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透明介质材料的超快激光微纳加工研究进展 被引量：21
1
作者 李佳群 闫剑锋 +1 位作者 李欣 曲良体 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第2期301-315,共15页
透明介质材料具有高透光性、高耐热性和良好的耐腐蚀性,被广泛应用于航空航天、微电子器件和光学元件等领域,这些应用对透明介质材料微纳加工的精度与质量提出了一定的要求。超快激光具有超高的峰值强度与超短的脉冲持续时间,可突破衍... 透明介质材料具有高透光性、高耐热性和良好的耐腐蚀性,被广泛应用于航空航天、微电子器件和光学元件等领域,这些应用对透明介质材料微纳加工的精度与质量提出了一定的要求。超快激光具有超高的峰值强度与超短的脉冲持续时间,可突破衍射极限并极小化热影响区,具有出色的加工精度与加工质量,为透明介质材料的微纳尺度加工提供了多样化的手段。综述了透明介质材料的超快激光微纳加工研究进展,包括超快激光加工透明介质材料的内部结构、相关机理和应用领域三个方面,并对透明介质材料的超快激光微纳加工进行了总结与展望。 展开更多
关键词 激光技术 超快激光 透明介质材料 微纳加工 折射率变化 纳米光栅 纳米孔洞
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硅基集成光电子器件的新进展 被引量：12
2
作者 周治平 郜定山 +2 位作者 汪毅 陈金林 冯俊波 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2007年第2期31-38,共8页
综述了硅基微纳激光器、调制器、探测器及光传输控制器件的最新研究进展。重点阐述了表面等离子体、量子阱、光子晶体及纳米光栅等新型结构在提高器件综合性能和降低器件尺寸方面的重大作用。同时,还展示了用标准互补金属氧化物半导体(C... 综述了硅基微纳激光器、调制器、探测器及光传输控制器件的最新研究进展。重点阐述了表面等离子体、量子阱、光子晶体及纳米光栅等新型结构在提高器件综合性能和降低器件尺寸方面的重大作用。同时,还展示了用标准互补金属氧化物半导体(CMOS)技术,实现硅基光子器件和电子器件在同一基片上微纳集成的巨大前景。 展开更多
关键词 硅基光电子器件 微纳集成 激光器 调制器 探测器 纳米光栅
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低重复频率飞秒激光在石英玻璃内写入的Ⅱ类波导的偏振依赖导光性研究 被引量：12
3
作者 李冬娟 林灵 +1 位作者 吕百达 程光华 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期326-332,共7页
研究了低重复频率飞秒激光在石英玻璃内部诱导的自组织纳米条纹与激光参数和扫描参数的关系,发现激光扫描轨迹横截面纳米光栅的填充因子随扫描参数而变化。在一定的写入窗口,纳米光栅具有偏振依赖导光特性,属于II类波导;实验研究了六边... 研究了低重复频率飞秒激光在石英玻璃内部诱导的自组织纳米条纹与激光参数和扫描参数的关系,发现激光扫描轨迹横截面纳米光栅的填充因子随扫描参数而变化。在一定的写入窗口,纳米光栅具有偏振依赖导光特性,属于II类波导;实验研究了六边形结构II类波导的导光特性,与重复频率为100kHz的飞秒激光光刻波导规律具有相似性;理论上构建了II类波导和六边形结构横截面折射率轮廓的理想模型,利用有限元方法分析了II类波导及六边形结构的模式,并从实验上和理论上说明了II类波导的偏振依赖导光性不是由于纳米光栅的形序双折射,而是由于纳米光栅的偏振依赖散射。 展开更多
关键词 激光光学 飞秒激光 波导 纳米光栅 偏振
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基于柔性纳米压印工艺制备中红外双层金属纳米光栅 被引量：9
4
作者 褚金奎 康维东 +1 位作者 曾祥伟 张然 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期3034-3040,共7页
