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纳米Ti膜形成过程的扫描隧道显微镜观察 被引量：3
1
作者 谢天生 杜昊 +2 位作者 孟祥敏 孙超 闻立时 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期113-117,共5页
用磁控溅射方法在聚合物薄膜基体上制备出不同厚度的纳米 Ｔｉ膜．扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）的观察结果表明，初期膜是由直径小于２ｎｍ的形核粒子和粒子团聚体组成．粒子沉积呈岛状生长形成纳米晶粒结构随薄膜厚度增加，平均晶粒尺寸... 用磁控溅射方法在聚合物薄膜基体上制备出不同厚度的纳米 Ｔｉ膜．扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）的观察结果表明，初期膜是由直径小于２ｎｍ的形核粒子和粒子团聚体组成．粒子沉积呈岛状生长形成纳米晶粒结构随薄膜厚度增加，平均晶粒尺寸增加，形成大尺寸晶粒的连续薄膜.分析和讨论了薄膜生长过程的结构特征及溅射条件对薄膜结构的影响． 展开更多
关键词 磁控溅射 纳米ti膜 扫描隧道显微镜 纳米金属薄膜
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磁控溅射工艺对纳米Ti膜形貌的影响 被引量：1
2
作者 金永中 刘东亮 +1 位作者 陈建 吴卫 《四川理工学院学报（自然科学版）》 CAS 2006年第4期49-51,共3页
实验研究了磁控溅射工艺的溅射功率及溅射时间对纳米金属Ti膜的厚度影响,并对薄膜形貌作了简单探讨。结果表明,在其它工艺参数恒定时,金属Ti膜厚度与溅射时间呈正比例关系;金属Ti膜厚度随溅射功率的提高而增大;长时间溅射后的纳米金属T... 实验研究了磁控溅射工艺的溅射功率及溅射时间对纳米金属Ti膜的厚度影响,并对薄膜形貌作了简单探讨。结果表明,在其它工艺参数恒定时,金属Ti膜厚度与溅射时间呈正比例关系;金属Ti膜厚度随溅射功率的提高而增大;长时间溅射后的纳米金属Ti膜表面平整,主要源于薄膜进入连续生长阶段,出现晶粒合并的现象。 展开更多
关键词 磁控溅射 纳米ti膜 溅射工艺 形貌
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