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基于阳极氧化铝模板的金属纳米孔阵列膜制备
被引量：
1
1
作者
凌志远
王金池
李屹
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第2期5-6,10,共3页
以0.3 mol/L草酸为电解液,在40 V直流电压、0～5℃下采用二步阳极氧化法制备了纳米多孔阳极氧化铝模板。用射频磁控溅射法在阳极氧化铝模板表面制备了金属铝膜。SEM分析结果表明:金属膜复制了阳极氧化铝模板形貌,具有纳米孔有序阵列结构...
以0.3 mol/L草酸为电解液,在40 V直流电压、0～5℃下采用二步阳极氧化法制备了纳米多孔阳极氧化铝模板。用射频磁控溅射法在阳极氧化铝模板表面制备了金属铝膜。SEM分析结果表明:金属膜复制了阳极氧化铝模板形貌,具有纳米孔有序阵列结构;金属膜的孔径受控于溅射功率和时间,功率30 W下沉积10 min约为68 nm,32 W下10 min约为58 nm,32 W下15 min约为25 nm。
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关键词
金属
材料
纳米
多孔
材料
纳米
多孔
金属
铝
膜
阳极氧化
铝
模板
射频磁控溅射
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职称材料
题名
基于阳极氧化铝模板的金属纳米孔阵列膜制备
被引量：
1
1
作者
凌志远
王金池
李屹
机构
华南理工大学材料学院电子材料系特种功能材料教育部重点实验室
出处
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第2期5-6,10,共3页
文摘
以0.3 mol/L草酸为电解液,在40 V直流电压、0～5℃下采用二步阳极氧化法制备了纳米多孔阳极氧化铝模板。用射频磁控溅射法在阳极氧化铝模板表面制备了金属铝膜。SEM分析结果表明:金属膜复制了阳极氧化铝模板形貌,具有纳米孔有序阵列结构;金属膜的孔径受控于溅射功率和时间,功率30 W下沉积10 min约为68 nm,32 W下10 min约为58 nm,32 W下15 min约为25 nm。
关键词
金属
材料
纳米
多孔
材料
纳米
多孔
金属
铝
膜
阳极氧化
铝
模板
射频磁控溅射
Keywords
metallic material
nanopore material
nanopore metal aluminum film
Anodic aluminum oxide template
radio-frequency magnetron sputtering
分类号
O646.542 [理学—物理化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于阳极氧化铝模板的金属纳米孔阵列膜制备
凌志远
王金池
李屹
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2007
1
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职称材料
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