室温下纳米多孔氧化铝湿度传感器的研究 被引量：6

1

作者 张会锐 张辉 +2 位作者 杨青 张年生 杨德仁 《浙江大学学报（工学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期420-424,共5页

研究了纳米级多孔氧化铝为敏感膜的湿度传感器的制备、性能和感湿机理.用阳极氧化法制得纳米多孔氧化铝,用LCR测量仪研究了该传感器的电容和阻抗随湿度变化的特性,结果发现其电容特性和阻抗特性在33%～97%相对湿度(RH)范围内线性度很好... 研究了纳米级多孔氧化铝为敏感膜的湿度传感器的制备、性能和感湿机理.用阳极氧化法制得纳米多孔氧化铝,用LCR测量仪研究了该传感器的电容和阻抗随湿度变化的特性,结果发现其电容特性和阻抗特性在33%～97%相对湿度(RH)范围内线性度很好.并用等效电路模型对传感器的复阻抗特性进行了分析,讨论了传感器的感湿机理.结果表明,在低湿下该传感器等效于一个R、C并联电路,以电子导电为主;在高湿下等效于两个R、C并联电路的串联,以离子导电为主. 展开更多

关键词 纳米多孔氧化铝 湿度传感器 复阻抗 相对湿度 等效电路模型

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多孔氧化铝蓝色发光的光谱分析 被引量：2

2

作者 徐春祥 薛清华 +2 位作者 钟嫄 唐洁影 崔一平 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期432-434,共3页

采用电化学方法在硫酸和草酸溶液中制备了具有纳米结构的多孔氧化铝。在紫外光激发下 ,草酸中得到的多孔氧化铝可发射出明亮的蓝光 ,而硫酸中制得的样品几乎不发光。通过紫外可见吸收光谱、激发光谱、傅里叶变换红外光谱及X射线光电子... 采用电化学方法在硫酸和草酸溶液中制备了具有纳米结构的多孔氧化铝。在紫外光激发下 ,草酸中得到的多孔氧化铝可发射出明亮的蓝光 ,而硫酸中制得的样品几乎不发光。通过紫外可见吸收光谱、激发光谱、傅里叶变换红外光谱及X射线光电子能谱等分析 ,这种发光被归结于样品中缺陷的存在 。 展开更多

关键词 光谱分析 纳米多孔氧化铝 蓝色发光 FTIR XPS

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俄罗斯科学家开发出氧化铝生产新方法

3

《现代材料动态》 2012年第4期19-20,共2页

莫斯科国立电子技术学院一科研小组开发出了一种生产纳米多孔氧化铝方法。采用这种氧化铝，可以创建包括光子晶体在内的系列用于半导体器件的现代材料。目前，微电子半导体器件主要通过光刻技术来创建。

关键词 氧化铝生产 俄罗斯科学家 开发 纳米多孔氧化铝 半导体器件 电子技术 现代材料 光子晶体

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俄科学家开发出氧化铝生产新方法

4

《现代材料动态》 2012年第2期16-17,共2页

莫斯科国立电子技术学院一科研小组开发出了一种生产纳米多孔氧化铝方法。采用这种氧化铝，可以创建包括光子晶体在内的系列用于半导体器件的现代材料。目前，微电子半导体器件主要通过光刻技术来创建。

关键词 氧化铝生产 开发 科学家 纳米多孔氧化铝 半导体器件 电子技术 现代材料 光子晶体

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纳米多孔氧化铝薄膜厚度的反射光谱测量方法研究

5

作者 熊丹 章海军 张冬仙 《光学仪器》 2006年第2期89-92,共4页

提出一种基于反射光谱的纳米多孔氧化铝(PA)薄膜厚度测量的方法。当白光照射PA薄膜时,分别从薄膜上、下表面反射的两束光线发生干涉。根据布拉格公式(B raggequation),若已知反射干涉光谱相邻两个极大值对应的波数差和薄膜的折射率就可... 提出一种基于反射光谱的纳米多孔氧化铝(PA)薄膜厚度测量的方法。当白光照射PA薄膜时,分别从薄膜上、下表面反射的两束光线发生干涉。根据布拉格公式(B raggequation),若已知反射干涉光谱相邻两个极大值对应的波数差和薄膜的折射率就可以算出薄膜厚度。PA的有效折射率可根据M axw ell-G arnett有效介电常数理论由孔隙率算出。这种方法的优点是能实现PA总体膜厚的非接触、非破坏性在线测量。 展开更多