用纳米压印工艺制备红外金属光栅时,硬模板压印极易造成光栅结构缺陷致使光栅性能下降。本文采用柔性纳米压印工艺作为替代方法制备了适合在3-5μm波段工作,高度为100nm,上下金属层厚为40nm的双层金属纳米光栅,其光栅结构参数为:周期200... 用纳米压印工艺制备红外金属光栅时,硬模板压印极易造成光栅结构缺陷致使光栅性能下降。本文采用柔性纳米压印工艺作为替代方法制备了适合在3-5μm波段工作,高度为100nm,上下金属层厚为40nm的双层金属纳米光栅,其光栅结构参数为:周期200nm,线宽100nm,深宽比1∶1。该方法采用热纳米压印工艺将母模板光栅结构复制到IPS(Intermediate Ploymer Sheet)材料上,制作出压印所需软模板;随后通过紫外纳米压印工艺将IPS软模板压印到STU-7压印胶,得到结构完整均匀的介质光栅;最后在介质光栅上垂直热蒸镀金属铝,完成中红外双层金属纳米光栅的制备。对所制备光栅进行了测试,结果表明,所制备光栅在2.5~5μm波段的TM偏振透射率超过70%,在2.7~5μm波段的消光比超过30dB,在2.72~3.93μm波段的消光比超过35dB,显示了优异的消光比特性和偏振特性。该研究结果在红外偏振探测、红外偏振传感等方面具有潜在应用。 展开更多
关键词 纳米光栅 中红外光栅 金属光栅 柔性纳米压印 IPS(Intermediate PloymerSheet) 热蒸镀
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偏斜椭圆激光驻波场作用下中性原子沉积纳米光栅结构特性分析 被引量：8
5
作者 张文涛 朱保华 +1 位作者 黄静 熊显名 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第10期215-219,共5页
分析了椭圆激光驻波场的偏斜对中性原子运动过程和沉积过程的影响,对不同偏斜角度椭圆激光驻波场作用下中性铬原子沉积纳米光栅结构的特性进行了仿真研究,由仿真结果可以看出,随着偏斜椭圆形激光束偏斜角的增加,对应于不同y平面,激光驻... 分析了椭圆激光驻波场的偏斜对中性原子运动过程和沉积过程的影响,对不同偏斜角度椭圆激光驻波场作用下中性铬原子沉积纳米光栅结构的特性进行了仿真研究,由仿真结果可以看出,随着偏斜椭圆形激光束偏斜角的增加,对应于不同y平面,激光驻波场汇聚中性原子所形成纳米光栅条纹的对比度不断减小、半高宽不断增大.当椭圆长短轴之比为2:1条件下,椭圆激光驻波场的偏斜角为0°时,纳米光栅的条纹半高宽为3.2nm,条纹对比度为36:1,而当偏斜角为15°时,激光驻波场中心位置处的沉积条纹的半高宽为6.5nm,条纹对比度为24:1,而当椭圆激光驻波场偏斜角度达到30°时,沉积条纹的单峰结构将会产生分裂,形成了双峰结构,且随着偏斜角的增加,沉积条纹的分裂越严重,纳米光栅的沉积质量越差.对于其他长短轴比例条件下的激光场亦可根据比例关系获得相应的纳米光栅沉积特性. 展开更多
关键词 原子光刻 偏斜椭圆激光驻波场 纳米光栅
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飞秒激光诱导自组织纳米光栅偏振散射特性研究 被引量：7
6
作者 薛军 杨勇 +1 位作者 李晨 李冬娟 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期294-299,共6页
实验证实飞秒激光在透明材料内部诱导的周期性纳米条纹具有特殊的光学特性。采用时域有限差分方法(FDTD)分别对单元纳米光栅和纳米光栅阵列的散射特性进行研究,分析结果显示纳米光栅的散射对入射激光的偏振方向敏感;散射强度与入射激光... 实验证实飞秒激光在透明材料内部诱导的周期性纳米条纹具有特殊的光学特性。采用时域有限差分方法(FDTD)分别对单元纳米光栅和纳米光栅阵列的散射特性进行研究,分析结果显示纳米光栅的散射对入射激光的偏振方向敏感;散射强度与入射激光波长相关,波长越长、散射越弱。对于纳米光栅阵列,平行于纳米光栅的散射强度比垂直于纳米光栅的散射强度小两万倍。最后从理论上验证了Ⅱ类波导和纳米光栅偏振导光是由纳米光栅的散射引起的而不是双折射效应。 展开更多
关键词 激光技术 飞秒激光 波导 纳米光栅 偏振散射
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基于LSTM的矩形纳米光栅AFM图像复原方法 被引量：7
7
作者 陶镛泽 胡佳成 +2 位作者 施玉书 张树 蔡晋辉 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第7期50-57,共8页
