高能等离子体辅助CVD法新型纳米碳膜的制备及分析 被引量：4

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作者 杨武保 范松华 +3 位作者 戈敏 张谷令 沈曾民 杨思泽 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期351-356,共6页

利用自制高能等离子体辅助化学气相沉积设备在1Cr18Ni9Ti衬底上,在离子能量2keV、工作压力2Pa、工作气氛为CH4/H2=10%的工艺条件下得到了一种硬度高、导电性能良好、可能具有碳链结构的新型碳膜.工艺研究结果表明,衬底材料对制备该新型... 利用自制高能等离子体辅助化学气相沉积设备在1Cr18Ni9Ti衬底上,在离子能量2keV、工作压力2Pa、工作气氛为CH4/H2=10%的工艺条件下得到了一种硬度高、导电性能良好、可能具有碳链结构的新型碳膜.工艺研究结果表明,衬底材料对制备该新型纳米碳膜具有关键作用,离子能量、工作压力及气氛等工艺因素也具有重要作用.原子力显微镜分析结果表明,该薄膜晶粒尺寸小于100nm,薄膜光滑、致密、均匀.拉曼光谱分析显示,该薄膜的拉曼光谱特征为中心峰在1580cm-1附近、显著宽化的单一峰.欧姆计测量表明该薄膜的薄膜电阻为1·6×104Ω/cm2.利用纳米力学探针测得该纳米碳膜的显微硬度为21·38GPa,体弹性模量为420·65GPa. 展开更多

关键词 高能等离子体 CVD法 纳米碳膜 衬底材料

原文传递

生物质纳米碳膜的制备及其电化学性能

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作者 何锡凤 宋伟明 +1 位作者 荆涛 左春玲 《化学研究与应用》 CAS 北大核心 2023年第3期572-578,共7页

将衰老叶片用H_(2)SO_(4)进行水热氧化得到氧化水合碳前驱体,前驱体经烘干研磨在KOH存在下进行碳化得到生物质纳米碳膜(LS-OCM),通过FT-IR,XRD、TEM、SEM、AFM、XPS及N_(2)吸附-脱附等测试手段对其材料组成和微观形貌进行表征。TEM、SEM... 将衰老叶片用H_(2)SO_(4)进行水热氧化得到氧化水合碳前驱体,前驱体经烘干研磨在KOH存在下进行碳化得到生物质纳米碳膜(LS-OCM),通过FT-IR,XRD、TEM、SEM、AFM、XPS及N_(2)吸附-脱附等测试手段对其材料组成和微观形貌进行表征。TEM、SEM及N_(2)吸附-脱附分析显示,制得生物质纳米碳膜材料(LS-OCM)既保留叶片原有的叶脉结构又形成丰富多级的孔道结构,比表面积约为450.7 m^(2)/g,孔径分布较窄,平均孔径为3.8 nm;AFM分析显示,LS-OCM类似二维纳米膜,片层平均厚度在1.6 nm左右;XPS及XRD分析表明,该材料中C主要以C=C形似存在,为类石墨烯碳膜。电化学性能分析表明,在电流密度为0.25 A/g下,LS-OCM比电容为262.58 F/g,循环100圈,比电容仍然可达150.8 F/g,表明材料具有良好的稳定性。 展开更多

关键词 叶片 水热氧化 前驱体 生物质 纳米碳膜 比电容

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新产品问世

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《化工科技市场》 CAS 2003年第12期38-43,共6页

新型缓释肥料的研制日前,中国科学院沈阳生态所与锦西天然气化工有限责任公司签订了生态友好型缓释尿素技术转让协议,该项科研成果将由此步入产业化生产阶段。该项目由中国科学院沈阳生态所的梁文举研究员主持开发,为国家863项目。

关键词 缓释肥料 环保光学玻璃 超疏水纳米碳膜 催化剂 保鲜膜 茂名乙烯 水处理剂 水性固化剂

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超薄碳糊电极的电化学性质及其应用 被引量：2

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作者 汪振辉 张玲玲 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期528-532,共5页

在镍铬合金基体表面,构建了嵌入式纳米超薄碳糊电极（INCPE）,扫描电镜表征了电极形貌,以维生素B6为目标物,用循环伏安、差示脉冲以及多阶半微分电化学方法研究其电化学性质. INCPE对VB6有灵敏的响应. 在pH=6.7的磷酸盐缓冲溶液中,VB6... 在镍铬合金基体表面,构建了嵌入式纳米超薄碳糊电极（INCPE）,扫描电镜表征了电极形貌,以维生素B6为目标物,用循环伏安、差示脉冲以及多阶半微分电化学方法研究其电化学性质. INCPE对VB6有灵敏的响应. 在pH=6.7的磷酸盐缓冲溶液中,VB6的氧化峰电流与其浓度在1.0×10^-7～2.0×10^-4 mol/L范围内呈良好的线性关系,检出限（N/S=3）为7.0×10^-8 mol/L,相关系数为0.995 2. 结果表明,INCPE稳定、灵敏. 展开更多

关键词 纳米碳糊膜 伏安法 嵌入式电极 维生素B6

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表面覆盖钛薄膜的纳米片状碳膜场发射特性(英文)

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作者 胡新宇 李英爱 +1 位作者 许基松 顾广瑞 《延边大学学报（自然科学版）》 CAS 2010年第3期228-231,共4页

