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脉冲激光沉积硫化锗-硫化稼-硫化镉非晶薄膜的结构和性能(英文) 被引量:1
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作者 顾少轩 马志军 +3 位作者 潘瑞琨 陶海征 赵修建 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期1725-1729,共5页
用脉冲激光沉积(pulsed laser deposition,PLD)法在玻璃基片上沉积了组分为80GeS2-15Ga2S3-5CdS的硫系非晶薄膜,利用X射线衍射、分光光度计、扫描电镜、场发射扫描电镜、Raman光谱等研究了薄膜的性能和结构。对薄膜进行紫外脉冲激光极化... 用脉冲激光沉积(pulsed laser deposition,PLD)法在玻璃基片上沉积了组分为80GeS2-15Ga2S3-5CdS的硫系非晶薄膜,利用X射线衍射、分光光度计、扫描电镜、场发射扫描电镜、Raman光谱等研究了薄膜的性能和结构。对薄膜进行紫外脉冲激光极化,采用Maker条纹法测试薄膜的二阶非线性光学效应(second harmonic generation,SHG)。结果表明:获得的硫系GeS2-Ga2S3-CdS非晶薄膜表面光滑平整、厚度约为800 nm、透过率高达78%,与靶材相比,薄膜中的缺陷较多。在紫外脉冲激光极化的薄膜中观察到了明显的SHG,强度约为参考石英单晶的两倍。 展开更多
关键词 硫化锗–硫化稼–硫化镉非晶薄膜 二阶非线性光学效应 脉冲激光沉积法 紫外脉冲激光极化
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