原子力显微镜(AFM)利用探针与待测物之间的交互作用力进行成像,通过获取矩形纳米光栅计量标准器具的高分辨率成像得到相关的几何量参数并进行标定,实现从标准计量器具到工作计量器具的量值传递。在AFM扫描过程中,由于针尖的影响作用,使... 原子力显微镜(AFM)利用探针与待测物之间的交互作用力进行成像,通过获取矩形纳米光栅计量标准器具的高分辨率成像得到相关的几何量参数并进行标定,实现从标准计量器具到工作计量器具的量值传递。在AFM扫描过程中,由于针尖的影响作用,使得扫描所获图像是探针和样品共同作用的结果,而不是样品形貌的真实描述。针对这一现象,本文提出了一种基于长短期记忆网络(LSTM)的AFM图像复原方法,该方法对通过膨胀法获得的仿真图像各扫描行进行训练,进而获得适用于矩形纳米光栅AFM图像复原模型。实验结果表明,针对线宽20 nm,高40 nm的矩形纳米光栅,经过该方法复原后光栅线宽的相对误差为7.40%,相较于传统的复原方法进一步提高了测量准确度。 展开更多
关键词 计量学 原子力显微镜 长短期记忆网络 纳米光栅 图像复原
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单光束飞秒激光诱导石英玻璃内部纳米光栅的研究进展 被引量：7
8
作者 戴晔 邱建荣 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2013年第12期7-26,共20页
自从10年前通过电镜观察到单光束飞秒激光辐照石英玻璃内部能诱导出自组织纳米光栅结构后,这个方向迅速成为飞秒激光微加工领域的一个研究热点。对纳米光栅结构的研究现状进行了综述,并对其物理化学特性、应用领域以及形成过程中的影响... 自从10年前通过电镜观察到单光束飞秒激光辐照石英玻璃内部能诱导出自组织纳米光栅结构后,这个方向迅速成为飞秒激光微加工领域的一个研究热点。对纳米光栅结构的研究现状进行了综述,并对其物理化学特性、应用领域以及形成过程中的影响因素等分别进行了介绍,最后对当前研究中存在的机遇与挑战做了展望。 展开更多
关键词 超快光学 飞秒激光 微加工 纳米光栅 各向异性
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利用一维光栅标样校准扫描电子显微镜方法的研究 被引量：6
9
作者 钱进 石春英 +4 位作者 谭慧萍 刘忠有 陈方毓 陈晓霞 黄晓蓉 《计量学报》 CSCD 北大核心 2010年第4期299-302,共4页
提出了扫描电子显微镜量值溯源的测量方法，对3种类型的10台电镜进行了比对实验。实验数据溯源于国家长度基准。比对实验选取显微镜的放大倍数分别为2000×、5000×、10000×、20000×和50000×所对应的标尺作为测... 提出了扫描电子显微镜量值溯源的测量方法，对3种类型的10台电镜进行了比对实验。实验数据溯源于国家长度基准。比对实验选取显微镜的放大倍数分别为2000×、5000×、10000×、20000×和50000×所对应的标尺作为测量对象。实验结果表明，有8台扫描电镜的标尺的准确度在5％的范围内与标准值符合，其余2台在6．5％的范围内与标准值符合。 展开更多
关键词 计量学 扫描电子显微镜 纳米光栅 线距标准装置 一维光栅 长度基准
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铬原子束沉积纳米光栅结构的3维仿真 被引量：6
10
作者 张宝武 马艳 +1 位作者 赵敏 张文涛 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期364-367,383,共5页
为了研究铬原子经过波长为425.55nm 1维高斯激光驻波会聚作用后的沉积情况,采用原子与激光相互作用的原子轨道方法和波动方法两种理论模型进行了3维仿真。结果表明,同一激光功率条件下,两种方法的仿真条纹在激光束方向上都具有相同的周... 为了研究铬原子经过波长为425.55nm 1维高斯激光驻波会聚作用后的沉积情况,采用原子与激光相互作用的原子轨道方法和波动方法两种理论模型进行了3维仿真。结果表明,同一激光功率条件下,两种方法的仿真条纹在激光束方向上都具有相同的周期性,在垂直激光束方向上具有非常相似的延展性,即随着激光功率的增加,原本的一条仿真条纹会逐渐分裂开来,由于原子波动性的影响,波动方法仿真的条纹中还有明显的干涉边峰,这种现象随着激光功率的增加而变得更加明显。这些仿真结果为实验提供了更加丰富的理论指导。 展开更多
关键词 激光技术 激光会聚 原子束 原子波包 纳米光栅
