无氨氮化硅薄膜在MEMS硅腐蚀中的应用 被引量：2

1

作者 胥超 徐永青 杨志 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第3期194-197,202,共5页

研究了等离子体增强化学汽相淀积(PECVD)生长的无氨氮化硅薄膜作为掩蔽层在MEMS硅腐蚀工艺中的应用。比较了PECVD不同工艺条件(衬底温度和功率)以及不同四甲基氢氧化铵(TMAH)硅腐蚀液温度对无氨氮化硅薄膜硅腐蚀掩蔽效果的影响。通过优... 研究了等离子体增强化学汽相淀积(PECVD)生长的无氨氮化硅薄膜作为掩蔽层在MEMS硅腐蚀工艺中的应用。比较了PECVD不同工艺条件(衬底温度和功率)以及不同四甲基氢氧化铵(TMAH)硅腐蚀液温度对无氨氮化硅薄膜硅腐蚀掩蔽效果的影响。通过优化无氨氮化硅薄膜生长条件和硅腐蚀液温度,得到了高质量的氮化硅薄膜,颗粒以及针孔密度较少,0.2μm以上颗粒度小于100,提高了硅腐蚀掩蔽选择比。实验结果显示优化生长条件的氮化硅薄膜(衬底温度350℃,功率30 W),在85℃的TMAH硅腐蚀液中,硅的腐蚀速率为68μm/h,氮化硅薄膜腐蚀速率为33.2 nm/h,硅与氮化硅的腐蚀选择比为2 048,满足MEMS体硅腐蚀工艺对于掩膜特性的要求。 展开更多

关键词 无氨氮化硅 硅腐蚀 等离子体增强化学汽相淀积(PECVD) 腐蚀比 颗粒

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环保型水基化铣可剥胶与溶剂型产品在航天铝合金材料化铣加工中的性能对比研究 被引量：1

2

作者 王帅 于钦泰 杜丽梅 《云南化工》 CAS 2012年第1期9-12,共4页

对YXR-H01型无毒胶乳化铣可剥胶与4种溶剂型产品,在化铣深度超过15 mm的航天用铝合金材料上的使用性能进行了试验。主要对5种化铣可剥胶在化铣加工中的耐碱性、刻型性、腐蚀比等进行了对比测试。试验证明:YXR-H01型无毒胶乳化铣可剥胶在... 对YXR-H01型无毒胶乳化铣可剥胶与4种溶剂型产品,在化铣深度超过15 mm的航天用铝合金材料上的使用性能进行了试验。主要对5种化铣可剥胶在化铣加工中的耐碱性、刻型性、腐蚀比等进行了对比测试。试验证明:YXR-H01型无毒胶乳化铣可剥胶在20 h煮碱、800 min化铣加工中,无漏蚀、透蚀、掀胶现象,腐蚀比为0.98,化铣性能优于溶剂型产品,并具有无毒环保特点。 展开更多

关键词 化学铣切 腐蚀比 可剥胶 刻型 硫化

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激光改性辅助腐蚀加工玻璃微结构研究

3

作者 王伟莹 孙小燕 +3 位作者 董欣然 刘曼玉 褚东凯 胡友旺 《应用激光》 CSCD 北大核心 2017年第4期593-597,共5页

传统的半导体工艺制作微流体系统中微通道,只能对材料进行表面加工。飞秒激光具有极高的峰值功率和超短的脉冲持续时间,能够对材料直接进行三维加工,为高效率、高质量的微通道加工提供了可能。通过研究飞秒激光加工参数,包括激光脉冲能... 传统的半导体工艺制作微流体系统中微通道,只能对材料进行表面加工。飞秒激光具有极高的峰值功率和超短的脉冲持续时间,能够对材料直接进行三维加工,为高效率、高质量的微通道加工提供了可能。通过研究飞秒激光加工参数,包括激光脉冲能量、扫描速度和偏振态对玻璃微通道的选择性腐蚀比影响规律,发现当激光脉冲能量在2~10μJ变化时,微通道宽度变大,2μJ时微通道长宽选择性腐蚀比L/D高于其它脉冲能量参数,但随着腐蚀时间的延长,宽度变化越来越小,最后趋于稳定;当激光扫描速度在0.20~0.45mm/s之间变化时,随着腐蚀时间的延长微通道长宽选择性腐蚀比L/D逐渐增大,但当速度增加到0.35mm/s左右时选择性腐蚀比L/D增到最大,此后呈现下降趋势,同样随着腐蚀时间的延长,腐蚀通道的宽度变化越来越小,逐渐趋于平稳;当偏振态从线偏振到圆偏振变化时,线偏振时的微通道长宽选择性腐蚀比L/D更大。实验结果表明:获得较大微通道长宽选择性腐蚀比L/D的最优加工参数为激光脉冲能量2μJ,激光扫描速度0.35mm/s,线偏振。 展开更多

