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题名一种基于压电堆栈的惯性纳米步进马达（英文）
被引量：3
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作者
庞宗强
张悦
周泽清
戎舟
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机构
南京邮电大学自动化学院
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出处
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2018年第1期23-27,共5页
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基金
国家自然科学基金青年基金资助项目(11604158,61701250)
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文摘
为了搭建出结构简单、性能稳定的纳米步进马达,从而降低扫描探针显微镜系统搭建的复杂度,本文描述了一款新型的基于压电堆栈的惯性纳米步进马达.仅利用两组压电堆栈和一路锯齿波电压信号即可实现该马达的纳米级步进.其中,两组压电堆栈按照伸缩方向平行固定于基座上,绝缘导轨粘接固定于两组压电堆栈自由端的中间,利用4个氮化硅圆球和铍铜弹簧片将滑杆通过挤压方式固定于绝缘导轨内侧.通过给两组压电堆栈施加一路锯齿波电压信号,利用滑杆自身的惯性作用,即可控制绝缘导轨带动滑杆产生纳米级步进.实验结果表明,此款惯性纳米步进马达可以实现任意角度的纳米级精度位置微调和厘米级范围的粗调.此款纳米步进马达结构紧凑,工作性能稳定,非常适合于在精密光学系统和极端条件下的扫描探针显微镜系统中使用.
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关键词
纳米步进马达
压电堆栈
惯性
锯齿波
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Keywords
nanopositioner
piezoelectric stacks
inertance
sawtooth wave
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分类号
TH7
[机械工程—仪器科学与技术]
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题名业界快讯
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出处
《微纳电子技术》
CAS
2004年第2期46-47,共2页
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关键词
纳米光波导
纳米步进马达
应用处理器
纳米管生产装置
45NM处理器
纳米级晶体管
存储设备
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分类号
TN814.6
[电子电信—信息与通信工程]
TP332
[自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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题名院校新闻
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出处
《中国高校科技与产业化》
2004年第1期8-8,共1页
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文摘
重庆医科大学动物实验室一头小型香猪吞下一粒看似平凡的胶囊,专家通过跟踪探查其排放粪便,胶囊成功拍摄下了香猪胃肠壁的图像。这标志着代表国家“863计划”的高科技智能胶囊研制成功。专家解释,囊壳里面安装了微机电(MEMS)
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关键词
南京工业大学
吸附干燥剂
纳米步进马达
爬绳机器人
等离子彩色电视
抗艾滋病药
科研成果
高校
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分类号
G644
[文化科学—高等教育学]
T-1
[文化科学—教育学]
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题名纳米步进马达研制成功
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出处
《中国科技信息》
2004年第1期26-26,共1页
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关键词
纳米步进马达
研制
自主知识产权
位移测量
纳米加工
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分类号
TM34
[电气工程—电机]
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