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太阳能硅片制造方法研究现状 被引量：26
1
作者 邱明波 黄因慧 +2 位作者 刘志东 田宗军 汪炜 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2008年第8期1017-1020,共4页
太阳能硅片的制造工艺主要包括硅片的切割以及绒面制备两部分。本文介绍了外圆切割、内圆切割、多线切割及电火花线切割4种硅片的切割方法,综述了碱腐蚀、酸腐蚀、电化学腐蚀等9种制绒工艺,并分析其适用范围和特点。提出随着太阳能技术... 太阳能硅片的制造工艺主要包括硅片的切割以及绒面制备两部分。本文介绍了外圆切割、内圆切割、多线切割及电火花线切割4种硅片的切割方法,综述了碱腐蚀、酸腐蚀、电化学腐蚀等9种制绒工艺,并分析其适用范围和特点。提出随着太阳能技术的应用需求不断扩大和晶体硅原材料供应的短缺,大尺寸超薄硅片切割技术的发展趋势将日益明显。最后指出了电火花电解复合线切割具有切割与制绒一体化的特点,是硅片制造方法的一个发展趋势。 展开更多
关键词 太阳能电池 硅片 切割 绒面
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硅酸钠在太阳能电池单晶硅表面织构化的作用 被引量：22
2
作者 杨志平 杨勇 +2 位作者 励旭东 许颖 王文静 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期1472-1476,共5页
在单晶硅太阳电池的制备过程中,通常利用晶体硅[100]和[111]不同晶向在碱溶液中各向异性腐蚀特性,在表面形成类似于“金字塔”的绒面结构,使得入射光在硅片表面多次反射,提高入射光吸收效率,可提高单晶硅太阳电池的转换效率。实验探索... 在单晶硅太阳电池的制备过程中,通常利用晶体硅[100]和[111]不同晶向在碱溶液中各向异性腐蚀特性,在表面形成类似于“金字塔”的绒面结构,使得入射光在硅片表面多次反射,提高入射光吸收效率,可提高单晶硅太阳电池的转换效率。实验探索了一种廉价的硅织构化腐蚀技术,即单独采用Na_2Si O_3代替传统的氢氧化钠和异丙醇溶液,以减少价格较高的异丙醇的用量,降低成本。不采用异丙醇或其他机械消泡的条件下,用质量分数为5%的Na_2Si O_3溶液在80℃腐蚀120min,单晶硅片表面可获得最佳反射率为12.56%的减反射绒面。虽然与传统的氢氧化钠和异丙醇溶液效果相比,单独使用Na_2SiO_3溶液腐蚀单晶硅片表面的反射率和均匀性略差,但在传统的氢氧化钠和异丙醇体系中加入质量分数为0.1%的Na_2Si O_3也会促进腐蚀反应的进行,获得更加均匀的减反射绒面。 展开更多
关键词 单晶硅 绒面 硅酸钠 太阳能电池
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多晶硅表面酸腐蚀制备绒面研究 被引量：17
3
作者 张发云 叶建雄 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期222-226,共5页
采用各向同性腐蚀法制备多晶硅绒面,腐蚀液为HF和HNO3的混合溶液,缓和剂为NaH2PO4.2 H2O溶液.利用SEM、AFM和紫外分光光度计对硅片绒面进行检测和分析,初步探讨了酸腐蚀机理.结果表明：采用NaH2PO4.2 H2O溶液作为缓和剂,腐蚀后的硅片表... 采用各向同性腐蚀法制备多晶硅绒面,腐蚀液为HF和HNO3的混合溶液,缓和剂为NaH2PO4.2 H2O溶液.利用SEM、AFM和紫外分光光度计对硅片绒面进行检测和分析,初步探讨了酸腐蚀机理.结果表明：采用NaH2PO4.2 H2O溶液作为缓和剂,腐蚀后的硅片表面具有均匀的腐蚀坑,表面陷光效果较好,通过优化各种参量,反应速度可以控制在2μm/min左右,适合工业生产的要求.在富HF时,硅片表面易形成尖锐边缘的腐蚀坑,出现或多或少的小孔,反射率最低可达16.5%-17.5%;在富HNO3时,硅片表面易形成腐蚀坑较浅、尺寸偏大的气泡状绒面或光面,反射率较高. 展开更多
