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题名电击装置中电介质对放电效应的影响及分析
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作者
邓春泽
杨尚东
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机构
西安武警工程大学装备工程学院
西安武警工程大学信息工程系
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出处
《电子世界》
2015年第23期101-103,共3页
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文摘
电击装置放电效应受到各种因素的影响,这些因素不仅包括电击装置本身输出参数、人体因素,还包括放电电介质的物理性质,环境温度,湿度等等。对电击装置放电效应进行研究,其目的就是找出各种因素对放电效应的影响规律。本文采用理论分析和实验相结合的方法,研究了电介质对电击装置放电效应的影响。
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关键词
放电效应
介电常数
脉冲输出能量
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分类号
TP317
[自动化与计算机技术—计算机软件与理论]
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题名高效率放电抽运KrF准分子激光器
被引量：6
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作者
王效顺
余吟山
王庆胜
梁勖
游利兵
方晓东
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机构
中国科学院安徽光学精密机械研究所激光技术研究中心
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期1-5,共5页
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文摘
248 nm放电抽运KrF准分子激光器在微电子学和医学等领域有重要的应用价值。在大多数应用中,激光器的最大输出效率和能量都是十分重要的参数。为了提高激光器输出效率和能量,实现KrF准分子激光器的稳定放电,采用新型开关电源和结构紧凑的张氏电极,并通过优化储能/放电电容比例和工作气体配比等方法,研制出了一台小型高效率放电抽运KrF准分子激光器。研究了开关电源对充放电特性的影响,以及气体配比对激光输出效率和能量的影响。该激光器的各项参数相比以往的产品有了较大改善,可重复频率为1~80 Hz,输出效率最高达2.5%,最大单脉冲输出能量380 mJ;当工作电压高于25 kV时,激光输出能量不稳定度约为1.8%。
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关键词
激光器
准分子激光器
输出效率
单脉冲输出能量
放电抽运
开关电源
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Keywords
lasers
excimer laser
output efficiency
signal pulse output energy
discharge pump
switching power supply
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分类号
TN248.2
[电子电信—物理电子学]
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