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射频溅射法制备3C-SiC和4H-SiC薄膜
被引量：
8
1
作者
林洪峰
谢二庆
+3 位作者
马紫微
张军
彭爱华
贺德衍
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第8期2780-2785,共6页
利用射频溅射法在Si衬底上制备了SiC薄膜 ,并利用x射线衍射 (XRD)和红外 (IR)吸收谱对薄膜的结构、成分及化学键合状态进行了分析 .XRD结果表明 ,低温制备的SiC薄膜为非晶相 ,而在高温下 (>80 0℃ ) ,薄膜呈现 4H SiC和 3C SiC结晶相...
利用射频溅射法在Si衬底上制备了SiC薄膜 ,并利用x射线衍射 (XRD)和红外 (IR)吸收谱对薄膜的结构、成分及化学键合状态进行了分析 .XRD结果表明 ,低温制备的SiC薄膜为非晶相 ,而在高温下 (>80 0℃ ) ,薄膜呈现 4H SiC和 3C SiC结晶相 .IR谱显示 ,溅射制备薄膜的吸收特性主要为Si—C键的吸收 .此外 ,还利用原子力显微镜对薄膜的表面形貌进行了研究 。
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关键词
射频溅射法
3C-SiC薄膜
4H-SiC薄膜
X射线衍射
分析
红外
吸收
谱分析
薄膜结构
分析
原文传递
质子交换LiNbO_3波导表面裂纹的研究
2
作者
张谦述
刘永智
+1 位作者
杨亚培
戴基智
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期385-389,共5页
为了研究x切铌酸锂波导表面裂纹的产生机理及对波导性能的影响,采用对比实验、波导表面观察、XRD晶相分析、红外吸收谱分析等方法,比较了退火后波导的微观结构、表面情况、波导中H+存在形式和浓度变化特征。结果表明,质子交换铌酸锂波...
为了研究x切铌酸锂波导表面裂纹的产生机理及对波导性能的影响,采用对比实验、波导表面观察、XRD晶相分析、红外吸收谱分析等方法,比较了退火后波导的微观结构、表面情况、波导中H+存在形式和浓度变化特征。结果表明,质子交换铌酸锂波导表面裂纹是波导层应力顺晶体主解理面释放而产生的,具有4个特点:裂纹是交换过程造成的,裂纹间相互平行,裂纹程度与交换时间成正比,退火工艺对裂纹程度有所改善;裂纹是波导层应力大小的宏观体现;退火工艺可以调整波导层中H+的存在形式及其浓度,调整波导层晶相和应力大小,从而改善波导性能。可见纯质子交换波导层中多相并存,各晶相晶格常数差异较大造成应力,导致裂纹产生。提出α相波导的晶格变形小,引起的应力也小,可以减少裂纹产生,有助于提高波导质量。
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关键词
集成光学
光波导
裂纹
晶相
质子交换法
XRD方法
红外
吸收
谱分析
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职称材料
题名
射频溅射法制备3C-SiC和4H-SiC薄膜
被引量：
8
1
作者
林洪峰
谢二庆
马紫微
张军
彭爱华
贺德衍
机构
兰州大学物理科学与技术学院
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第8期2780-2785,共6页
基金
国家自然科学基金 (批准号 :60 1760 0 2 )资助的课题~~
文摘
利用射频溅射法在Si衬底上制备了SiC薄膜 ,并利用x射线衍射 (XRD)和红外 (IR)吸收谱对薄膜的结构、成分及化学键合状态进行了分析 .XRD结果表明 ,低温制备的SiC薄膜为非晶相 ,而在高温下 (>80 0℃ ) ,薄膜呈现 4H SiC和 3C SiC结晶相 .IR谱显示 ,溅射制备薄膜的吸收特性主要为Si—C键的吸收 .此外 ,还利用原子力显微镜对薄膜的表面形貌进行了研究 。
关键词
射频溅射法
3C-SiC薄膜
4H-SiC薄膜
X射线衍射
分析
红外
吸收
谱分析
薄膜结构
分析
Keywords
RF sputtering, SiC films, structure, surface morphology, field emission
分类号
O484 [理学—固体物理]
原文传递
题名
质子交换LiNbO_3波导表面裂纹的研究
2
作者
张谦述
刘永智
杨亚培
戴基智
机构
电子科技大学光电信息学院
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期385-389,共5页
基金
国防预研基金资助项目(02040203023514DZ02)
文摘
为了研究x切铌酸锂波导表面裂纹的产生机理及对波导性能的影响,采用对比实验、波导表面观察、XRD晶相分析、红外吸收谱分析等方法,比较了退火后波导的微观结构、表面情况、波导中H+存在形式和浓度变化特征。结果表明,质子交换铌酸锂波导表面裂纹是波导层应力顺晶体主解理面释放而产生的,具有4个特点:裂纹是交换过程造成的,裂纹间相互平行,裂纹程度与交换时间成正比,退火工艺对裂纹程度有所改善;裂纹是波导层应力大小的宏观体现;退火工艺可以调整波导层中H+的存在形式及其浓度,调整波导层晶相和应力大小,从而改善波导性能。可见纯质子交换波导层中多相并存,各晶相晶格常数差异较大造成应力,导致裂纹产生。提出α相波导的晶格变形小,引起的应力也小,可以减少裂纹产生,有助于提高波导质量。
关键词
集成光学
光波导
裂纹
晶相
质子交换法
XRD方法
红外
吸收
谱分析
Keywords
integrated optics
wavc-guide
crack
crystal phase
proton exchange
X-ray diffraltion methods
infrared absorption spectra analysis
分类号
TN252 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
射频溅射法制备3C-SiC和4H-SiC薄膜
林洪峰
谢二庆
马紫微
张军
彭爱华
贺德衍
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
8
原文传递
2
质子交换LiNbO_3波导表面裂纹的研究
张谦述
刘永智
杨亚培
戴基智
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006
0
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职称材料
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