关键词 多晶硅 酸腐蚀 绒面 反射率 形貌
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化学腐蚀法制备多晶硅的绒面 被引量：8
4
作者 卢景霄 孙晓峰 +2 位作者 王海燕 李维强 谷锦华 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期138-141,共4页
为了降低光在多晶硅表面的反射,采用化学腐蚀法在其表面制备了绒面。根据反射光谱的测试结果,研究了不同多晶硅绒面的形貌特征及光学特性。在适当的腐蚀液中制备了3×3cm2、5×5cm2和10×10cm2多晶硅绒面。10×10cm2多... 为了降低光在多晶硅表面的反射,采用化学腐蚀法在其表面制备了绒面。根据反射光谱的测试结果,研究了不同多晶硅绒面的形貌特征及光学特性。在适当的腐蚀液中制备了3×3cm2、5×5cm2和10×10cm2多晶硅绒面。10×10cm2多晶硅绒面,在300～1100nm波长范围内的加权反射率的最好结果为5 2%,表面织构均匀,这一结果可以和具有双层减反射膜的多晶硅表面的反射率相比拟。 展开更多
关键词 多晶硅 化学腐蚀 绒面 多孔硅 减反射膜
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单晶硅表面金字塔生长过程的实验研究 被引量：8
5
作者 田嘉彤 冯仕猛 +5 位作者 王坤霞 徐华天 刘峰 黄建华 杨树泉 裴俊 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第10期1505-1508,共4页
在普通碱液中添加一种特殊的添加剂,在不同时间下对单晶硅表面进行刻蚀.用扫描电子显微镜观察样品表面形貌,结果显示:单晶硅片放入加入添加剂2mL的刻蚀液中,经过10min刻蚀后晶体表面零星出现大小不一的金字塔,并有大面积的平滑区;刻蚀15... 在普通碱液中添加一种特殊的添加剂,在不同时间下对单晶硅表面进行刻蚀.用扫描电子显微镜观察样品表面形貌,结果显示:单晶硅片放入加入添加剂2mL的刻蚀液中,经过10min刻蚀后晶体表面零星出现大小不一的金字塔,并有大面积的平滑区;刻蚀15min后金字塔大小趋向一致,平滑区面积缩小;刻蚀20min硅片表面形成平均尺寸为2～4μm金字塔绒面结构,并且均匀性好、覆盖率高;刻蚀25min后,进入过腐蚀阶段,金字塔出现变大的现象.研究表明:与传统碱腐蚀相比,添加剂可以缩短单晶硅刻蚀时间,并获得较为理想的绒面结构,在工业上应用可以降低生产成本和生产时间,提高生产率. 展开更多
关键词 单晶硅 微结构 绒面
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碱性脂肪酶Greasex 50L在制革中的应用 被引量：4
6
作者 于志淼 谢衡 《中国皮革》 CAS 北大核心 1999年第15期17-19,共3页
简述了碱性脂肪酶Ｇｒｅａｓｅｘ５０Ｌ在皮革工业的应用及作用机理、使用后所带来的质量改善。
关键词 脂肪酶 脱脂 散绒 绒面 浸水 制革 Greasex50L
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多晶硅太阳电池酸腐蚀绒面技术研究进展 被引量：7
7
作者 张发云 叶建雄 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期307-309,共3页
