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红外显微光学系统的小像差互补设计方法 被引量:2
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作者 刘智颖 吕知洋 高柳絮 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2021年第2期26-32,共7页
针对显微系统具有高分辨率与高成像质量的要求,其系统一般片数多装调困难,导致系统存在实际的装调效果与设计结果之间难以匹配的问题,因此提出了小像差互补的方法对系统进行设计。首先,建立基于小像差互补设计方法的数学模型,然后将其... 针对显微系统具有高分辨率与高成像质量的要求,其系统一般片数多装调困难,导致系统存在实际的装调效果与设计结果之间难以匹配的问题,因此提出了小像差互补的方法对系统进行设计。首先,建立基于小像差互补设计方法的数学模型,然后将其编写为可用于控制ZEMAX软件的宏语言(ZPL),再对光学系统进行优化设计。最后以一红外显微光学系统为例,对比小像差互补设计方法使用前后的优化结果,对小像差互补设计方法进行了验证,发现应用小像差互补设计方法的光学系统,总体成像质量具有突出优势,各元件的公差敏感性明显降低,整体光学系统的稳定性得到了有效提高。 展开更多
关键词 红外显微系统设计 小像差互补设计方法 宏语言 波像差
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