关键词 反射光谱 纳米多孔氧化铝 薄膜 厚度测量

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鼓膜法测定纳米多孔氧化铝薄膜的弹性模量 被引量：5

6

作者 辜萍 缪泓 +1 位作者 柳兆涛 伍小平 《实验力学》 CSCD 北大核心 2004年第1期34-38,共5页

本文的多孔氧化铝薄膜含有直径均一、互相平行且与表面垂直的有序纳米孔阵列。它有广阔的应用前景。多孔氧化铝膜与氧化铝陶瓷材料的宏观力学性能有很大的区别。本文用鼓膜法结合实时电子散斑干涉(ESPI)技术,测量薄膜压力与离面位移的关... 本文的多孔氧化铝薄膜含有直径均一、互相平行且与表面垂直的有序纳米孔阵列。它有广阔的应用前景。多孔氧化铝膜与氧化铝陶瓷材料的宏观力学性能有很大的区别。本文用鼓膜法结合实时电子散斑干涉(ESPI)技术,测量薄膜压力与离面位移的关系,再用周边固支平板小挠度模型计算出多孔氧化铝薄膜的宏观弹性模量。本实验中厚76微米的多孔氧化铝薄膜的宏观弹性模量为32.5GPa,比热压氧化铝陶瓷的弹性模量几乎小一个数量级,主要是由于晶相和细观结构不同造成的。这种方法较适合测量此类结构薄膜的力学性能。 展开更多

关键词 鼓膜法 纳米多孔氧化铝薄膜 弹性模量 电子散斑干涉术 纳米孔阵列 离面位移

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阳极氧化法制备有序纳米多孔氧化铝膜的研究 被引量：3

7

作者 窦卫红 许启明 +2 位作者 赵海丽 刘利峰 王超英 《材料开发与应用》 CAS 2007年第5期49-53,共5页

利用电化学阳极氧化的方法,在草酸溶液中,精确控制反应条件,在高纯铝片表面有序生长了纳米多孔氧化铝膜。试验中,分别采用一次阳极氧化和二次阳极氧化方法制备氧化铝膜。利用H3PO4溶液浸泡法对氧化铝膜进行扩孔处理。通过扫描电子显微... 利用电化学阳极氧化的方法,在草酸溶液中,精确控制反应条件,在高纯铝片表面有序生长了纳米多孔氧化铝膜。试验中,分别采用一次阳极氧化和二次阳极氧化方法制备氧化铝膜。利用H3PO4溶液浸泡法对氧化铝膜进行扩孔处理。通过扫描电子显微镜对样品进行表征分析。结果发现,二次阳极氧化制备的氧化铝膜的孔洞分布较一次氧化的更为规则有序,并且孔径大小均匀一致。扫描电镜观察显示,氧化铝膜的扩孔过程可以去掉阻碍层,并调节孔径大小,溶去二次氧化后黏附在氧化层表面的一些杂质,从而使氧化铝模板更为规则有序,孔径均一。这种经过二次阳极氧化和扩孔处理得到多孔阳极氧化铝模板的方法简单,成本较低,可以为后续的纳米材料合成提供高质量的合成模板。 展开更多

关键词 电化学阳极氧化 纳米多孔氧化铝膜 有序列阵

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金属复合材料 被引量：2

8

作者 王敏 《金属功能材料》 CAS 2003年第4期47-48,共2页

关键词 金属复合材料 纳米复合材料 纳米多孔氧化铝膜 德国采尔公司 纳米铜-氧化铝复合材料 机械合金化

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不同孔径纳米氧化铝膜的表征及其对U251细胞形态的影响 被引量：1

