期刊导航
期刊开放获取
cqvip
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
6
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
一种新型脉冲电子束焊接用PWM逆变式栅偏压电源系统设计
被引量：
4
1
作者
张洪波
刘方军
左从进
《航空制造技术》
北大核心
2004年第z1期188-191,共4页
提出一种基于传统连续电子束焊接技术的脉冲电子束焊接工艺的实现方法,应用现代功率电子开关器件及PWM脉宽调制控制技术,采用了先进的逆变技术进行脉冲偏压电源系统设计.由于系统工作在高频开关状态,整个脉冲偏压电源系统不仅动态响应...
提出一种基于传统连续电子束焊接技术的脉冲电子束焊接工艺的实现方法,应用现代功率电子开关器件及PWM脉宽调制控制技术,采用了先进的逆变技术进行脉冲偏压电源系统设计.由于系统工作在高频开关状态,整个脉冲偏压电源系统不仅动态响应快、电气性能指标高及控制性能好,而且还具有体积小、重量轻、可靠性高等一系列优点,各项技术指标完全能满足脉冲电子束焊接的工艺需要.
展开更多
关键词
电子束焊接
脉冲
偏压
电源
逆变
脉宽调制
下载PDF
职称材料
等离子体浸没离子注入技术与设备研究
被引量：
2
2
作者
刘杰
汪明刚
+2 位作者
杨威风
李超波
夏洋
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第7期626-629,共4页
基于传统束线离子注入在制造器件源漏超浅结时面临的挑战,介绍了一种新的超浅结的制造方法——等离子体浸没离子注入技术,总结了该技术在制造超浅结时的优点,阐述了放电方式、线圈结构、偏压电源等系统核心部件的设计,自行设计并搭建了...
基于传统束线离子注入在制造器件源漏超浅结时面临的挑战,介绍了一种新的超浅结的制造方法——等离子体浸没离子注入技术,总结了该技术在制造超浅结时的优点,阐述了放电方式、线圈结构、偏压电源等系统核心部件的设计,自行设计并搭建了等离子体浸没离子注入系统。采用ESPion高级朗缪尔探针测试和计算流体力学模拟方法对比研究了等离子体的特性,结果显示,在一定功率范围内等离子体密度随放电功率增加类似线性地增加;采用二次离子质谱仪对B和P的注入样片进行深度剖析,给出了偏压为-500V时B和P的注入深度分布曲线,表明注入时间既影响注入剂量,又影响峰值的位置和注入深度。
展开更多
关键词
等离子体浸没离子注入
超浅结
感应耦合
线圈结构
脉冲
偏压
电源
下载PDF
职称材料
小束斑电子束脉冲轰击偏压电源的研制
3
作者
范恺
许海鹰
+1 位作者
杨波
桑兴华
《航空制造技术》
2017年第12期104-109,共6页
为了获得一种性价比较高的电子束表面处理技术,采用定频调压电路,研制出一种新型偏压脉冲电源。这种电源由偏压主电路拓扑、偏压变压器和偏压整流滤波电路组成,其中偏压主电路由偏压基值发生电路和偏压脉冲发生电路组成。偏压基值发生...
为了获得一种性价比较高的电子束表面处理技术,采用定频调压电路,研制出一种新型偏压脉冲电源。这种电源由偏压主电路拓扑、偏压变压器和偏压整流滤波电路组成,其中偏压主电路由偏压基值发生电路和偏压脉冲发生电路组成。偏压基值发生电路控制偏压脉冲基值,偏压脉冲发生电路控制偏压脉冲频率和占空比。脉冲偏压电源的脉冲基值、脉冲频率、占空比均连续可调,相应实现脉冲束流的幅值、束流频率和占空比的调节。检测分析了脉冲偏压电源的输出电压波形,带载时的输出束流波形,并观察分析了电子束轰击后钨合金组织变化规律。结果表明所研制的脉冲偏压电源输出电压稳定、可调性好,能满足小束斑脉冲电子束轰击工艺的要求。
展开更多
关键词
逆变
电源
电子束
脉冲
偏压
电源
下载PDF
职称材料
电弧离子镀脉冲负偏压电源负载特性的仿真分析
被引量：
1
4
作者
戚栋
王宁会
+1 位作者
林国强
丁振峰
《电工技术杂志》
2002年第11期10-11,23,共3页
通过等离子体物理理论和仿真分析 ,明确了电弧离子镀的等离子体负载本质是等离子体鞘层引起的容性负载 ,探讨了电弧离子镀脉冲负偏压电源的设计方法。
关键词
工具钢
硬质薄膜
电弧离子镀
脉冲
负
偏压
电源
负载特性
仿真
下载PDF
职称材料
电弧离子镀脉冲负偏压电源及其特性的研究
被引量：
1
5
作者
戚栋
王宁会
+1 位作者
林国强
丁振峰
《金属热处理》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第12期56-59,共4页
一种脉冲负偏压电源是由多个脉冲分量形成的电路串联构成 ,脉冲的频率和占空比直接在高压侧调节。介绍了电源的结构和关键技术 ,并结合薄膜沉积试验中的电压、电流波形和计算机仿真分析 ,探讨了电源和电弧离子镀的等离子体负载间的匹配 。
关键词
电弧离子镀
脉冲
负
偏压
电源
等离子体负载
匹配
下载PDF
职称材料
多功能复合离子镀膜机的研制
被引量：
1
6
作者
陈庆川
童洪辉
+3 位作者
崔西蓉
刘晓波
耿漫
王经权
《真空》
CAS
北大核心
2005年第1期36-38,共3页
详细介绍了一台我院新近研制的多功能复合离子镀膜机。该机配有柱弧源、电磁控大面积弧源、小多弧源,使得在不同材质的工件上原位连续镀制各种多层膜及复合化合物膜;偏压电源采用我院自行开发的叠加式直流脉冲偏压开关电源,使用该电源...