高性价比优势使多晶硅成为光伏市场的主要材料。随着太阳电池向低成本化方向的发展,研究太阳电池多晶硅酸腐蚀绒面技术有着重要的意义。综述了近年来多晶硅太阳电池酸腐蚀绒面技术的研究进展,着重阐述多晶硅酸腐蚀绒面形成机制、最新的... 高性价比优势使多晶硅成为光伏市场的主要材料。随着太阳电池向低成本化方向的发展,研究太阳电池多晶硅酸腐蚀绒面技术有着重要的意义。综述了近年来多晶硅太阳电池酸腐蚀绒面技术的研究进展,着重阐述多晶硅酸腐蚀绒面形成机制、最新的改进工艺及其数值模拟技术,并展望了多晶硅太阳电池酸腐蚀绒面技术的发展前景。 展开更多
关键词 多晶硅 酸腐蚀 绒面 数值模拟
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单晶硅制绒的实验研究 被引量：7
8
作者 王兴普 段良飞 +4 位作者 廖承菌 杨雯 李学铭 廖华 杨培志 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第2期242-246,共5页
为制备具有理想金字塔织构表面的单晶硅,采用原硅片、碱体系抛光硅片、酸体系抛光硅片分别在氢氧化钠/硅酸钠/异丙醇(NaOH/Na2SiO3·9H2O/IPA)体系、NaOH/IPA体系、碳酸钠/碳酸氢钠(Na2CO3/NaHCO3)体系下对单晶硅表面织构进行实验... 为制备具有理想金字塔织构表面的单晶硅,采用原硅片、碱体系抛光硅片、酸体系抛光硅片分别在氢氧化钠/硅酸钠/异丙醇(NaOH/Na2SiO3·9H2O/IPA)体系、NaOH/IPA体系、碳酸钠/碳酸氢钠(Na2CO3/NaHCO3)体系下对单晶硅表面织构进行实验研究。利用智能型数字显微镜对表面形貌进行观察,利用紫外-可见-近红外分光光度计测量反射光谱。结果表明:酸体系抛光硅片的表面较为平整,再通过NaOH/Na2SiO3·9H2O/IPA体系制备的金字塔绒面结构完整、排布紧密、大小一致,且具有较低的反射率。 展开更多
关键词 单晶硅 抛光 各向异性 绒面
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表面损伤对单晶硅太阳电池制绒的影响 被引量：6
9
作者 肖俊峰 汪雷 杨德仁 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第10期1337-1342,共6页
研究了不同温度、不同浓度碱溶液去除单晶硅亚表面损伤对单晶硅太阳电池制绒的影响。结果显示,在对亚表面损伤的去除过程中,硅片在不同腐蚀条件下反应的开始阶段和后期表面形貌差异较大。在20%KOH溶液中反应40s后的硅片制绒5min后形成... 研究了不同温度、不同浓度碱溶液去除单晶硅亚表面损伤对单晶硅太阳电池制绒的影响。结果显示,在对亚表面损伤的去除过程中,硅片在不同腐蚀条件下反应的开始阶段和后期表面形貌差异较大。在20%KOH溶液中反应40s后的硅片制绒5min后形成的小凸起远大于在20%KOH溶液中反应100s的硅片制绒5min后形成的小凸起。在20%KOH溶液中反应40s的硅片在制绒过程中金字塔结构的长大不是按照理想的(111)面进行的,而反应100s的硅片制绒过程中金字塔结构的长大则更加规则。 展开更多
关键词 单晶硅 太阳电池 表面损伤 绒面 反射率
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精纺绒面毛织物的抗起毛起球整理 被引量：6
10
作者 王科林 孟霞 +2 位作者 李腊梅 胡衍聪 朱蓉芳 《印染》 北大核心 2015年第14期35-37,41,共4页
采用6种工艺对毛织物进行缩绒整理,探讨不同缩绒工艺、缩绒时间和压强对毛织物抗起毛起球性能和手感的影响。结果表明,采用二次烧毛与二次缩绒结合的工艺,在第一次为长时间缩绒、第二次为短时间缩绒,以及缩绒压力循序渐进变化的工艺条件... 采用6种工艺对毛织物进行缩绒整理,探讨不同缩绒工艺、缩绒时间和压强对毛织物抗起毛起球性能和手感的影响。结果表明,采用二次烧毛与二次缩绒结合的工艺,在第一次为长时间缩绒、第二次为短时间缩绒,以及缩绒压力循序渐进变化的工艺条件下,毛织物的绒面均匀度和抗起毛起球性能较好。经过抗起球助剂CRILOTAN WRG整理后,毛织物的抗起毛起球指标可提高1级左右。 展开更多