9

作者 安郁宽 秦丹 徐艳岩 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第14期36-39,共4页

为了观察不同孔径的纳米多孔氧化铝膜对U251细胞形态的影响,采用电化学阳极氧化技术分别在硫酸、草酸、磷酸电解液中制备了3种不同孔径的氧化铝膜,用扫描电镜和X射线能谱仪(Energy dispersive X-ray spectroscopy,EDS)分别对氧化铝膜进... 为了观察不同孔径的纳米多孔氧化铝膜对U251细胞形态的影响,采用电化学阳极氧化技术分别在硫酸、草酸、磷酸电解液中制备了3种不同孔径的氧化铝膜,用扫描电镜和X射线能谱仪(Energy dispersive X-ray spectroscopy,EDS)分别对氧化铝膜进行了微观结构与元素组成表征。使用倒置显微镜和扫描电镜观察U251细胞在不同孔径的氧化铝膜表面上的形态及生长粘附情况。结果表明,3种孔径的纳米氧化铝膜表面生长的U251细胞形态存在差异,生长情况不同。细胞在磷酸中制得的纳米氧化铝膜的突触生长情况优于草酸中制备的氧化铝膜,突触生长更牢固,硫酸中制得的氧化铝膜对U251细胞生长的支持作用最差。 展开更多

关键词 纳米多孔氧化铝膜 表征 U251细胞 细胞形态

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乙醇对纳米多孔氧化铝薄膜光致发光特性的影响

10

作者 邓保霞 李国栋 +1 位作者 张雅晶 王倩 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期152-156,共5页

采用二次阳极氧化法,用乙醇与草酸的混合溶液制备纳米多孔氧化铝薄膜。扫描电子微镜结果显示,乙醇与草酸混合溶液中制备的氧化铝薄膜形貌更规整,有序度更高。光致发光测试结果表明,该混合电解液制备的薄膜的光致发光强度有明显的提高,... 采用二次阳极氧化法,用乙醇与草酸的混合溶液制备纳米多孔氧化铝薄膜。扫描电子微镜结果显示,乙醇与草酸混合溶液中制备的氧化铝薄膜形貌更规整,有序度更高。光致发光测试结果表明,该混合电解液制备的薄膜的光致发光强度有明显的提高,且随乙醇浓度的增加,发光强度逐渐增大。结合红外反射光谱及X光电子能谱对上述实验现象进行了分析,为多孔氧化铝薄膜掺杂和改善其发光特性提供了新的思路。 展开更多

关键词 纳米多孔氧化铝薄膜 乙醇 光致发光

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不同退火条件对纳米多孔氧化铝薄膜光致发光的影响

11

作者 谢宁 马凯迪 +1 位作者 沈异凡 王倩 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期3197-3201,共5页

以草酸为电解液，采用二次阳极氧化法制备出了纳米多孔氧化铝薄膜，经不同退火温度和退火气氛处理氧化铝薄膜后，通过分析其光致发光光谱得出：相同的退火气氛中，退火温度T≤600℃时，T=500℃具有最大的光致发光强度；退火温度T≥700... 以草酸为电解液，采用二次阳极氧化法制备出了纳米多孔氧化铝薄膜，经不同退火温度和退火气氛处理氧化铝薄膜后，通过分析其光致发光光谱得出：相同的退火气氛中，退火温度T≤600℃时，T=500℃具有最大的光致发光强度；退火温度T≥700℃时，随着退火温度的升高，样品的发光强度增大。在不同的退火气氛中，多孔氧化铝薄膜随着退火温度的升高，发光峰位改变不同，即在空气中退火处理后，随着退火温度的升高，发光峰位蓝移，而在真空中退火处理后，发光峰位并不随退火温度的升高而变化；通过对1100℃高温退火处理后的氧化铝薄膜的光致发光曲线的高斯拟合，可以看出，经退火处理后的多孔氧化铝，主要存在三个发光中心，发光曲线在350-600nm范围内对应三个发射峰，发射波长分别为387，410，439rlln。相同的退火温度下，空气中退火得到的氧化铝薄膜的光致发光强度大于真空中退火处理后的氧化铝薄膜。基于实验结果，结合x射线色散能谱（EDS）、红外反射光谱等表征手段，探讨了多孔氧化铝薄膜的发光机制，并对经过不同退火条件得到的多孔氧化铝薄膜的光致发光特性的改变做出了合理的解释。 展开更多

