高性能的类金刚石红外光学薄膜 被引量：8

1

作者 姜杰 《红外技术》 CSCD 1996年第4期15-20,共6页

综述了类金刚石红外光学薄膜在红外光学领域的应用，表明该薄膜不仅是一种高性能的红外光学材料，而且是各种红外镀膜元件的高性能保护膜。文中还提出了在类金刚石薄膜进一步开发、研究及应用中仍需解决的一些工艺及技术问题，描述了制... 综述了类金刚石红外光学薄膜在红外光学领域的应用，表明该薄膜不仅是一种高性能的红外光学材料，而且是各种红外镀膜元件的高性能保护膜。文中还提出了在类金刚石薄膜进一步开发、研究及应用中仍需解决的一些工艺及技术问题，描述了制备大尺寸均匀性类金刚石薄膜的可行性方案。 展开更多

关键词 类金刚石薄膜 红外光学薄膜 红外光学材料

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红外用光学薄膜 被引量：12

2

作者 洪冬梅 陈生 +2 位作者 曹海云 朱震 王春 《光学仪器》 2004年第2期204-206,共3页

介绍了华北光电研究所研制的红外用光学薄膜,内容涉及8μm～11.5μm增透膜及红外滤光片。

关键词 红外光学薄膜 增透膜 滤光片 离子辅助沉积 华北光电研究所

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电子束蒸发硅薄膜的设计

3

作者 邱美叶 孔惠颖 +11 位作者 郑照轩 孙康迅 施钧策 张弛 周金辉 李轩 罗薇 徐东昕 乔忠良 李林 曲轶 李再金 《材料化学前沿》 CAS 2024年第1期22-28,共7页

硅在常温下性质稳定、红外透明区宽,所形成的硅薄膜质硬、红外区折射率高是一种较理想的红外光学薄膜材料。在红外相机、热成像仪、红外光谱仪、红外波片等方面得到广泛应用。本文分析了光学薄膜设计理论,研究了衬底材料和镀膜材料特性... 硅在常温下性质稳定、红外透明区宽,所形成的硅薄膜质硬、红外区折射率高是一种较理想的红外光学薄膜材料。在红外相机、热成像仪、红外光谱仪、红外波片等方面得到广泛应用。本文分析了光学薄膜设计理论,研究了衬底材料和镀膜材料特性,通过TFCalc薄膜设计软件设计和优化石英玻璃和蓝宝石不同的衬底材料下薄膜厚度为900 nm的硅薄膜特性,设计结果表明在近红外波段薄膜消光系数1 × 10−3在700~1000 nm的厚度下模拟硅薄膜的光学性能不同。 展开更多

关键词 红外光学薄膜 电子束蒸发 硅薄膜

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锗窗口红外宽光谱增透膜的研制 被引量：6

4

作者 于天燕 成效春 +2 位作者 秦杨 刘定权 张凤山 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期1197-1200,共4页

红外宽光谱增透膜作为红外光学系统中的关键元件,其研究是一项比较复杂而备受重视的工作。针对风云二号辐射计锗窗口的宽光谱增透膜的要求,通过对镀膜材料在既定工艺条件下的光学参数的准确拟合,采用非对称等效层理论,并将材料光学参数... 红外宽光谱增透膜作为红外光学系统中的关键元件,其研究是一项比较复杂而备受重视的工作。针对风云二号辐射计锗窗口的宽光谱增透膜的要求,通过对镀膜材料在既定工艺条件下的光学参数的准确拟合,采用非对称等效层理论,并将材料光学参数拟合值代入到膜系的优化过程中,从而得到能够与实际情况接近的理论设计膜系。经过工艺优化后,研制出的宽光谱增透膜在要求的3.5～4.0μm,6.3～7.6μm,10.3～11.3μm三个通道的平均透射率均大于96%,而11.5～12.5μm通道的平均透射率大于94%。膜层能够经受住浸泡、高温高湿等一系列环模试验的检验,完全满足项目的使用要求。 展开更多

关键词 薄膜 红外光学薄膜 宽光谱增透膜 非对称等效层 光学参数

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10.6μm红外膜系制备工艺研究 被引量：2

5

作者 丁铁柱 刘强 《内蒙古大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2002年第6期648-651,共4页

采用真空镀膜法,在半导体晶片GaAs衬底上制备红外增透和增反光学薄膜,研究了Si滤光片对镀膜工艺的影响以及10.6μm增透膜系和10.6μm增反膜系的透射特性.结果表明,Si滤光片可以有效地消除单色仪二级以上光谱对镀膜工艺的影响,是一种理... 采用真空镀膜法,在半导体晶片GaAs衬底上制备红外增透和增反光学薄膜,研究了Si滤光片对镀膜工艺的影响以及10.6μm增透膜系和10.6μm增反膜系的透射特性.结果表明,Si滤光片可以有效地消除单色仪二级以上光谱对镀膜工艺的影响,是一种理想的红外监控光的滤光片.监控光波长的修正值△λ约为原波长的2.5%～3%时,是制备该红外光学薄膜的较佳的条件. 展开更多

