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用于半导体气体传感器的程控标定系统
被引量:
4
1
作者
任术波
唐祯安
+2 位作者
蒋国平
张洪泉
范茂军
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2002年第8期32-34,共3页
组建了一套用于半导体气体传感器的程控标定系统。该系统使用一台四路输出的程控直流电源对半导体气体传感器进行编程加热 ,计算机控制质量流量计实现低体积分数被测气体的精确配气并实时采集传感器的响应信号。该系统可对由四支气体传...
组建了一套用于半导体气体传感器的程控标定系统。该系统使用一台四路输出的程控直流电源对半导体气体传感器进行编程加热 ,计算机控制质量流量计实现低体积分数被测气体的精确配气并实时采集传感器的响应信号。该系统可对由四支气体传感器构成的阵列进行多种工作模式的标定。
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关键词
程控标定系统
半导体气体传感器
质量流量控制器
通用接口总线
编程
加热
响应信号
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职称材料
题名
用于半导体气体传感器的程控标定系统
被引量:
4
1
作者
任术波
唐祯安
蒋国平
张洪泉
范茂军
机构
大连理工大学电子与信息工程学院
信息产业部电子第
出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2002年第8期32-34,共3页
基金
国家自然科学基金项目 ( 5 9995 5 5 0 -5 )
86 3预启动项目 ( 86 3-MEMS -10 1-0 3-0 1)
文摘
组建了一套用于半导体气体传感器的程控标定系统。该系统使用一台四路输出的程控直流电源对半导体气体传感器进行编程加热 ,计算机控制质量流量计实现低体积分数被测气体的精确配气并实时采集传感器的响应信号。该系统可对由四支气体传感器构成的阵列进行多种工作模式的标定。
关键词
程控标定系统
半导体气体传感器
质量流量控制器
通用接口总线
编程
加热
响应信号
Keywords
semiconductor gas sensor
calibration
programmable system
mass flow controller (MFC )
general purpose interface bus(GPIB)
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TP273.5 [自动化与计算机技术—控制科学与工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用于半导体气体传感器的程控标定系统
任术波
唐祯安
蒋国平
张洪泉
范茂军
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2002
4
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