关键词 微流体系统 飞秒激光 微通道 选择性腐蚀比

原文传递

氯离子环境下钢筋最大腐蚀深度与平均腐蚀深度比值的概率分布研究 被引量：6

4

作者 马亚丽 张爱林 《工业建筑》 CSCD 北大核心 2005年第12期11-14,共4页

基于实际腐蚀试验检测数据,通过对数据的统计分析,确定了最大腐蚀深度与平均腐蚀深度比值的概率分布形式。采用K-S检验分析方法,得出了最大腐蚀深度与平均腐蚀深度比值的分布类型。采用钢筋最大腐蚀深度与平均腐蚀深度的比值作为腐蚀深... 基于实际腐蚀试验检测数据,通过对数据的统计分析,确定了最大腐蚀深度与平均腐蚀深度比值的概率分布形式。采用K-S检验分析方法,得出了最大腐蚀深度与平均腐蚀深度比值的分布类型。采用钢筋最大腐蚀深度与平均腐蚀深度的比值作为腐蚀深度分析的指标,研究了其比值的概率分布规律,提出了氯离子环境下钢筋腐蚀深度分析的一种新方法,将为钢筋混凝土结构考虑钢筋锈蚀的耐久性评估及耐久可靠性研究提供基础和科学的依据。 展开更多

关键词 最大腐蚀深度与平均腐蚀深度的比 值概率分布 K—S检验 氯离子

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量块的超声清洗效果评价方法研究 被引量：5

5

作者 丁鸿 禹静 +1 位作者 刘立人 李东升 《中国计量大学学报》 2021年第2期196-202,共7页

目的:针对量块在超声清洗过程中可能产生损伤的问题,拟采用一种铝箔测量方法实验分析得出预估的最佳超声清洗条件。方法:使用50μm厚度的铝箔进行超声清洗实验,利用Matlab图像处理技术对铝箔表面因超声空蚀现象产生的腐蚀小孔的腐蚀面... 目的:针对量块在超声清洗过程中可能产生损伤的问题,拟采用一种铝箔测量方法实验分析得出预估的最佳超声清洗条件。方法:使用50μm厚度的铝箔进行超声清洗实验,利用Matlab图像处理技术对铝箔表面因超声空蚀现象产生的腐蚀小孔的腐蚀面积比和小孔分布均匀性进行评价。结果:通过分析实验结果得出了预估的最佳超声清洗条件,并在该条件下使用量块进行超声清洗实验验证了超声清洗量块的可行性。结论:实验结果表明,在超声频率为45 kHz时,当溶液温度为40℃,清洗时间为6 min的情况下,对量块有较好的清洗效果。 展开更多

关键词 计量 铝箔实验法 超声清洗 图像处理 腐蚀面积比 分布均匀性

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基于腐蚀-膨胀比的视频场景运动状态鲁棒检测 被引量：2

6

作者 陈立平 曹丽萍 +1 位作者 黄增喜 刘春玲 《四川大学学报（工程科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期95-100,共6页

针对智能视觉分析中视频场景状态检测问题,提出了一种鲁棒的方法。首先,用高斯金字塔算法预处理输入帧;对比3种帧间差计算方法,其中,先灰度化再差分的帧间差计算方案性能最佳。通过分析帧间差灰度图中高亮点在空间分布和形态学上的差异... 针对智能视觉分析中视频场景状态检测问题,提出了一种鲁棒的方法。首先,用高斯金字塔算法预处理输入帧;对比3种帧间差计算方法,其中,先灰度化再差分的帧间差计算方案性能最佳。通过分析帧间差灰度图中高亮点在空间分布和形态学上的差异,提出了基于腐蚀-膨胀比的场景状态检测算法REDP。将算法应用于不同场景、亮度、天气条件下的视频序列,实验结果说明了算法不仅可指示获取场景中运动对象位置和轮廓信息的时机,而且,验证了算法对于场景状态检测的有效性。通过增大参与帧间差运算的帧间间距,可进一步提高算法对场景状态检测的鲁棒性。 展开更多

关键词 智能视觉 运动分析 场景状态检测 腐蚀-膨胀比

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用于光子晶体的多孔硅制备条件研究 被引量：2

7

作者 莫瑞海 刘洪利 张轩雄 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2013年第5期811-814,共4页