利用石英管型波等离子体化学气相沉积装置在Si衬底上沉积了纳米片状碳膜,然后采用电子束蒸镀方法在碳膜表面沉积了一层2 nm厚的Ti膜,并在高真空系统中测量了覆盖Ti膜前后的纳米片状碳膜的场发射特性.研究表明:覆盖Ti膜的纳米片状碳膜因... 利用石英管型波等离子体化学气相沉积装置在Si衬底上沉积了纳米片状碳膜,然后采用电子束蒸镀方法在碳膜表面沉积了一层2 nm厚的Ti膜,并在高真空系统中测量了覆盖Ti膜前后的纳米片状碳膜的场发射特性.研究表明:覆盖Ti膜的纳米片状碳膜因表面生成碳化钛而改性,使得场发射特性得到改善;表面覆盖Ti膜后,阈值电场由2.6 V/μm下降到2.0 V/μm,当电场增加到9 V/μm时,场发射电流由12.4 mA/cm2增加到20.2 mA/cm2. 展开更多

关键词 纳米片状碳膜 场发射 Ti膜 微波等离子体CVD

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纳米絮状碳膜的制备及场发射特性

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作者 崔雪菡 顾广瑞 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期57-61,共5页

采用电子回旋共振等离子体化学气相沉积(ECR-CVD)技术,以CH4和H2为源气体,硅片为衬底制备了碳膜。利用拉曼光谱仪和扫描电子显微镜成功研究了基板偏压、沉积时间、CH4浓度等工艺参数的改变对碳膜絮状结构的影响。通过分析碳膜结构和形貌... 采用电子回旋共振等离子体化学气相沉积(ECR-CVD)技术,以CH4和H2为源气体,硅片为衬底制备了碳膜。利用拉曼光谱仪和扫描电子显微镜成功研究了基板偏压、沉积时间、CH4浓度等工艺参数的改变对碳膜絮状结构的影响。通过分析碳膜结构和形貌,得出纳米絮状碳膜的最佳工艺参数。通过电流密度-电场(J-E)曲线和Fowler-Nordheim(F-N)曲线,研究了CH4浓度对纳米絮状碳膜的场发射特性的影响。随着CH4浓度的增加,碳膜的阈值电场逐渐降低,发射电流密度逐渐增加。 展开更多

关键词 电子回旋共振化学气相沉积 纳米絮状碳膜 场发射特性

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催化剂对纳米非晶碳膜场发射性能的影响

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作者 张新月 曾凡光 +1 位作者 姚宁 张兵临 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期83-86,共4页

利用微波等离子体增强化学气相沉积(MPECVD)法,在经处理的单晶硅衬底上沉积了纳米非晶碳薄膜。通过Raman、SEM、XRD表征,研究了催化剂对纳米非晶碳膜的生长速率及场发射性能的影响。结果表明,在制备纳米非晶碳膜时使用FeCl3作为催化剂... 利用微波等离子体增强化学气相沉积(MPECVD)法,在经处理的单晶硅衬底上沉积了纳米非晶碳薄膜。通过Raman、SEM、XRD表征,研究了催化剂对纳米非晶碳膜的生长速率及场发射性能的影响。结果表明,在制备纳米非晶碳膜时使用FeCl3作为催化剂可大幅提高其生长速率。在相同的制备条件下,与未加FeCl3催化剂制备的纳米非晶碳膜的场发射性能相比,加催化剂制备的碳膜开启电场降至0.5V.μm-1;在1.8V.μm-1的电场下,电流密度可以达到2.6mA.cm-2,而且发射点密度较大、分布均匀。 展开更多

关键词 纳米非晶碳膜 催化剂 场发射

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纳米材料

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《新材料产业》 2003年第11期64-67,共4页

国内外新材料领域技术、产业、企业、市场、应用等最新发展动态。信息来自我刊特约通讯员、国内外各主要报纸、期刊、网站、以及政府部门、信息机构、相关企业。

关键词 纳米材料 超疏水纳米结构碳膜 纳米亲水铝箔覆材料 聚电解质纳米管

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纳米碳加热膜式节能油温机控制系统设计

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作者 徐圣颉 李彬彬 +1 位作者 王志刚 郭幸 《价值工程》 2018年第19期134-137,共4页

研究了基于三菱PLC自带的PID控制模块的纳米碳加热膜式节能油温机控制系统。该系统选用PLC触摸屏一体机作为纳米碳加热材料控制器,利用三菱PLC自带的PID控制模块来控制纳米碳加热膜式纳米加热器。样机实验表明,该系统温度控制稳定,超调... 研究了基于三菱PLC自带的PID控制模块的纳米碳加热膜式节能油温机控制系统。该系统选用PLC触摸屏一体机作为纳米碳加热材料控制器,利用三菱PLC自带的PID控制模块来控制纳米碳加热膜式纳米加热器。样机实验表明,该系统温度控制稳定,超调量小,可用于多种工业温度控制场合。 展开更多

关键词 比例-积分-微分控制(PID) 温度控制 纳米碳加热膜节能 油温机硩

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国内纳米材料研究寓意于创新 被引量：3

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《微纳电子技术》 CAS 2003年第12期47-47,共1页

关键词 纳米材料 创新 纳米结构碳膜 涂覆技术 有机纳米纤维

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纳米新闻

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《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2003年第11期51-51,共1页

关键词 三氧化铋 纳米结构碳膜 纳米材料 全硫化粉末橡胶

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