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直流等离子体法中脱膜开裂的金刚石膜组织结构分析 被引量：4
1
作者 陈广超 李成明 +4 位作者 张恒大 杨胶溪 佟玉梅 唐伟忠 吕反修 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期518-523,共6页
为了解决用直流等离子体喷射法制备金刚石膜在脱膜过程中膜体开裂的问题,本文对3组脱膜开裂的金刚石膜组织结构进行了分析,发现由热应力作用产生的裂纹形貌随沉积温度的不同而呈现网状、河流状和环状,裂纹尖端的膜体具有最小的Raman谱... 为了解决用直流等离子体喷射法制备金刚石膜在脱膜过程中膜体开裂的问题,本文对3组脱膜开裂的金刚石膜组织结构进行了分析,发现由热应力作用产生的裂纹形貌随沉积温度的不同而呈现网状、河流状和环状,裂纹尖端的膜体具有最小的Raman谱峰半高宽值。在所研究的温度范围内,膜体断口都是穿晶断裂和沿晶断裂的混合断口,而且断口面中的占优晶面都是[111]晶面。X射线和Raman谱结果还表明沉积温度愈高,膜体中的残余应力愈大。 展开更多
关键词 直流等离子体法 脱膜开裂 金刚石膜 组织结构 红外材料
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