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纳米光栅动静态校准工作台
被引量：
1
1
作者
张海波
匡也
唐杨超
《计量学报》
CSCD
北大核心
2018年第4期465-470,共6页
为了改善纳米光栅校准装置校准精度、校准量程及动态频响难以兼顾的问题,采用宏微运动控制方法驱动校准装置作快速、精密、大范围运动。宏动平台由静压气浮导轨和直线电机组合而成,微动平台由柔性铰链和压电陶瓷构成。对宏动平台和微动...
为了改善纳米光栅校准装置校准精度、校准量程及动态频响难以兼顾的问题,采用宏微运动控制方法驱动校准装置作快速、精密、大范围运动。宏动平台由静压气浮导轨和直线电机组合而成,微动平台由柔性铰链和压电陶瓷构成。对宏动平台和微动平台进行动力学建模,并获得宏微运动平台的传递函数。设计微动跟随宏动和宏动跟随微动两种控制策略,并进行建模和仿真分析,利用搭建的实验平台进行了校准装置的性能测试。实验结果表明:宏动跟随微动控制策略具有较高的动态频响性能,校准装置在全行程20 mm内分辨力达到5 nm;在幅值为0.05 mm的正弦频率响应实验中,动态频响达到100 Hz,可满足纳米光栅的动静态校准要求。
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关键词
计量学
纳米
光栅
校准
宏微运动控制
动静态
校准
动力学建模
下载PDF
职称材料
题名
纳米光栅动静态校准工作台
被引量：
1
1
作者
张海波
匡也
唐杨超
机构
黑龙江省计量检定测试研究院
哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2018年第4期465-470,共6页
基金
国家质量监督检验检疫总局科技计划项目(2016QK051)
文摘
为了改善纳米光栅校准装置校准精度、校准量程及动态频响难以兼顾的问题,采用宏微运动控制方法驱动校准装置作快速、精密、大范围运动。宏动平台由静压气浮导轨和直线电机组合而成,微动平台由柔性铰链和压电陶瓷构成。对宏动平台和微动平台进行动力学建模,并获得宏微运动平台的传递函数。设计微动跟随宏动和宏动跟随微动两种控制策略,并进行建模和仿真分析,利用搭建的实验平台进行了校准装置的性能测试。实验结果表明:宏动跟随微动控制策略具有较高的动态频响性能,校准装置在全行程20 mm内分辨力达到5 nm;在幅值为0.05 mm的正弦频率响应实验中,动态频响达到100 Hz,可满足纳米光栅的动静态校准要求。
关键词
计量学
纳米
光栅
校准
宏微运动控制
动静态
校准
动力学建模
Keywords
metrology
nanogratingr
macro/micro motion control
dynamic and static calibration
dynamic modeling
分类号
TB92 [一般工业技术—计量学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
纳米光栅动静态校准工作台
张海波
匡也
唐杨超
《计量学报》
CSCD
北大核心
2018
1
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职称材料
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