关键词 纳米多孔氧化铝薄膜 光致发光 发光中心 退火 光谱分析

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纳米多孔阳极氧化铝膜形貌的控制研究

12

作者 周兴海 涂益友 陈先艳 《中国材料科技与设备》 2008年第4期30-32,共3页

采用38g／L的草酸溶液为电解液，制备了孔洞规则有序，孔径和厚度均一可控的氧化铝模板，并研究了阳极氧化工艺对阳极氧化铝膜形貌的影响。实验结果表明，采用38g／L的草酸溶液作为电解液，经两步法阳极氧化可制得孔径均一，排列规则的... 采用38g／L的草酸溶液为电解液，制备了孔洞规则有序，孔径和厚度均一可控的氧化铝模板，并研究了阳极氧化工艺对阳极氧化铝膜形貌的影响。实验结果表明，采用38g／L的草酸溶液作为电解液，经两步法阳极氧化可制得孔径均一，排列规则的多孔阳极氧化铝膜。随着氧化电流密度的升高，氧化膜孔径逐渐增大。电流密度过大，反应放热严重，氧化铝膜孔径均匀性，孔洞形状规则性和有序性都下降。在恒电流密度条件下，氧化膜厚度随着氧化时问的延长呈线性增长，但对氧化铝膜孔径影响较小。 展开更多

关键词 阳极氧化 纳米多孔氧化铝膜 形貌控制

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RIfS干涉基底的制备、应用及展望

13

作者 苏倩倩 孙宇 +2 位作者 张文文 彭正得 钱卫平 《化学进展》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2023年第12期1793-1806,共14页

反射干涉光谱(Reflectometric interference spectroscopy, RIfS)是一种利用白光干涉原理来对薄膜光学厚度进行测量的非标记检测技术。干涉基底作为RIfS系统的传感单元,是RIfS技术的核心部分,也是决定RIfS系统性能的关键。目前使用的干... 反射干涉光谱(Reflectometric interference spectroscopy, RIfS)是一种利用白光干涉原理来对薄膜光学厚度进行测量的非标记检测技术。干涉基底作为RIfS系统的传感单元,是RIfS技术的核心部分,也是决定RIfS系统性能的关键。目前使用的干涉基底通常被分为两大类:一类是以无机氧化物或聚合物薄膜为代表的平面固体基底,另一类是以多孔硅(pSi)、纳米多孔阳极氧化铝(NAA)以及二氧化硅胶体晶体(SCC)为代表的多孔基底。平面固体基底制备简单且信号稳定,但是检测灵敏度通常比较低;多孔基底具有较大的比表面积,可以捕获更多待测分子,因此与平面固体基底相比检测灵敏度有所提高,并且具有更多的调节空间,非常适合生化传感平台的开发。从pSi到NAA再到SCC,多孔基底制备的可控性及传感性能不断提高,成为RIfS干涉基底的发展方向。本文对RIfS干涉基底发展现状进行了总结和讨论,阐述了基底的常用制备方法,总结了其在生物传感领域代表性的应用,重点讨论了不同基底的优缺点,并对干涉基底未来的发展进行了展望。 展开更多

关键词 反射干涉光谱 干涉基底 纳米多孔阳极氧化铝 多孔硅 胶体晶体

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俄罗斯科学家开发出氧化铝生产新方法

14

《世界有色金属》 2012年第4期18-18,共1页

莫斯科国立电子技术学院一科研小组开发出了一种生产纳米多孔氧化铝方法。采用这种氧化铝，可以创建包括光子晶体在内的系列用于半导体器件的现代材料。 目前，微电子半导体器件主要通过光刻技术来创建。然而，光刻法太昂贵，系列物理... 莫斯科国立电子技术学院一科研小组开发出了一种生产纳米多孔氧化铝方法。采用这种氧化铝，可以创建包括光子晶体在内的系列用于半导体器件的现代材料。 目前，微电子半导体器件主要通过光刻技术来创建。然而，光刻法太昂贵，系列物理和技术方面的瓶颈阻碍其发展。因此，现在大家都在积极开发基于自生自成的方法。 展开更多

