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题名表面横波谐振器的仿真与设计
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作者
杜波
石玉
王华磊
蒋欣
黄华
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机构
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
中国电子科技集团公司第
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2010年第6期899-901,905,共4页
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文摘
针对现有表面横波谐振器设计软件仿真精度不够的问题,通过引入中间栅P矩阵模拟其对声波的反射和声速的调制作用,计算不同占空比栅阵的耦合模参数,在仿真中加入了中间栅周期、分布和换能器占空比等变量,实现了对中间栅、占空比的优化设计。利用寄生电路计算模块,分析了封装寄生参数的影响,进一步提高了仿真精度。利用该法设计了中心频率315 MHz、插入损耗12 dB、品质因数7 000的谐振器。经实验证实,仿真误差小于0.5%,仿真精度满足设计需要。
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关键词
表面波器件
谐振器
耦合模模型(com)
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Keywords
surface acoustic wave device
resonator
com model
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分类号
TN65
[电子电信—电路与系统]
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