沉积分布状态。结果显示:两侧喷杆交错喷雾和喷头上仰能够提高药液回收率44.0%和18.4%,并能够增加冠层内部与叶片背面药液沉积量。栅格端面罩盖能够有效改变气流方向,提高药液回收率10%以上。
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关键词
循环喷雾机
沉积
药液
回收率
设计
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职称材料
单片式湿法刻蚀均匀性及药液回收率的相关性研究
被引量:
2
2
作者
朴勇男
黄鹏
+1 位作者
胡苏
邢栗
《科学技术创新》
2021年第13期20-21,共2页
湿法刻蚀是通过使用化学药液与被刻蚀物质反应,达到转移掩膜图形的目的。本文采用单片式湿法刻蚀机在不同条件下实验,测试刻蚀均匀性及刻蚀药液的回收率。结果表面刻蚀机的摆臂Scan速度及摆臂Scan时的起始位置对晶圆刻蚀均匀性有较大影...
湿法刻蚀是通过使用化学药液与被刻蚀物质反应,达到转移掩膜图形的目的。本文采用单片式湿法刻蚀机在不同条件下实验,测试刻蚀均匀性及刻蚀药液的回收率。结果表面刻蚀机的摆臂Scan速度及摆臂Scan时的起始位置对晶圆刻蚀均匀性有较大影响,喷淋时的转速对刻蚀药液的回收率具有重要作用,一定程度的提高喷淋时的转速能够有效的提高刻蚀药液的回收率。
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关键词
单片式湿法刻蚀
刻蚀均匀性
刻蚀
药液
回收率
下载PDF
职称材料
题名
“Π”型循环喷雾机设计
被引量:
25
1
作者
宋坚利
何雄奎
张京
刘亚佳
曾爱军
机构
中国农业大学理学院
出处
《农业机械学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第4期31-36,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(30800728
30971940)
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2008AA100904)
文摘
针对篱壁式种植葡萄缺乏病虫害防治专业施药机具,农药利用率低等问题,设计了能够将未沉积在靶标上的农药雾滴截留回收再利用的"Π"型循环喷雾机,并测试了该喷雾机的药液回收率与冠层中药液沉积分布状态。结果显示:两侧喷杆交错喷雾和喷头上仰能够提高药液回收率44.0%和18.4%,并能够增加冠层内部与叶片背面药液沉积量。栅格端面罩盖能够有效改变气流方向,提高药液回收率10%以上。
关键词
循环喷雾机
沉积
药液
回收率
设计
Keywords
Recycling tunnel sprayer,Deposition,Chemical recovery rate,Design
分类号
S491 [农业科学—植物保护]
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职称材料
题名
单片式湿法刻蚀均匀性及药液回收率的相关性研究
被引量:
2
2
作者
朴勇男
黄鹏
胡苏
邢栗
机构
沈阳芯源微电子设备股份有限公司
出处
《科学技术创新》
2021年第13期20-21,共2页
文摘
湿法刻蚀是通过使用化学药液与被刻蚀物质反应,达到转移掩膜图形的目的。本文采用单片式湿法刻蚀机在不同条件下实验,测试刻蚀均匀性及刻蚀药液的回收率。结果表面刻蚀机的摆臂Scan速度及摆臂Scan时的起始位置对晶圆刻蚀均匀性有较大影响,喷淋时的转速对刻蚀药液的回收率具有重要作用,一定程度的提高喷淋时的转速能够有效的提高刻蚀药液的回收率。
关键词
单片式湿法刻蚀
刻蚀均匀性
刻蚀
药液
回收率
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
“Π”型循环喷雾机设计
宋坚利
何雄奎
张京
刘亚佳
曾爱军
《农业机械学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
25
下载PDF
职称材料
2
单片式湿法刻蚀均匀性及药液回收率的相关性研究
朴勇男
黄鹏
胡苏
邢栗
《科学技术创新》
2021
2
下载PDF
职称材料
已选择
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参考文献
引证文献
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