关键词 氧化铝生产 俄罗斯科学家 开发 纳米多孔氧化铝 半导体器件 电子技术 现代材料 光子晶体

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由氧化铝纳米管制成的特级灵敏传感器

15

作者 杨英惠（摘译） 《现代材料动态》 2009年第10期7-7,共1页

美国国家标准与工艺研究所（NIST）开发出了一种纳米管气体探测器，这种探测器是在纳米多孔氧化铝衬底上沉积氧化钛制成的。氧化铝薄板上穿了数百万个纳米尺寸孔洞，利用这种衬底生成了纳米管。研究人员将薄板浸入含有钨离子的溶液，而... 美国国家标准与工艺研究所（NIST）开发出了一种纳米管气体探测器，这种探测器是在纳米多孔氧化铝衬底上沉积氧化钛制成的。氧化铝薄板上穿了数百万个纳米尺寸孔洞，利用这种衬底生成了纳米管。研究人员将薄板浸入含有钨离子的溶液，而后将其干燥，并烧结4次，在孔洞壁上生成氧化钨薄膜。由于其表面体积比值高，这种纳米管是非常好的气体敏感器。 展开更多

关键词 纳米多孔氧化铝 纳米管 传感器 气体探测器 灵敏 管制 美国国家标准 氧化钨薄膜

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俄罗斯科学家开发出氧化铝生产新方法

16

《企业技术开发》 2012年第1期74-74,共1页

莫斯科国立电子技术学院一科研小组开发出了一种生产纳米多孔氧化铝方法。采用这种氧化铝，可以创建包括光子晶体在内的系列用于半导体器件的现代材料。目前，微电子半导体器件主要通过光刻技术来创建。

关键词 氧化铝生产 俄罗斯科学家 开发 纳米多孔氧化铝 半导体器件 电子技术 现代材料 光子晶体

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俄罗斯科学家开发出氧化铝生产新方法

17

《铝加工》 CAS 2012年第1期27-27,共1页

莫斯科国立电子技术学院一科研小组开发出了一种生产纳米多孔氧化铝方法。采用这种氧化铝，可以创建包括光子晶体在内的系列用于半导体器件的现代材料。目前，微电子半导体器件主要通过光刻技术来创建。

关键词 氧化铝生产 俄罗斯科学家 开发 纳米多孔氧化铝 半导体器件 电子技术 现代材料 光子晶体

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俄罗斯开发出纳米多孔氧化铝生产新方法

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《军民两用技术与产品》 2012年第2期32-32,共1页

俄罗斯莫斯科国立电子技术学院开发出一种纳米多孔氧化铝生产方法。这种氧化铝可用于制备光子晶体等半导体用先进材料。

关键词 纳米多孔氧化铝 氧化铝生产 俄罗斯 开发 生产方法 电子技术 先进材料 光子晶体

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W2012011俄科学家开发出氧化铝生产新方法

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《中国有色冶金》 CAS 2012年第1期80-80,共1页

莫斯科国立电子技术学院一科研小组开发出了一种生产纳米多孔氧化铝方法。采用这种氧化铝，可以创建包括光子晶体在内的系列用于半导体器件的现代材料。目前，微电子半导体器件主要通过光刻技术来创建。

关键词 氧化铝生产 开发 科学家 纳米多孔氧化铝 半导体器件 电子技术 现代材料 光子晶体

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AAO模板制备中高纯Al电解抛光工艺的研究

20

作者 孙虹 潘羿诺 +2 位作者 冀婷 李国辉 崔艳霞 《科技通报》 2023年第12期1-4,共4页

阳极氧化铝模板以其低成本、高通量、柔性和结构可控性等特点已被用于制备纳米结构材料和光子器件等模板。为促进规则多孔的形成和控制所需的性能,高纯Al片表面的预处理是必需的。为此本文研究了高纯Al片的抛光条件,将面积相近的阳极Al... 阳极氧化铝模板以其低成本、高通量、柔性和结构可控性等特点已被用于制备纳米结构材料和光子器件等模板。为促进规则多孔的形成和控制所需的性能,高纯Al片表面的预处理是必需的。为此本文研究了高纯Al片的抛光条件,将面积相近的阳极Al片与阴极碳板以相互平行的方式垂直放置于高氯酸与乙醇的体积比为1∶7抛光液中。在电解抛光过程中,当外加电压增至9 V以上时,Al片表面开始形成阳极膜,Al片面积越大该阳极膜所受重力势能作用越显著,致使在完成形成均匀阳极膜拐点处对应的电流密度值随Al片面积的增加而增加,且同一Al片面积具有较佳拐点值,以获得理想的表面光洁度。 展开更多

关键词 电解抛光 纳米多孔阳极氧化铝(AAO) 高纯Al

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