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题名紫外曝光机均匀照明系统的设计与研究
被引量：14
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作者
刘鹏飞
杨波
陆侃
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机构
上海理工大学光电信息与计算机工程学院
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出处
《光学仪器》
2012年第2期31-36,共6页
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文摘
紫外曝光机是印刷线路板(PCB)制作工艺中的重要设备,PCB高密度、微细化的发展趋势,对曝光机光照均匀性,平行性的要求越来越高。为了找出可以更好满足市场需求的曝光机光学系统,运用非成像光学方法,对两种不同光学结构曝光机的光斑均匀性进行了对比分析。通过实验可以看出,在通光孔径较大的光学系统中,复眼透镜阵列和方棒对改善系统光照均匀性以及能量利用率的作用,在实验基础上对如何选择光学系统的匀光器件做了对比性阐述。
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关键词
印刷线路板(PCB)
紫外曝光机
复眼
方棒
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Keywords
printed circuit board（PCB）
UV exposure machine
fly eye lens
light pipe
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分类号
O434.2
[机械工程—光学工程]
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题名复眼式UV-LED面光源的曝光机平行光系统
被引量：2
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作者
闵秀红
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机构
深南电路有限公司
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出处
《印制电路信息》
2014年第4期33-37,共5页
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文摘
印制电路板生产设备紫外线曝光机的光源系统,其能耗大、使用维护成本高、含汞等缺陷,在倡导节能环保的当今,业界一直致力于改进。UV-LED面光源作为新一代绿色环保紫外线光源,为印制电路板曝光领域带来革命性的变化。文章通过分析传统平行光紫外曝光机光学系统特点,设计了一种平行光紫外线曝光机适用的UV-LED面光源系统,UV-LED灯珠光功率利用率大幅提高,光照均匀性优良,并且不改变曝光机结构的情况下,可直接安装使用。实验表明,采用了复眼式阵列光学透镜结构设计的UV-LED面光源系统,完全可替代传统平行光紫外曝光机光源。
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关键词
紫外发光二极管
紫外曝光机
复眼透镜
平行光
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Keywords
UV-LED
UV Exposure Machine
Fly-Eye Lens
Collimated Light
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分类号
TN41
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名双玻璃晒架曝光机的总体设计与实现
被引量：1
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作者
徐小辉
李磊民
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机构
西南科技大学信息工程学院
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出处
《微计算机信息》
北大核心
2006年第07S期70-72,183,共4页
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基金
国防基础研究项目基金
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文摘
紫外线曝光机是PCB图形转移中的重要设备。传统的迈拉晒架虽然简便,但存在着需要赶气、效率低、不能实现精确对位的缺点。而双玻璃晒架与传统的迈拉晒架相比不仅具有不需要赶气、效率高的优点,还可以实现手动或自动高精度对位。在结合中国市场的实际需求后,拟定了双玻璃晒架实施方案,研究了玻璃的固定方式、腔体真空、底片吸附等问题。在大量的实验基础上有效的解决了真空和重复精度两个关键技术问题。双玻璃晒架的成功研制还为实现手动、半自动以及全自动对位的紫外线曝光机系统奠定了基础。
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关键词
紫外线曝光机
印制电路板
双玻璃晒架
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Keywords
UV Exposure machine, Printed circuit board, Glass-Glass-frame
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分类号
TP202
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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