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基于遗传算法的微反射镜阵列角位置分布算法
被引量：
9
1
作者
曾宗顺
张方
+3 位作者
牛志元
马晓喆
朱思羽
黄惠杰
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第8期189-197,共9页
自由光瞳照明技术是28 nm及以下节点浸没光刻机中一种重要的光刻分辨率增强技术,其通过微反射镜阵列(MMA)调整光束的角谱来实现任意照明模式,MMA角位置分布对自由光瞳照明技术的应用具有重要的意义。提出了基于遗传算法的MMA角位置分布...
自由光瞳照明技术是28 nm及以下节点浸没光刻机中一种重要的光刻分辨率增强技术,其通过微反射镜阵列(MMA)调整光束的角谱来实现任意照明模式,MMA角位置分布对自由光瞳照明技术的应用具有重要的意义。提出了基于遗传算法的MMA角位置分布算法,该算法相比基于模拟退火算法的MMA角位置分布算法,迭代速度提高了10倍以上,并且该算法得到的MMA角位置分布可精确复现目标光瞳强度分布。光刻性能仿真结果表明,对于数千种光刻胶曝光图形,算法光瞳和目标光瞳的光刻胶曝光图形不对称性分布的方均根(RMS)值基本一致,关键尺寸差异分布RMS值均小于0.5 nm。
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关键词
测量
浸没
光
刻机
自由
光
瞳
照明
微反射镜阵列
角位置分布算法
原文传递
微反射镜阵列角位置检测中的光斑串扰抑制算法
2
作者
王婷
胡敬佩
+3 位作者
黄立华
曾爱军
黄惠杰
Sergey Avakaw
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第23期154-160,共7页
针对微反射镜阵列(MMA)微反射镜集中度高、尺寸小,在实际检测过程中相邻镜面反射光容易出现串扰的问题,提出了一种用于微反射镜阵列角位置检测的光斑串扰抑制算法。对照射到阵列中待测微反射镜及邻域微反射镜上的光强进行标定,通过求解...
针对微反射镜阵列(MMA)微反射镜集中度高、尺寸小,在实际检测过程中相邻镜面反射光容易出现串扰的问题,提出了一种用于微反射镜阵列角位置检测的光斑串扰抑制算法。对照射到阵列中待测微反射镜及邻域微反射镜上的光强进行标定,通过求解光强矩阵方程获得每个微反射镜的角位置信息。仿真结果显示,在检测光斑尺寸大于单个微反射镜尺寸的串扰情况下,该方法的检测精度可保持10μrad以上,满足光刻机使用指标需求。所提出的检测方法可有效解决MMA检测过程中的串扰问题,对光刻机自由光瞳照明模块的角位置检测具有重要意义。
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关键词
测量
自由
光
瞳
照明
微反射镜阵列(MMA)
角位置检测
光
斑串扰抑制算法
原文传递
题名
基于遗传算法的微反射镜阵列角位置分布算法
被引量：
9
1
作者
曾宗顺
张方
牛志元
马晓喆
朱思羽
黄惠杰
机构
中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室
中国科学院大学
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第8期189-197,共9页
基金
上海市国际科技合作基金(16520710500)
上海市科技人才计划(17YF1429500)。
文摘
自由光瞳照明技术是28 nm及以下节点浸没光刻机中一种重要的光刻分辨率增强技术,其通过微反射镜阵列(MMA)调整光束的角谱来实现任意照明模式,MMA角位置分布对自由光瞳照明技术的应用具有重要的意义。提出了基于遗传算法的MMA角位置分布算法,该算法相比基于模拟退火算法的MMA角位置分布算法,迭代速度提高了10倍以上,并且该算法得到的MMA角位置分布可精确复现目标光瞳强度分布。光刻性能仿真结果表明,对于数千种光刻胶曝光图形,算法光瞳和目标光瞳的光刻胶曝光图形不对称性分布的方均根(RMS)值基本一致,关键尺寸差异分布RMS值均小于0.5 nm。
关键词
测量
浸没
光
刻机
自由
光
瞳
照明
微反射镜阵列
角位置分布算法
Keywords
measurement
immersion photolithography machine
freeform pupil illumination
micro mirror array
angular position distribution algorithm
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
微反射镜阵列角位置检测中的光斑串扰抑制算法
2
作者
王婷
胡敬佩
黄立华
曾爱军
黄惠杰
Sergey Avakaw
机构
中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室
中国科学院大学材料科学与光电工程中心
白俄罗斯共和国开放式股份公司“精密电子机械制造设计局-光学机械设备”
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第23期154-160,共7页
基金
上海市集成电路科技支撑专项(20501110600)
上海市政府间科技合作计划(20500711300)。
文摘
针对微反射镜阵列(MMA)微反射镜集中度高、尺寸小,在实际检测过程中相邻镜面反射光容易出现串扰的问题,提出了一种用于微反射镜阵列角位置检测的光斑串扰抑制算法。对照射到阵列中待测微反射镜及邻域微反射镜上的光强进行标定,通过求解光强矩阵方程获得每个微反射镜的角位置信息。仿真结果显示,在检测光斑尺寸大于单个微反射镜尺寸的串扰情况下,该方法的检测精度可保持10μrad以上,满足光刻机使用指标需求。所提出的检测方法可有效解决MMA检测过程中的串扰问题,对光刻机自由光瞳照明模块的角位置检测具有重要意义。
关键词
测量
自由
光
瞳
照明
微反射镜阵列(MMA)
角位置检测
光
斑串扰抑制算法
Keywords
measurement
freeform pupil illumination
micromirror array(MMA)
angle position detection
algorithm of spot crosstalk suppression
分类号
TG82 [金属学及工艺—公差测量技术]
O439 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于遗传算法的微反射镜阵列角位置分布算法
曾宗顺
张方
牛志元
马晓喆
朱思羽
黄惠杰
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
9
原文传递
2
微反射镜阵列角位置检测中的光斑串扰抑制算法
王婷
胡敬佩
黄立华
曾爱军
黄惠杰
Sergey Avakaw
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
0
原文传递
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