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“Π”型循环喷雾机设计 被引量:25
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作者 宋坚利 何雄奎 +2 位作者 张京 刘亚佳 曾爱军 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期31-36,共6页
针对篱壁式种植葡萄缺乏病虫害防治专业施药机具,农药利用率低等问题,设计了能够将未沉积在靶标上的农药雾滴截留回收再利用的"Π"型循环喷雾机,并测试了该喷雾机的药液回收率与冠层中药液沉积分布状态。结果显示:两侧喷杆交... 针对篱壁式种植葡萄缺乏病虫害防治专业施药机具,农药利用率低等问题,设计了能够将未沉积在靶标上的农药雾滴截留回收再利用的"Π"型循环喷雾机,并测试了该喷雾机的药液回收率与冠层中药液沉积分布状态。结果显示:两侧喷杆交错喷雾和喷头上仰能够提高药液回收率44.0%和18.4%,并能够增加冠层内部与叶片背面药液沉积量。栅格端面罩盖能够有效改变气流方向,提高药液回收率10%以上。 展开更多
关键词 循环喷雾机 沉积 药液回收率 设计
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单片式湿法刻蚀均匀性及药液回收率的相关性研究 被引量:2
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作者 朴勇男 黄鹏 +1 位作者 胡苏 邢栗 《科学技术创新》 2021年第13期20-21,共2页
湿法刻蚀是通过使用化学药液与被刻蚀物质反应,达到转移掩膜图形的目的。本文采用单片式湿法刻蚀机在不同条件下实验,测试刻蚀均匀性及刻蚀药液的回收率。结果表面刻蚀机的摆臂Scan速度及摆臂Scan时的起始位置对晶圆刻蚀均匀性有较大影... 湿法刻蚀是通过使用化学药液与被刻蚀物质反应,达到转移掩膜图形的目的。本文采用单片式湿法刻蚀机在不同条件下实验,测试刻蚀均匀性及刻蚀药液的回收率。结果表面刻蚀机的摆臂Scan速度及摆臂Scan时的起始位置对晶圆刻蚀均匀性有较大影响,喷淋时的转速对刻蚀药液的回收率具有重要作用,一定程度的提高喷淋时的转速能够有效的提高刻蚀药液的回收率。 展开更多
关键词 单片式湿法刻蚀 刻蚀均匀性 刻蚀药液回收率
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