关键词 10.6μm红外膜系 制备工艺 镀膜工艺 Si滤光片 红外光学薄膜 红外增透膜 红外增反膜

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红外光学薄膜技术 被引量：3

6

作者 王毕艺 李建峰 +1 位作者 刘鑫 张晓光 《光电技术应用》 2011年第1期40-43,共4页

介绍了红外光学薄膜在红外光学系统中的作用。详细阐述了红外光学材料的选择、相应薄膜材料的选取以及红外增透保护膜的几种设计方法,并重点介绍了类金刚石(DLC)、碳化锗(GexC1-x)、磷化物(GaP)、金刚石(Diamond)等几种薄膜材料光学性... 介绍了红外光学薄膜在红外光学系统中的作用。详细阐述了红外光学材料的选择、相应薄膜材料的选取以及红外增透保护膜的几种设计方法,并重点介绍了类金刚石(DLC)、碳化锗(GexC1-x)、磷化物(GaP)、金刚石(Diamond)等几种薄膜材料光学性能及其应用,最后对红外增透保护膜未来的发展进行了展望。 展开更多

关键词 红外光学薄膜 膜系设计 类金刚石 碳化锗

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利用Pb_(1-x)Ge_xTe材料的折射率异常性质改善红外光学薄膜的低温性能 被引量：2

7

作者 李斌 张素英 +1 位作者 谢平 张凤山 《光学仪器》 2004年第2期168-173,共6页

红外薄膜干涉滤光片性能在低温下的变化是空间遥感系统中的一个关键性问题。经研究表明IV-VI族半导体PbTe和GeTe的赝二元合金Pb1-xGexTe在铁电相变点具有折射率异常—相应于铁电相变,Pb1-xGexTe薄膜呈现出最大折射率值。用Pb0.94Ge0.06T... 红外薄膜干涉滤光片性能在低温下的变化是空间遥感系统中的一个关键性问题。经研究表明IV-VI族半导体PbTe和GeTe的赝二元合金Pb1-xGexTe在铁电相变点具有折射率异常—相应于铁电相变,Pb1-xGexTe薄膜呈现出最大折射率值。用Pb0.94Ge0.06Te材料代替PbTe材料,制作了一个红外薄膜干涉滤光片。测试结果表明:其中心波长漂移从0.48nm/K改进到0.23nm/K,在所测量的80K～300K的温度范围,用Pb0.94Ge0.06Te材料制作的滤光片的峰透过率高于用PbTe材料制作的滤光片约3%,从而极大地改善了光学薄膜器件在深低温环境下的稳定性和可靠性。 展开更多

关键词 薄膜干涉滤光片 温度稳定性 铁电相变 折射率温度系数 空间遥感系统 红外光学薄膜

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激光量热法测量红外光学薄膜吸收 被引量：2

8

作者 刘志国 熊胜明 张云洞 《光学仪器》 2004年第2期194-197,共4页

建立了一种评价波长为1.319μm光学薄膜的吸收损耗的吸收测量系统。采用激光量热计方法的原因在于:它已被广泛用来测量光学薄膜吸收,并且有很高的可靠性。描述了激光量热计法测量吸收装置的设计和建立,并给出基底—薄膜整体吸收的测量... 建立了一种评价波长为1.319μm光学薄膜的吸收损耗的吸收测量系统。采用激光量热计方法的原因在于:它已被广泛用来测量光学薄膜吸收,并且有很高的可靠性。描述了激光量热计法测量吸收装置的设计和建立,并给出基底—薄膜整体吸收的测量结果和记录的温度曲线,最后提出了在研究激光量热计测量方法中几个要考虑的问题。 展开更多

关键词 红外光学薄膜 吸收比 激光量热法 测量 激光量热计

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锗薄膜在低温下的折射率研究（英文） 被引量：1

9

作者 徐嶺茂 周晖 +4 位作者 张凯锋 郑军 李坤 王济洲 王多书 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第1期11-14,共4页

利用电子束蒸发方法在双面抛光的ZnSe基底上镀制单层Ge薄膜.在80 K^300 K温度范围内,采用PerkinElmer Frontier傅里叶变换红外光谱仪低温测试系统每20 K测量Ge单层在2~15μm波长范围的透射率.采用全光谱反演拟合方法得到Ge单层在不同温... 利用电子束蒸发方法在双面抛光的ZnSe基底上镀制单层Ge薄膜.在80 K^300 K温度范围内,采用PerkinElmer Frontier傅里叶变换红外光谱仪低温测试系统每20 K测量Ge单层在2~15μm波长范围的透射率.采用全光谱反演拟合方法得到Ge单层在不同温度下的折射率.结果显示,Ge单层折射率均随波长增大而减小,且变化趋势基本相同.利用Cauchy色散公式对折射率波长色散关系进行拟合,得到Ge薄膜材料折射率温度/波长色散表达式为:n(λ,T)=3.29669+0.00015T+5.96834×10^(-6)T^2+0.416 98/λ~2+0.173 84/λ~4.最后,验证了Ge单层膜折射率温度/波长色散公式的准确性. 展开更多

