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题名金刚石薄膜断裂强度及形貌分析
被引量：3
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作者
陈飞
陈良贤
郭世斌
李成明
吕反修
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机构
北京科技大学材料科学与工程学院
北京石油化工学院材料科学与工程系
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出处
《新技术新工艺》
2010年第5期107-109,共3页
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基金
国家自然基金支持项目(50872010)
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文摘
金刚石薄膜以其优异的性能成为许多行业不可或缺的功能材料,但因金刚石薄膜制备质量差、不稳定,导致金刚石薄膜力学性能的研究一直处于探索阶段,没有得出系统全面的结论。本文利用金刚石力学试验机对自支撑金刚石薄膜断裂强度与薄膜沉积厚度、抛光与否之间的关系进行了研究,利用扫描电子显微镜SEM对金刚石薄膜的表面和断口形貌进行了分析。研究表明,自支撑金刚石薄膜断裂主要是解离断裂,且其断裂强度随着沉积厚度的增加而减低,自支撑金刚石薄膜是否经过抛光对其断裂强度的大小有显著影响。
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关键词
自支撑金刚石薄膜
断裂强度
形貌分析
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Keywords
Self-supporting diamond film, Fracture strength, Morphology analysis
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分类号
TG175
[金属学及工艺—金属表面处理]
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