关键词 防起毛起球整理 缩绒 精纺毛织物 绒面
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太阳能电池单晶Si表面织构化的工艺改进 被引量：6
11
作者 闫宝华 檀柏梅 +3 位作者 刘玉岭 孙增标 申晓宁 张研 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第11期695-699,共5页
通过实验分析Na2SiO3和Na3PO4混合溶液对〈100〉晶向的单晶Si片的各向异性腐蚀过程,探讨了Na2SiO3溶液和Na2SiO3、Na3PO4混合溶液对表面织构化的影响机制,并且对制绒前Si片的电化学清洗过程和混合溶液的反应温度和反应时间等参数的变化... 通过实验分析Na2SiO3和Na3PO4混合溶液对〈100〉晶向的单晶Si片的各向异性腐蚀过程,探讨了Na2SiO3溶液和Na2SiO3、Na3PO4混合溶液对表面织构化的影响机制,并且对制绒前Si片的电化学清洗过程和混合溶液的反应温度和反应时间等参数的变化对金字塔绒面微观形貌的影响做了分析。最终通过大量实验得到,用质量分数为4%的Na2SiO3和2%的Na3PO4混合溶液在78℃腐蚀60min,单晶Si片表面可获得最佳反射率为11.98%的减反射绒面。单晶Si片表面的反射率优于单独使用Na2SiO3溶液腐蚀,更重要的是制得了很好的均匀性表面。 展开更多
关键词 单晶硅 太阳电池 电化学清洗 绒面 各向异性腐蚀 转换效率
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晶体硅金字塔绒面结构圆化对其光反射率和非晶硅薄膜钝化效果的影响 被引量：6
12
作者 龚洪勇 黄海宾 周浪 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期913-917,共5页
(001)晶体硅金字塔绒面结构圆化有提高光反射率与提高非晶硅薄膜钝化效果的相互矛盾的双重作用,定量了解它们对优化非晶硅/晶体硅异质结太阳电池的绒面结构圆化程度很有必要。本文以表面粗糙度Rz相对下降百分数定量表征晶体硅衬底表面... (001)晶体硅金字塔绒面结构圆化有提高光反射率与提高非晶硅薄膜钝化效果的相互矛盾的双重作用,定量了解它们对优化非晶硅/晶体硅异质结太阳电池的绒面结构圆化程度很有必要。本文以表面粗糙度Rz相对下降百分数定量表征晶体硅衬底表面金字塔绒面结构圆化程度DR,研究了DR值对等离子体化学气相沉积氢化本征非晶硅薄膜钝化效果的改善作用,发现除圆化初期效果异常高以外,二者之间基本呈线性正比关系;相对改善作用随钝化膜变薄而显著提高。同时测定了DR值对金字塔绒面光反射率的影响,发现反射率基本随DR值线性增大。典型结果为:6%绒面结构圆化程度下,金字塔绒面的光反射率绝对值提高3%;其表面7 nm厚的氢化本征非晶硅薄膜可达到使硅片少数载流子寿命相对未圆化绒面样品提高260%。 展开更多
关键词 晶体硅 绒面 非晶硅 钝化 圆化
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含氟表面活性剂对多晶硅绒面微结构的影响 被引量：5
13
作者 林育琼 冯仕猛 +3 位作者 王坤霞 顾俊 刘少军 刘峰 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期502-505,共4页
在酸制绒液中加入含氟表面活性剂,对多晶硅片制绒。然后通过扫描电子显微镜观察多晶硅表面织构,并在此基础上分析含氟表面活性剂对腐蚀效果的影响。实验结果表明:虽然传统酸液对多晶硅制绒是各向同性的,但加入含氟表面活性剂后,酸腐蚀... 在酸制绒液中加入含氟表面活性剂,对多晶硅片制绒。然后通过扫描电子显微镜观察多晶硅表面织构,并在此基础上分析含氟表面活性剂对腐蚀效果的影响。实验结果表明:虽然传统酸液对多晶硅制绒是各向同性的,但加入含氟表面活性剂后,酸腐蚀出现各向异性腐蚀特性;由此制备的多晶硅片反射率从25.7%下降到了23.9%,表面出现变形的金字塔、三角形等,且不同晶面的金字塔和三角形的大小和倾斜角度不同。最后根据杨氏理论,从界面张力的角度解释了含氟表面活性剂对制绒的影响机理。 展开更多
