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纳米硬质薄膜的研究进展 被引量：7
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作者 陶斯武 雷诺 曲选辉 《稀有金属与硬质合金》 CAS CSCD 2005年第3期37-41,55,共6页
介绍了纳米硬质薄膜的概念、设计思想、超硬机制、制备技术及工艺、性能、应用前景,综述了近几年来国内外纳米硬质薄膜材料研究的最新进展,对纳米硬质薄膜的发展趋势提出了一些看法。
关键词 纳米硬质薄膜 硬度 纳米多层膜 纳米复合膜
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