利用扫描电镜观察了不同电压强度、腐蚀液浓度条件下制备的用于二维光子晶体的多孔硅的微观形貌。研究表明在恒压供电模式下更有利于硅基二维光子晶体的制备;随着腐蚀电压强度的增长,孔径和孔深都呈现增长的趋势,增长的幅度逐渐减小,腐... 利用扫描电镜观察了不同电压强度、腐蚀液浓度条件下制备的用于二维光子晶体的多孔硅的微观形貌。研究表明在恒压供电模式下更有利于硅基二维光子晶体的制备;随着腐蚀电压强度的增长,孔径和孔深都呈现增长的趋势,增长的幅度逐渐减小,腐蚀效率比的增长幅度也有逐渐变小的趋势;随着腐蚀溶液浓度的减小,腐蚀速率在降低,但腐蚀效率比在增大,虽然多孔硅的生长速度变慢,但是多孔硅的质量更好。 展开更多

关键词 多孔硅 电化学腐蚀 腐蚀效率比

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微米印制技术中使用反应离子腐蚀过程的研究

8

作者 辛罡 周绪川 《西南民族大学学报（自然科学版）》 CAS 2013年第3期401-404,共4页

选取4英寸的晶元切割制成相同的测试样品.试验研究不同的腐蚀气体,以及混合气体配比腐蚀效果,得到对本试验所生成结构有利的腐蚀介质.研究调节腐蚀过程中的气体流速,压强,高频功率等参数组合,取得比试验参考数据高腐蚀速度,良好的表面... 选取4英寸的晶元切割制成相同的测试样品.试验研究不同的腐蚀气体,以及混合气体配比腐蚀效果,得到对本试验所生成结构有利的腐蚀介质.研究调节腐蚀过程中的气体流速,压强,高频功率等参数组合,取得比试验参考数据高腐蚀速度,良好的表面平整度,较高的腐蚀的选择比.器件结构的角度满足制作印制印章所需的脱模角度,实验研究讨论了不同工艺参数对反应离子腐蚀过程的作用的原理和影响,有助于分析和调节反应离子腐蚀的过程. 展开更多

关键词 反应离子腐蚀 腐蚀速度 腐蚀选择比 NF3

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国产新工艺离心铸管与Inconel 600进口轧制管耐腐蚀性能对比研究

9

作者 夏浩 戴玉明 +1 位作者 钟海彬 李勤峰 《现代冶金》 CAS 2018年第3期16-18,共3页

探讨了国产新工艺离心铸管的耐腐蚀性能,并与Inconel 600进口轧制管进行对比研究,为国产新工艺离心铸管的应用提供一定的数据参考和使用建议。

关键词 国产新工艺 离心铸管 INCONEL 600 腐蚀失重比

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石化系统储罐底板的漏磁检测

10

作者 李涛 《中国设备工程》 2006年第S1期104-105,共2页

本文介绍了储罐底板检测的重要性、漏磁检测原理、储罐底板的形式、储罐底板漏磁检测系统的特点,通过案例分析总结了此技术对储罐底板检维修的意义。

关键词 漏磁检测 储罐底板 磁化 腐蚀深度比

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高速列车转向架用耐寒焊丝研制及接头组织性能

11

作者 朱藤辉 刘丽 +1 位作者 王高见 康丹丹 《电焊机》 2018年第3期9-17,共9页

在我国东北以及俄罗斯等极寒地区要确保高速列车的安全可靠运行,高速列车转向架焊接接头必须具备广域环境条件下的服役能力,因此开发耐寒高韧性转向架焊丝至关重要。采用微合金化设计,研制了一种新型耐寒高韧性焊丝55GⅡ。利用高速摄相... 在我国东北以及俄罗斯等极寒地区要确保高速列车的安全可靠运行,高速列车转向架焊接接头必须具备广域环境条件下的服役能力,因此开发耐寒高韧性转向架焊丝至关重要。采用微合金化设计,研制了一种新型耐寒高韧性焊丝55GⅡ。利用高速摄相系统观察熔滴过渡行为,测试熔敷金属力学性能,利用扫描电镜观察冲击断口形貌,研究焊缝金属耐腐蚀性能和疲劳极限。结果表明:55GⅡ焊丝在250 A和150 A电流条件下具有优异的电弧稳定性,短路或爆断次数少、飞溅颗粒小;其焊缝组织主要为贝氏体、珠光体及铁素体的混合组织,-40℃平均冲击功达到129 J,-60℃平均冲击功达96 J以上;1 000 h周浸腐蚀失重比3.56%;在4应力级条件下经1×107次循环,焊接接头疲劳极限为374 MPa。 展开更多

关键词 转向架焊丝 疲劳性能 力学性能 断口形貌 腐蚀失重比

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