关键词 氟表面活性剂 多晶硅片 绒面
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太阳电池制造过程中的测试工艺 被引量：1
14
作者 袁镇 贺立龙 《现代电子技术》 2007年第12期186-188,共3页
太阳能电池是把太阳能转化为电能的装置,一般的太阳能电池是用半导体材料制成的。按照晶体硅太阳电池制造的工艺流程,对太阳电池制造过程中各工序之间的测试项目进行了介绍。同时,介绍了各测试项目的测试设备、测试原理以及测试过程。
关键词 太阳电池 绒面 扩散 减反射膜
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表面活性剂在单晶硅太阳能电池片制绒中的作用 被引量：4
15
作者 田怡 高华 +2 位作者 张闻斌 汪建强 秦尤敏 《电子工艺技术》 2012年第4期234-237,共4页
表面活性剂在晶体硅电池清洗制绒中具有重要的作用。在现有大规模产业化生产线NaOH+H2O+异丙醇(IPA)制绒体系的基础上,研究了复配表面活性剂替代异丙醇的可行性。通过测试不同浓度复配表面活性剂条件下制备得到绒面的表面反射率和SEM形... 表面活性剂在晶体硅电池清洗制绒中具有重要的作用。在现有大规模产业化生产线NaOH+H2O+异丙醇(IPA)制绒体系的基础上,研究了复配表面活性剂替代异丙醇的可行性。通过测试不同浓度复配表面活性剂条件下制备得到绒面的表面反射率和SEM形貌图,测试研究结果显示,复配表面活性剂的制绒效果要显著优于以异丙醇(IPA)为添加剂的腐蚀溶液,且复配表面活性剂浓度在略大于临界胶束浓度得到最优实验结果。 展开更多
关键词 单晶硅 绒面 表面活性剂
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湿法刻蚀对背钝化多晶电池的影响
16
作者 郭卫 李雪方 申开愉 《山西化工》 2023年第1期21-23,共3页
背钝化多晶电池工艺中通常使用各种化学品,采用链式设备对硅片进行清洗、制绒等处理,以达到后续的外观、洁净度等工艺要求。背钝化多晶电池生产中,需要对多晶硅片进行多次化学品处理。多晶制绒工艺在生产顺序的上游完成,接着再进行背面... 背钝化多晶电池工艺中通常使用各种化学品,采用链式设备对硅片进行清洗、制绒等处理,以达到后续的外观、洁净度等工艺要求。背钝化多晶电池生产中,需要对多晶硅片进行多次化学品处理。多晶制绒工艺在生产顺序的上游完成,接着再进行背面钝化、清洗等工艺时,如果多晶硅片正面没有进行有效保护,就会对多晶硅片的绒面结构造成破坏,不仅影响成品电池片正面外观,同时也影响电池片转换效率和质量检测。本文优化了原有的旧制绒工艺,通过改变不同刻蚀工艺时的化学品配比、减重量、反射率等,既可以对硅片进行有效清洗,同时也能避免对硅片外观造成破坏,调试出了适合背钝化多晶电池湿法刻蚀处理的工艺流程与控制参数。 展开更多
关键词 绒面 减重量 反射率
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纳米硅薄膜太阳能电池的绒面结构研究 被引量：4
17
作者 贾士亮 张维佳 +3 位作者 刘浩 张心强 郭卫 吴倞 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期30-34,共5页
