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利用脉冲激光真空弧沉积技术制备类金刚石薄膜 被引量：5
1
作者 蒋娜娜 邵天敏 陈大融 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期187-192,共6页
介绍了一种新的脉冲激光真空弧沉积技术,利用该技术在硅基片上制备了类金刚石薄膜.利用激光拉曼分析技术对沉积膜进行了结构分析,结果表明沉积膜为非晶结构,具有明显的sp3结构特征.同时利用纳米划痕压痕仪、原子力显微镜等分析设备对膜... 介绍了一种新的脉冲激光真空弧沉积技术,利用该技术在硅基片上制备了类金刚石薄膜.利用激光拉曼分析技术对沉积膜进行了结构分析,结果表明沉积膜为非晶结构,具有明显的sp3结构特征.同时利用纳米划痕压痕仪、原子力显微镜等分析设备对膜的表面形貌、微观摩擦学性能进行了分析,结果表明Si<100>基片上沉积膜的表面形貌和微观摩擦学性能略优于Si<111>基片上沉积的薄膜,其摩擦系数平均值为0.036. 展开更多
关键词 脉冲激光真空弧 类金刚石薄膜 激光拉曼 摩擦系数
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脉冲激光沉积薄膜技术研究新进展 被引量：31
2
作者 敖育红 胡少六 +2 位作者 龙华 徐业斌 王又青 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期453-456,459,共5页
脉冲激光沉积薄膜是近年来发展起来的使用范围最广、最有希望的制膜技术。陈述了其原理、特点、研究方法 ,总结了超快脉冲激光、脉冲激光真空弧。
关键词 超快脉冲激光沉积 双光束脉冲激光沉积 脉冲激光真空弧薄膜制备 薄膜技术
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