关键词 Ge膜 红外光学薄膜 折射率温度系数

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应用等离子体离子辅助技术沉积的锗基底红外减反射膜

10

作者 苏星 马筱梅 谢永强 《光学仪器》 1999年第4期47-50,共4页

红外光学系统大多数均采用锗作为透镜和窗口的材料，由于其折射率高达４．０，引起的反射损失较大，降低了红外光能量的透过率和红外成像系统的能力。为了减少锗表面的反射损失，我们研制了高性能的红外减反射膜，使锗透镜的红外透射率... 红外光学系统大多数均采用锗作为透镜和窗口的材料，由于其折射率高达４．０，引起的反射损失较大，降低了红外光能量的透过率和红外成像系统的能力。为了减少锗表面的反射损失，我们研制了高性能的红外减反射膜，使锗透镜的红外透射率高达９８％ 以上。通过等离子体离子辅助沉积技术的应用，获得了耐久性能优异的红外减反射膜，满足了杜瓦瓶封接钎焊工艺对窗口膜层的苛求，也满足了红外热像仪系统对膜层的要求。 展开更多

关键词 减反射膜 离子辅助沉积 红外光学薄膜

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照明节能红外光学薄膜 被引量：1

11

作者 张祖培 俞善庆 《红外技术》 CSCD 1993年第2期33-36,共4页

红外反射光学薄膜主要包括金属-介质复合膜和全介质多层膜,在白炽灯、卤素灯等照明光源上使用红外反射薄膜可达到节能和改变光源光谱能量分布的目的。

关键词 红外光学薄膜 照明光源 红外反射薄膜 节能

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红外光学薄膜材料ZnS靶材的研制

12

作者 卢其云 肖方明 刘希诚 《广东有色金属学报》 2001年第2期107-110,共4页

在 p H2～ 3、温度 80～ 85℃的 Zn2 + 溶液中通入 H2 S气体 ,制取高纯 Zn S粉 .将 Zn S粉压制成形 ,通过高温烧结和快速冷却 ,可制成符合真空蒸发镀膜要求的 Zn S靶材 .Zn S靶的化学纯度及密度是影响镀膜质量的重要因素 ,烧结 Zn S靶... 在 p H2～ 3、温度 80～ 85℃的 Zn2 + 溶液中通入 H2 S气体 ,制取高纯 Zn S粉 .将 Zn S粉压制成形 ,通过高温烧结和快速冷却 ,可制成符合真空蒸发镀膜要求的 Zn S靶材 .Zn S靶的化学纯度及密度是影响镀膜质量的重要因素 ,烧结 Zn S靶的表观密度为 3.6 5～ 3.85g/ cm3 .本试验制备的 Zn 展开更多

关键词 镀膜 硫化锌 靶材 红外光学薄膜 研制

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典型红外光学薄膜材料折射率温度特性研究 被引量：3

13

作者 李佑路 王多书 +1 位作者 李凯朋 李坤 《真空与低温》 2015年第3期146-150,共5页

红外光学薄膜材料在红外光学系统中的应用非常广泛,其折射率是光学薄膜设计的重要参量,鉴于空间应用的特殊需求,红外光学薄膜通常工作在低温条件下,红外光学薄膜材料的折射率会随温度改变而发生变化,对于红外光学薄膜的研制有很大影响... 红外光学薄膜材料在红外光学系统中的应用非常广泛,其折射率是光学薄膜设计的重要参量,鉴于空间应用的特殊需求,红外光学薄膜通常工作在低温条件下,红外光学薄膜材料的折射率会随温度改变而发生变化,对于红外光学薄膜的研制有很大影响。论文研究了红外光学薄膜材料折射率的温度特性,总结了红外光学薄膜材料折射率色散模型,并对红外光学薄膜材料折射率温度特性研究发展趋势进行了展望。 展开更多

关键词 红外光学薄膜材料 折射率 温度特性

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红外光学薄膜监控系统初始化参数自检算法设计

14

作者 胡民锋 朱福荣 张凤山 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期133-135,共3页

本文对红外光学薄膜监控系统研究中的初始化参数 ,包括输入膜系、监控方式、监控波长、材料系数、比较片选项、控制速率和进程膜系以对话框的形式给出 ,用户在输入参数时程序对用户的输入进行自动监视 ,确保用户能正确地输入各个参数 ,... 本文对红外光学薄膜监控系统研究中的初始化参数 ,包括输入膜系、监控方式、监控波长、材料系数、比较片选项、控制速率和进程膜系以对话框的形式给出 ,用户在输入参数时程序对用户的输入进行自动监视 ,确保用户能正确地输入各个参数 ,使光学薄膜的自动监控提供安全机制 ,本文还给出了上述自动监视的相应算法 . 展开更多

关键词 初始化参数 算法设计 红外光学薄膜监控系统 自动监控

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