详细介绍了一台我院新近研制的多功能复合离子镀膜机。该机配有柱弧源、电磁控大面积弧源、小多弧源,使得在不同材质的工件上原位连续镀制各种多层膜及复合化合物膜;偏压电源采用我院自行开发的叠加式直流脉冲偏压开关电源,使用该电源可有效控制基体温度,实现远离平衡态的低温沉积镀膜工艺;全部控制及工艺流程采用PLC(可编程控制器)自动控制,具有成本低、效率高、膜系质量优、工艺可重复性好等特点。用该设备开发的一些功能膜复合工艺已获得实际应用,取得了良好的使用效果。
展开更多
关键词
多功能复合离子镀膜机
叠加式直流
脉冲
偏压
开关
电源
远离平衡态
PLC
自动控制
下载PDF
职称材料
题名
一种新型脉冲电子束焊接用PWM逆变式栅偏压电源系统设计
被引量：
4
1
作者
张洪波
刘方军
左从进
出处
《航空制造技术》
北大核心
2004年第z1期188-191,共4页
文摘
提出一种基于传统连续电子束焊接技术的脉冲电子束焊接工艺的实现方法,应用现代功率电子开关器件及PWM脉宽调制控制技术,采用了先进的逆变技术进行脉冲偏压电源系统设计.由于系统工作在高频开关状态,整个脉冲偏压电源系统不仅动态响应快、电气性能指标高及控制性能好,而且还具有体积小、重量轻、可靠性高等一系列优点,各项技术指标完全能满足脉冲电子束焊接的工艺需要.
关键词
电子束焊接
脉冲
偏压
电源
逆变
脉宽调制
分类号
V26 [航空宇航科学与技术—航空宇航制造工程]
下载PDF
职称材料
题名
等离子体浸没离子注入技术与设备研究
被引量：
2
2
作者
刘杰
汪明刚
杨威风
李超波
夏洋
机构
中国科学院微电子研究所
兰州大学物理科学与技术学院
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第7期626-629,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(60727003)
国家重大专项项目(2009ZX02037)
文摘
基于传统束线离子注入在制造器件源漏超浅结时面临的挑战,介绍了一种新的超浅结的制造方法——等离子体浸没离子注入技术,总结了该技术在制造超浅结时的优点,阐述了放电方式、线圈结构、偏压电源等系统核心部件的设计,自行设计并搭建了等离子体浸没离子注入系统。采用ESPion高级朗缪尔探针测试和计算流体力学模拟方法对比研究了等离子体的特性,结果显示,在一定功率范围内等离子体密度随放电功率增加类似线性地增加;采用二次离子质谱仪对B和P的注入样片进行深度剖析,给出了偏压为-500V时B和P的注入深度分布曲线,表明注入时间既影响注入剂量,又影响峰值的位置和注入深度。
关键词
等离子体浸没离子注入
超浅结
感应耦合
线圈结构
脉冲
偏压
电源
Keywords
plasma immersion ion implantation
ultra shallow junction
inductively coupled plasma
shape of coil
pulse bias power supply
分类号
TN305.3 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
小束斑电子束脉冲轰击偏压电源的研制
3
作者
范恺
许海鹰
杨波
桑兴华
机构
中国航空制造技术研究院高能束流加工技术国防科技重点实验室
出处
《航空制造技术》
2017年第12期104-109,共6页
基金
航空科学基金项目(2015ZE25005)
文摘
为了获得一种性价比较高的电子束表面处理技术,采用定频调压电路,研制出一种新型偏压脉冲电源。这种电源由偏压主电路拓扑、偏压变压器和偏压整流滤波电路组成,其中偏压主电路由偏压基值发生电路和偏压脉冲发生电路组成。偏压基值发生电路控制偏压脉冲基值,偏压脉冲发生电路控制偏压脉冲频率和占空比。脉冲偏压电源的脉冲基值、脉冲频率、占空比均连续可调,相应实现脉冲束流的幅值、束流频率和占空比的调节。检测分析了脉冲偏压电源的输出电压波形,带载时的输出束流波形,并观察分析了电子束轰击后钨合金组织变化规律。结果表明所研制的脉冲偏压电源输出电压稳定、可调性好,能满足小束斑脉冲电子束轰击工艺的要求。
关键词
逆变
电源
电子束
脉冲
偏压
电源
Keywords
Inverter power supply
Electron beam
Pulsed bias power supply