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s偏振激光斜入射诱导类“叶脉”状自组织条纹结构(特邀)
11
作者 耿娇 严吉 石理平 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2024年第3期55-60,共6页
在金属铂和非晶硅构成的复合薄膜上,观察到了在斜入射条件下由s偏振激光诱导产生的、具有氧化周期性结构的、远离中轴线且外侧结构倾斜的周期性结构。首先,稳态照射下产生的条纹结构呈叶脉状,既不平行也不垂直于激光偏振方向;其次,动态... 在金属铂和非晶硅构成的复合薄膜上,观察到了在斜入射条件下由s偏振激光诱导产生的、具有氧化周期性结构的、远离中轴线且外侧结构倾斜的周期性结构。首先,稳态照射下产生的条纹结构呈叶脉状,既不平行也不垂直于激光偏振方向;其次,动态扫描时产生的结构取向单一且与扫描方向有关;最后,结构周期随着入射角的增大而减小。这几个现象均与通常的激光烧蚀周期性结构不同。这些发现为调控激光诱导自组织提供了更多可能性。 展开更多
关键词 激光诱导周期性表面结构 斜入射 纳米光栅 金属-半导体复合薄膜
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基于飞秒激光加工的高阈值高阶贝塞尔光束产生器件 被引量：2
12
作者 张作蛟 方瑶 +4 位作者 王青松 李雄 蒲明博 马晓亮 罗先刚 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第13期268-276,共9页
高阶贝塞尔光束能够携带轨道角动量,且具有无衍射特性,在粒子操控、激光微纳加工及非线性光学等领域具有重要应用价值。目前产生高阶贝塞尔光束的方式无法同时满足集成化和高功率场景的应用需求。基于飞秒激光诱导的双折射纳米光栅结构... 高阶贝塞尔光束能够携带轨道角动量,且具有无衍射特性,在粒子操控、激光微纳加工及非线性光学等领域具有重要应用价值。目前产生高阶贝塞尔光束的方式无法同时满足集成化和高功率场景的应用需求。基于飞秒激光诱导的双折射纳米光栅结构,提出一种高损伤阈值的集成化光场调控器件制备方法。通过调控纳米光栅的光轴方向和相位延迟量,在石英玻璃内部写入光轴取向空间变化的多层纳米光栅结构,制备的器件可以实现不同光场调控功能的叠加和不同工作波长的设计。基于所提方法制备了中心波长为532 nm、拓扑荷值为4的高阶贝塞尔光束产生器件。器件产生的高阶贝塞尔光束携带的轨道角动量与设计值相符,在4 m距离内光斑大小保持基本不变。器件的零几率激光损伤阈值为28.5 J/cm^(2)(6 ns),在高功率激光光束整形等领域具有极大的应用潜力。 展开更多
关键词 激光光场调控 高阶贝塞尔光束 集成化光学元件 飞秒激光 纳米光栅 激光损伤阈值
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空间整形飞秒激光高效制备纳米光栅
13
作者 赵昶栋 刘永刚 +6 位作者 魏文卿 张航 邓琥 刘泉澄 胡建波 尚丽平 李占锋 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2024年第8期1-8,共8页
针对常规物镜聚焦飞秒激光光斑较小,难以单次直写加工成型大面积纳米光栅结构的问题,提出了利用空间狭缝整形的飞秒激光脉冲直写方法。通过开展单晶硅表面纳米光栅结构对加工系统的参数依赖关系研究,获得入射整形飞秒激光能量密度8.00μ... 针对常规物镜聚焦飞秒激光光斑较小,难以单次直写加工成型大面积纳米光栅结构的问题,提出了利用空间狭缝整形的飞秒激光脉冲直写方法。通过开展单晶硅表面纳米光栅结构对加工系统的参数依赖关系研究,获得入射整形飞秒激光能量密度8.00μJ/cm^(2)、扫描速度9 mm/s、狭缝宽度0.40 mm的优化条件。采用SEM、AFM等手段对光栅进行微观表征,结果表明,单次扫描所制备的纳米光栅结构具有极高的宽度(41.20μm),说明提出的方法可以显著提升一次成型大面积纳米光栅结构的制备效率。 展开更多
关键词 飞秒激光直写 空间整形 纳米光栅 纵横比
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飞秒激光直写实现氧化锗玻璃内部光调制 被引量：5
14
作者 张芳腾 聂兆刚 邱建荣 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第12期91-98,共8页