通过对比NaOH/乙二醇和NaOH/异丙醇两种体系的优劣,进行不同腐蚀时间和温度下的绒面制备试验,得到了优化的绒面制备工艺和绒面纳米硅薄膜太阳能电池。结果表明:衬底具有完整规则的"金字塔"结构,反射率为11.02%。制备的绒面纳... 通过对比NaOH/乙二醇和NaOH/异丙醇两种体系的优劣,进行不同腐蚀时间和温度下的绒面制备试验,得到了优化的绒面制备工艺和绒面纳米硅薄膜太阳能电池。结果表明:衬底具有完整规则的"金字塔"结构,反射率为11.02%。制备的绒面纳米硅薄膜太阳能电池在标准条件(AM1.5,辐照强度0.1W/cm2,(25±1)℃)下测试,其性能参数为:S为1cm2,Voc为528mV,Isc为28.8mA,η为7.2%。相比较于无绒面结构电池,η提高了2.4%。 展开更多
关键词 太阳能电池 绒面 单晶硅 纳米硅薄膜 PECVD
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绒面ZnO透明导电薄膜 被引量：3
18
作者 朱锋 薛玉明 +2 位作者 孙建 赵颖 耿新华 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期419-421,427,共4页
采用孪生ZnO (Al2 O3 ∶2 % )对靶直流磁控溅射制备高透过率、高电导率的平面ZnO薄膜 (迁移率为 5 .5 6cm2 /V·s,载流子浓度为 4 .5 7× 10 2 0 cm-3 ,电阻率为 2 .4 6× 10 -3 Ω·cm ,可见光范围 (380～ 80 0nm)平... 采用孪生ZnO (Al2 O3 ∶2 % )对靶直流磁控溅射制备高透过率、高电导率的平面ZnO薄膜 (迁移率为 5 .5 6cm2 /V·s,载流子浓度为 4 .5 7× 10 2 0 cm-3 ,电阻率为 2 .4 6× 10 -3 Ω·cm ,可见光范围 (380～ 80 0nm)平均透过率大于 85 % )。用酸腐蚀的方法 ,可以获得绒面效果 ,而反应气压对绒面效果没有影响 ,薄膜的电学特性没有变化 ,绒面对光散射作用增强 ,导致相对于平面ZnO薄膜的透过率要低一些 (可见光范围平均透过率大于 80 % )。 展开更多
关键词 ZNO 透明导电薄膜 绒面 直流磁控溅射 电阻率
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两步腐蚀法制备多晶硅绒面 被引量：3
19
作者 张妹玉 陈朝 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期243-247,共5页
采用两步化学腐蚀法在多晶硅材料的表面制备了绒面结构,其中两步腐蚀法包括酸-碱两步腐蚀法和酸-酸两步腐蚀法。通过表面形貌SEM和反射谱的测试,详细地研究了不同腐蚀条件和腐蚀溶液制备绒面的形貌和光学特征。实验发现,当腐蚀速率较快... 采用两步化学腐蚀法在多晶硅材料的表面制备了绒面结构,其中两步腐蚀法包括酸-碱两步腐蚀法和酸-酸两步腐蚀法。通过表面形貌SEM和反射谱的测试,详细地研究了不同腐蚀条件和腐蚀溶液制备绒面的形貌和光学特征。实验发现,当腐蚀速率较快时,多晶硅的绒面形貌会出现大量的晶界和针孔效应,并分析了其形成原因。同时,采用酸-碱两步腐蚀法的效果优于酸-酸两步腐蚀法的效果。最后,用PECVD在绒面上沉积SiNx减反射膜,使表面的反射率在600～800nm范围内降到3%左右,达到了良好的减反射效果,得出了最优的绒面制备方案。 展开更多
关键词 多晶硅 绒面 光学特性
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汽车座椅用绒面超纤革的设计与开发 被引量：3
20
作者 许志 《聚氨酯工业》 北大核心 2020年第2期35-37,共3页
介绍了汽车座椅用绒面超纤革原材料开发、外观及内在结构设计要求、主要生产工艺流程及材料的检验标准,指出了汽车座椅用绒面超纤革的开发与设计的方法和要点。
关键词 聚氨酯 汽车座椅 绒面 超纤革 设计 开发
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