分类号
TL623 [核科学技术—核技术及应用]
下载PDF
职称材料
题名
电弧离子镀脉冲负偏压电源负载特性的仿真分析
被引量：
1
4
作者
戚栋
王宁会
林国强
丁振峰
机构
大连理工大学电气工程系
出处
《电工技术杂志》
2002年第11期10-11,23,共3页
文摘
通过等离子体物理理论和仿真分析 ,明确了电弧离子镀的等离子体负载本质是等离子体鞘层引起的容性负载 ,探讨了电弧离子镀脉冲负偏压电源的设计方法。
关键词
工具钢
硬质薄膜
电弧离子镀
脉冲
负
偏压
电源
负载特性
仿真
Keywords
arc deposition pulse negative bias power load characteristics simulation
分类号
TM46 [电气工程—电器]
下载PDF
职称材料
题名
电弧离子镀脉冲负偏压电源及其特性的研究
被引量：
1
5
作者
戚栋
王宁会
林国强
丁振峰
机构
大连理工大学电气工程系
大连理工大学三束材料改性国家重点试验室
出处
《金属热处理》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第12期56-59,共4页
文摘
一种脉冲负偏压电源是由多个脉冲分量形成的电路串联构成 ,脉冲的频率和占空比直接在高压侧调节。介绍了电源的结构和关键技术 ,并结合薄膜沉积试验中的电压、电流波形和计算机仿真分析 ,探讨了电源和电弧离子镀的等离子体负载间的匹配 。
关键词
电弧离子镀
脉冲
负
偏压
电源
等离子体负载
匹配
Keywords
arc ion plating
negative bias pulsed power
plasma load
match
分类号
TG155.7 [金属学及工艺—热处理]
TG17 [金属学及工艺—金属学]
下载PDF
职称材料
题名
多功能复合离子镀膜机的研制
被引量：
1
6
作者
陈庆川
童洪辉
崔西蓉
刘晓波
耿漫
王经权
机构
核工业西南物理研究院
出处
《真空》
CAS
北大核心
2005年第1期36-38,共3页
基金
国家863课题资助
课题编号:2001AA338010
文摘
详细介绍了一台我院新近研制的多功能复合离子镀膜机。该机配有柱弧源、电磁控大面积弧源、小多弧源,使得在不同材质的工件上原位连续镀制各种多层膜及复合化合物膜;偏压电源采用我院自行开发的叠加式直流脉冲偏压开关电源,使用该电源可有效控制基体温度,实现远离平衡态的低温沉积镀膜工艺;全部控制及工艺流程采用PLC(可编程控制器)自动控制,具有成本低、效率高、膜系质量优、工艺可重复性好等特点。用该设备开发的一些功能膜复合工艺已获得实际应用,取得了良好的使用效果。
关键词
多功能复合离子镀膜机
叠加式直流
脉冲
偏压
开关
电源
远离平衡态
PLC
自动控制
Keywords
multi-function arc ion plating
DC-pulse bias power supply
low temperature deposition(LTD)
automatic cotrol
分类号
TB43 [一般工业技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种新型脉冲电子束焊接用PWM逆变式栅偏压电源系统设计
张洪波
刘方军
左从进
《航空制造技术》
北大核心
2004
4
下载PDF
职称材料
2
等离子体浸没离子注入技术与设备研究
刘杰
汪明刚
杨威风
李超波
夏洋
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010
2
下载PDF
职称材料
3
小束斑电子束脉冲轰击偏压电源的研制
范恺
许海鹰
杨波
桑兴华
《航空制造技术》
2017
0
下载PDF
职称材料
4
电弧离子镀脉冲负偏压电源负载特性的仿真分析
戚栋
王宁会
林国强
丁振峰
《电工技术杂志》
2002
1
下载PDF
职称材料
5
电弧离子镀脉冲负偏压电源及其特性的研究
戚栋
王宁会
林国强
丁振峰
《金属热处理》
CAS
CSCD
北大核心
2002
1
下载PDF
职称材料
6
多功能复合离子镀膜机的研制
陈庆川
童洪辉
崔西蓉
刘晓波
耿漫
王经权
《真空》
CAS
北大核心
2005
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