利用脉宽和重复频率可调的超快激光系统,研究了氧化锗玻璃内部自组装纳米光栅的结构特点和关键影响因素。确定了氧化锗玻璃中纳米光栅的形成阈值,发现其与材料的带隙及激光的脉宽有关。在优化加工参数的基础上,利用纳米光栅的双折射特性... 利用脉宽和重复频率可调的超快激光系统,研究了氧化锗玻璃内部自组装纳米光栅的结构特点和关键影响因素。确定了氧化锗玻璃中纳米光栅的形成阈值,发现其与材料的带隙及激光的脉宽有关。在优化加工参数的基础上,利用纳米光栅的双折射特性,在氧化锗玻璃内部实现了光学微元件,并演示了其功能。分析了飞秒激光的重复频率对纳米光栅的形成和结构性能的影响,发现氧化锗玻璃中纳米光栅的双折射强度具有反常的偏振依赖性,并分析了这种现象出现的原因。 展开更多
关键词 激光技术 飞秒激光 纳米光栅 氧化锗玻璃 光调制
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垂直纳米光栅耦合器耦合效率分析与测试 被引量：5
15
作者 崔丹凤 薛晨阳 +3 位作者 仝小刚 晋玉剑 宛克敬 张文栋 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第8期1131-1135,共5页
介绍了基于SOI纳米光栅耦合器的理论研究及测试方法,系统研究了光栅参数对光栅耦合效率的影响,在占空比为1∶1的基础上,对不同光栅槽深作了相应的理论分析,同时,还对不同角度的入射光作了相应的研究,经过仿真在入射角为10°时,对于... 介绍了基于SOI纳米光栅耦合器的理论研究及测试方法,系统研究了光栅参数对光栅耦合效率的影响,在占空比为1∶1的基础上,对不同光栅槽深作了相应的理论分析,同时,还对不同角度的入射光作了相应的研究,经过仿真在入射角为10°时,对于波长为1 550 nm的入射光其耦合效率最高。除此之外,通过在光栅表面添加增透膜使其耦合效率在理论上提高至76%以上,并实验验证了增透膜可以有效的降低输入光场的端面反射及波导表面散射,增强了输出光效率。采用聚焦离子束方法(FIB)在10μm宽的硅波导上加工了纳米光栅结构,利用单模NewFocus可调谐激光器(1 520～1 570 nm)作为激发光源,对单模光纤与硅波导光栅进行垂直耦合,得到1 dB带宽近似为30 nm,耦合效率约为32%。 展开更多
关键词 增透膜 纳米光栅 垂直耦合 单模光纤 绝缘体上硅
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双层纳米光栅微位移检测仿真 被引量：5
16
作者 王宾 李孟委 +2 位作者 吴倩楠 耿浩 王高 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2018年第4期6-9,共4页
针对现有光栅位移传感器分辨率和精度难以提高、体积较大的难题,设计了面内和离面位移检测的双层纳米级光栅结构。用严格耦合波理论分析了单层纳米光栅的衍射特性,通过Gsolver软件对面内和离面的双层纳米光栅结构进行模拟仿真。仿真结... 针对现有光栅位移传感器分辨率和精度难以提高、体积较大的难题,设计了面内和离面位移检测的双层纳米级光栅结构。用严格耦合波理论分析了单层纳米光栅的衍射特性,通过Gsolver软件对面内和离面的双层纳米光栅结构进行模拟仿真。仿真结果表明:这2种双层纳米光栅结构的0级透射光和反射光的衍射效率随第二层纳米光栅结构的位移移动量周期性变化,通过探测纳米光栅的衍射效率来获得面内或者离面的位移移动量。 展开更多
关键词 位移传感器 高精度 纳米光栅 严格耦合波理论 衍射效率 仿真
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飞秒激光永久光存储的发展及挑战 被引量：3
17
作者 王磊 张栩 +7 位作者 王熠 王琳 王晴 臧雪 李瑞凡 胥亦实 李臻赜 陈岐岱 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第10期152-168,共17页
面向大数据存储,总结当前冷数据存储的主要方式及特点,针对长寿命和高容量的需求,介绍飞秒激光永久光存储的概念和基本存储内涵;围绕透明介质材料体内改性的类型,依次介绍三维光存储和五维光存储的历史发展过程;阐述了当前具有双折射特... 面向大数据存储,总结当前冷数据存储的主要方式及特点,针对长寿命和高容量的需求,介绍飞秒激光永久光存储的概念和基本存储内涵;围绕透明介质材料体内改性的类型,依次介绍三维光存储和五维光存储的历史发展过程;阐述了当前具有双折射特性的存储单元形成机制,超百层的高密度存储技术,225 kB/s单通道、潜在MB/s多通道的快速直写机制;并从纳米区域的电场连续性边界条件和光学衍射极限出发,展望飞秒激光永久光存储在存储容量和写入速度方面的挑战。 展开更多
