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5G通信LWDM窄带滤光膜的研制
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作者 张静 刘海成 +6 位作者 付秀华 王升耆 王一博 刘俊岐 张天翔 杨飞 李刚 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第19期61-69,共9页
为了满足5G光通信对细波分复用(LWDM)窄带滤光膜的要求,笔者采用电子束与离子辅助沉积技术,在K9基底上镀制了高质量光通信滤光膜。提出了一种高精度调试膜厚均匀性与光谱一致性的方法,该方法通过对特殊膜系镀膜结果进行反演分析,能快速... 为了满足5G光通信对细波分复用(LWDM)窄带滤光膜的要求,笔者采用电子束与离子辅助沉积技术,在K9基底上镀制了高质量光通信滤光膜。提出了一种高精度调试膜厚均匀性与光谱一致性的方法,该方法通过对特殊膜系镀膜结果进行反演分析,能快速分析出Ta_(2)O_(5)和SiO_(2)两种材料光学厚度的误差,根据分析结果调节修正板,可以有效解决光学厚度匹配的问题,改善窄带滤光膜光谱。在镀制过程中采用光学直接监控法监控膜厚,对基板的实时光量值曲线进行拟合,根据拟合结果监控膜层厚度,同时采用晶控平均厚度法对耦合层与非规整膜层进行监控,提高了监控精度。最终制备的滤光膜在-0.2 dB处的带宽为4.1 nm,通带内最大插入损耗为0.14 dB,通带波纹为0.04 dB,-27 dB处带宽为6.0 nm,满足细波分复用窄带滤光膜的技术要求。 展开更多
关键词 光通信 细波分复用 光学直接监控法 晶控平均厚度法 通带波纹
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