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采用PMMA的M-Z型热光开关性能的有限元分析
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作者 王皓 吴耀德 +1 位作者 兰慧 李志扬 《华中师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 2007年第2期215-217,共3页
应用有限元法对采用有机聚合物PMMA的M-Z型热光开关进行了分析,重点考察了器件的的功耗和速度,计算结果表明此类结构的光开关的功耗可低至3.6mW,比硅材料的SOI热光开关的功耗低两个数量级,这对于大规模的的集成非常有利,同时开关的上升... 应用有限元法对采用有机聚合物PMMA的M-Z型热光开关进行了分析,重点考察了器件的的功耗和速度,计算结果表明此类结构的光开关的功耗可低至3.6mW,比硅材料的SOI热光开关的功耗低两个数量级,这对于大规模的的集成非常有利,同时开关的上升和下降时间可达到14ms和16ms. 展开更多
关键词 热光开关 有限元 聚合物pmma
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