关键词 光电器件加工 飞秒激光 激光材料加工 光与物质相互作用 光存储 纳米光栅
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单光束飞秒激光诱导玻璃内部纳米光栅机理及应用研究进展 被引量：4
18
作者 王珏晨 张芳腾 邱建荣 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期3-22,共20页
单光束飞秒激光诱导的玻璃内部纳米光栅结构自发现以来就受到了广泛的关注,成为飞秒激光与物质相互作用研究领域的一大热点。经过十几年的发展,这一研究方向在基础研究和应用探索方面均取得了很大的进步。主要综述了飞秒激光诱导玻璃内... 单光束飞秒激光诱导的玻璃内部纳米光栅结构自发现以来就受到了广泛的关注,成为飞秒激光与物质相互作用研究领域的一大热点。经过十几年的发展,这一研究方向在基础研究和应用探索方面均取得了很大的进步。主要综述了飞秒激光诱导玻璃内部自组织纳米光栅的研究现状,围绕影响纳米光栅形成的关键参数、形成机理和应用探索等方面,重点介绍了这一研究领域近五年来的进展,并对当前研究中存在的问题进行了总结和对未来发展前景进行了展望。 展开更多
关键词 激光制造 超快光学 飞秒激光 纳米光栅 玻璃 各向异性
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用于光场成像的超构衍射光栅阵列优化
19
作者 郭晨光 王文雯 +5 位作者 郝绍坤 林怡彬 周雄图 张永爱 吴朝兴 郭太良 《光电子技术》 CAS 2023年第1期26-33,共8页
为提高矢量光场显示亮度和视角均匀性,提出了一种应用于圆偏振光场成像的超构光栅结构。利用严格耦合波分析,逐像素对超构光栅结构进行仿真,研究了入射光偏振状态、光栅结构、入射角度对-1级光衍射效率的影响规律。仿真结果表明,圆偏振... 为提高矢量光场显示亮度和视角均匀性,提出了一种应用于圆偏振光场成像的超构光栅结构。利用严格耦合波分析,逐像素对超构光栅结构进行仿真,研究了入射光偏振状态、光栅结构、入射角度对-1级光衍射效率的影响规律。仿真结果表明,圆偏振光显示可以使得光栅衍射效率稳定高效,当光栅周期为500 nm时,与基于TE和TM设计的光栅结构相比,圆偏振光设计的光栅结构衍射效率提高了18.5%和2.6%;光栅高度和占空比对衍射效率具有明显的影响。综合考虑光栅制备难度、衍射效率和视角均匀性,设计了一种高度为0.6μm,占空比为0.4的光栅阵列结构应用于圆偏振光场显示,系统衍射效率可以达到40%以上,具有较优的综合性能,对超构光栅设计制备和裸眼3D显示具有一定指导意义。 展开更多
关键词 纳米光栅 衍射效率 严格耦合波分析 光场显示 裸眼3D显示
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纳米光栅三轴MOEMS陀螺设计与仿真分析
20
作者 罗戴钟 金丽 李孟委 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第4期55-58,共4页
设计了一种基于纳米光栅泰伯效应的三轴微光机电系统(MOEMS)陀螺,详细阐述了纳米光栅三轴MOEMS陀螺的工作原理,建立了陀螺结构模型并分析其灵敏度。仿真结果表明:x,y,z轴陀螺结构灵敏度分别为42.76,43.63,76.79 nm/((°)·s^(-... 设计了一种基于纳米光栅泰伯效应的三轴微光机电系统(MOEMS)陀螺,详细阐述了纳米光栅三轴MOEMS陀螺的工作原理,建立了陀螺结构模型并分析其灵敏度。仿真结果表明:x,y,z轴陀螺结构灵敏度分别为42.76,43.63,76.79 nm/((°)·s^(-1))。对双层光栅的衍射灵敏度仿真分析,得到双层光栅面内与离面模式下的衍射灵敏度分别为297.1,159.7 V/mm。最后,结合结构灵敏度与衍射灵敏度得到x,y,z轴陀螺的灵敏度大小分别为6.83,6.97,22.81 mV/((°)·s^(-1))。 展开更多
关键词 纳米光栅 微陀螺 三轴 单片集成
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