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背抛光高效PERL硅太阳电池的研究
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作者 李文佳 王晓 +3 位作者 朱益清 钱维莹 施正荣 李果华 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第10期2460-2466,共7页
研究两种背面平坦化方法(碱抛光和酸抛光)对PERL太阳电池的影响。通过分析激光扫描显微镜(LSM)、扫描电子显微镜(SEM)、少子寿命及电池的电性能参数、反射率和内量子效率(IQE),对比碱抛光条件下不同厚度的SiN_x背钝化膜对电池的影响,并... 研究两种背面平坦化方法(碱抛光和酸抛光)对PERL太阳电池的影响。通过分析激光扫描显微镜(LSM)、扫描电子显微镜(SEM)、少子寿命及电池的电性能参数、反射率和内量子效率(IQE),对比碱抛光条件下不同厚度的SiN_x背钝化膜对电池的影响,并确定合适的SiN_x厚度为180 nm。继而研究酸抛光的减薄量对电池的影响。综合分析少子寿命、LSM图像及电池的反射率、IQE和电性能参数,得到最优减薄量为0.24 g。此条件下制备出的单晶PERL电池效率为20.31%。 展开更多
关键词 太阳电池 PERL 表面平坦 碱抛光 酸抛光
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