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题名纳米计量学的基础技术组件
被引量：6
- 1
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作者
叶贤基
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机构
工业技术研究院测量技术发展中心
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出处
《云南天文台台刊》
CSCD
北大核心
2002年第3期101-106,共6页
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文摘
为了满足ASTROD激光宇航动力学任务慨念计划的高精度要求 ,以及实现新质量标准 ,我们开始进行次纳米激光测长与纳米定位控制的研究。本文将回顾我们在清华大学与工研院测量中心的研究成果 ,介绍如何利用外差式激光干涉仪、挠性微动台与压电陶瓷 ,进行次纳米激光测长与纳米定位控制。此研究成果将做为ASTROD计划中 ,无拖曳航天技术的研发基础。之后讨论如何将纳米定位控制系统与扫描穿隧显微镜进行整合 ,完成计量型扫描穿隧显微镜 ,进一步将微结构的测量尺寸直接追溯至长度标准。
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关键词
激光宇航动力学
纳米计量学
次纳米级激光测长
纳米定位
挠性移动台
扫描穿隧显微镜
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Keywords
ASTROD
Nanometrology
Subnanometer Laser Metrology
Nanopositioning
Flexure Stage
canning Tunneling Microscopy (STM)
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分类号
P228.5
[天文地球—大地测量学与测量工程]
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题名纳米声乐与纳米声乐技术
被引量：5
- 2
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作者
沈海军
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出处
《艺术科技》
2010年第2期38-40,共3页
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文摘
1引言
1990年,第一届国际纳米科学与技术会议在美国巴尔的摩市举办,标志着纳米科技的诞生。经过二十年飞速的发展,纳米科技的影响已经遍及人类社会生产与生活的各个角落,已派生了包括纳米材料学、纳米物理学、纳米化学、纳米电子学、纳米计量学、纳米机械学、纳米生物学、纳米力学在内的诸多主流学科分支。
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关键词
纳米科学
技术会议
声乐
纳米科技
纳米材料学
纳米物理学
纳米电子学
纳米计量学
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分类号
TB383
[一般工业技术—材料科学与工程]
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题名纳米计量领域中标准物质调查分析
被引量：2
- 3
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作者
任玲玲
卢晓华
李红梅
王海
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机构
中国计量科学研究院
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出处
《中国计量》
2009年第7期71-73,共3页
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文摘
一、调查情况说明 1．调查背景 纳米技术是一门交叉性很强的综合学科．研究的内容涉及现代科技的广阔领域。1993年．国际纳米科技指导委员会将纳米技术划分为纳米电子学、纳米物理学、纳米化学、纳米生物学、纳米加工学和纳米计量学等6个分支学科。其中．前5个分支学科主要以纳米材料和纳米器件为研究对象。纳米计量学则以纳米尺度范围内的检测与表征为主要研究内容。 纳米尺度范围内的检测与表征既是纳米技术研究必不可少的手段，也是纳米理论与实验的重要基础。
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关键词
纳米计量学
标准物质
纳米技术
分支学科
纳米尺度
纳米电子学
纳米物理学
纳米生物学
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分类号
TB383.1
[一般工业技术—材料科学与工程]
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题名计量型原子力测头模型研究及性能分析
被引量：4
- 4
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作者
卢明臻
高思田
杜华
崔建军
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机构
清华大学精密仪器与机械学系
中国计量科学研究院长度计量科学与精密机械测量技术研究所
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出处
《纳米技术与精密工程》
EI
CAS
CSCD
2007年第1期33-37,共5页
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基金
国家科技攻关计划"重要技术标准研究"项目(2002BA906A26).
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文摘
建立了具有立体光路的光束偏转法原子力测头的模型,给出测头的放大能力,证明光路不会对光束偏转法的分辨力造成影响.分析了光路特性,说明光斑运动轨迹与规律.以此为基础完成了一个用于纳米计量的原子力测头,测头读数可溯源.测头的重复性通过实验验证,测头信号实验标准差为0.318nm.该测头应用在“2.5维大范围纳米结构测量系统”中,对台阶高度样板进行测量,取得了良好结果.
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关键词
纳米计量学
原子力显微镜(AFM)
光束偏转法
溯源
台阶高度样板
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Keywords
nanometrology
atomic force microscope （AFM）
optical beam deflection method
traceability
step scale
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分类号
TH742
[机械工程—光学工程]
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题名表面系统的表征(英文)
被引量：2
- 5
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作者
Whitehouse D J
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机构
英国瓦维克大学
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出处
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2003年第1期62-70,共9页
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文摘
需要对表征工程表面的参数进行简化,使之合理化.近年来新提出的参数越来越多,而其必要性并未得以 论证.本文建议表面的表征应与其功能相结合,并首次提出用以表征多表面系统的理论框架.
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关键词
表面系统
工程表面
参数
功能
纳米计量学
摩擦学
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Keywords
surface texture
tribology
nanometrology
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分类号
TB47
[一般工业技术—工业设计]
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题名纳米计量与分子坐标测量机系统设计(1)
- 6
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作者
王佳
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机构
清华大学精密仪器系
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出处
《航空计测技术》
1996年第2期37-40,共4页
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文摘
从纳米计量学与纳米计量测试的基本概念和基本要求出发，参考有关国外文献，编译了这篇文章，介绍纳米计量学和分子坐标测量机的研究成果。对从事这方面研究的科研人员具有一定的参考价值。文章中首先讨论纳米计量学的概念及其测量不确定度标准，实现纳米计量的手段─—建立分子坐标测量机；叙述了分子测量机设计概念和原则；关于分子测量机机械设计，主要讨论了隔离机械振动、热源、声振动等，二维导轨结构，探针安装及结构材料选择等；计量学系统中的计量基准、激光外差干涉仪及条纹细分；最后介绍了分子测量机测量精度的验证与标定。
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关键词
纳米计量学
分子坐标测量机
标定
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分类号
TB9－39
[一般工业技术—计量学]
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