无人机航测航飞设计对测图精度和效率的探究

1

作者 廖永福 《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》 2024年第8期0029-0032,共4页

无人机航测航飞设计对测图精度和效率具有显著影响,是确保高质量、高效率测绘成果的关键环节。精准的航飞设计能够减少因飞行参数设置不当、定位误差、影像质量问题等因素导致的测图误差,增强测绘成果的空间位置准确性、地表特征表达清... 无人机航测航飞设计对测图精度和效率具有显著影响,是确保高质量、高效率测绘成果的关键环节。精准的航飞设计能够减少因飞行参数设置不当、定位误差、影像质量问题等因素导致的测图误差,增强测绘成果的空间位置准确性、地表特征表达清晰度以及属性信息的可靠性,为后续的决策分析、规划设计、灾害评估等应用提供坚实的数据基础。以下是对无人机航测航飞设计如何影响测图精度和效率的具体探究。 展开更多

关键词 无人机 航测航飞设计 测图 精度和效率

下载PDF 职称材料

建筑测绘工程领域中的竣工测绘新技术研究

2

作者 刘斌 《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》 2023年第8期183-186,共4页

本文深入研究了建筑竣工测绘工程领域的新技术。首先概述了当前使用的竣工测绘技术,并分析了这些技术存在的问题和对新技术的需求。然后,本文详细介绍了三种新的竣工测绘技术:高精度三维激光扫描测绘技术,无人机测绘技术,以及数字孪生技... 本文深入研究了建筑竣工测绘工程领域的新技术。首先概述了当前使用的竣工测绘技术,并分析了这些技术存在的问题和对新技术的需求。然后,本文详细介绍了三种新的竣工测绘技术:高精度三维激光扫描测绘技术,无人机测绘技术,以及数字孪生技术,并探讨了它们在竣工测绘中的应用。最后,本文分析了这些新技术对竣工测绘工程领域的精度、效率、成本、风险和未来发展的影响。通过研究,发现这些新技术对提升竣工测绘的精度和效率、降低成本和风险都有显著的效益。 展开更多

关键词 建筑竣工测绘 高精度三维激光扫描 无人机测绘技术 数字孪生技术 精度和效率 成本和风险

下载PDF 职称材料

有限元边坡稳定性分析计算精度和效率问题

3

作者 温晓凯 王新宇 +1 位作者 周斌 曾荔 《工业建筑》 北大核心 2023年第S01期533-538,共6页

有限元边坡稳定性分析中,计算精度和效率一直是两个重点研究的问题,塑性应力积分算法及失稳判据的选取作为该问题最主要的影响因素,其研究意义重大。通过自编MATLAB弹塑性有限元程序,与已有研究进行对比,验证程序的准确性并对比各失稳... 有限元边坡稳定性分析中,计算精度和效率一直是两个重点研究的问题,塑性应力积分算法及失稳判据的选取作为该问题最主要的影响因素,其研究意义重大。通过自编MATLAB弹塑性有限元程序,与已有研究进行对比,验证程序的准确性并对比各失稳判据的精度从而确定强适用性的失稳判据;通过在计算程序中更改塑性应力积分算法,分析三种计算方法的精度和效率。研究表明,自编程序准确,选用等效塑性区贯通后特征点位移突增作为失稳判据具有更高的精度;“m法”塑性应力积分算法在坡体仅受重力时可保证精度的同时具有更高的效率;应力回拉计算在塑性应力积分算法中不可忽略。 展开更多

关键词 弹塑性有限元 强度折减 失稳判据 边坡稳定性 精度和效率

原文传递

网格划分对狗骨式刚性连接非线性有限元分析精度和效率的影响 被引量：1

4

作者 何建璋 李军 伍霞 《兰州大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期157-160,共4页

以保证狗骨式刚性连接非线性分析精度、提高分析的效率为根本目的。利用ANSYS软件进行非线性有限元分析并与试验结果进行比较.在总结网格划分技术的基础上,结合(?)狗骨式延性节点试验建立不同尺寸网格划分、局部网格加密时的有限元模型... 以保证狗骨式刚性连接非线性分析精度、提高分析的效率为根本目的。利用ANSYS软件进行非线性有限元分析并与试验结果进行比较.在总结网格划分技术的基础上,结合(?)狗骨式延性节点试验建立不同尺寸网格划分、局部网格加密时的有限元模型进行计算分析,并与试验结果相比较,分析网格划分对狗骨式刚性连接中的ANSYS非线性有限元分析的精度和效率的影响. 展开更多

关键词 狗骨式刚性连接 ANSYS 网格划分 精度和效率

下载PDF 职称材料

基于Transmission3D的轮齿啮合刚度求解方法 被引量：1

5

作者 李伟霞 张涛 《机械传动》 北大核心 2021年第8期105-109,138,共6页

提出了一种基于Transmission3D(T3D)的轮齿啮合刚度求解方法,该方法通过建立半有限元/半接触力学模型,保证齿轮副啮合分析的求解精度和效率。利用该方法求解了典型齿轮副的时变啮合刚度和平均啮合刚度,求解结果与ISO 6336—1996标准误... 提出了一种基于Transmission3D(T3D)的轮齿啮合刚度求解方法,该方法通过建立半有限元/半接触力学模型,保证齿轮副啮合分析的求解精度和效率。利用该方法求解了典型齿轮副的时变啮合刚度和平均啮合刚度,求解结果与ISO 6336—1996标准误差对比仅为2.6%,证明了求解方法的合理性。针对现有标准的不足,基于T3D研究了轴孔半径对啮合刚度的影响规律;结合一般有限元法进行了影响机理分析,在此基础上给出了航空齿轮系统动力学建模和模态分析时的啮合刚度处理方法。 展开更多

关键词 航空齿轮系统 轮齿啮合刚度 T3D 精度和效率 轴孔半径

下载PDF 职称材料

模态分析在机床设计中的应用 被引量：1

6

作者 刘永芳 李敏 《新型工业化》 2019年第12期68-74,共7页

数控机床作为先进制造技术的母机,其加工精度和加工效率成为衡量高端与否的主要参数。本文以提高数控机床的加工精度和效率为目的,利用相关技术手段对主要部件进行三维建模,然后进行模态分析、谐响应分析、灵敏度分析等,通过一系列优化... 数控机床作为先进制造技术的母机,其加工精度和加工效率成为衡量高端与否的主要参数。本文以提高数控机床的加工精度和效率为目的,利用相关技术手段对主要部件进行三维建模,然后进行模态分析、谐响应分析、灵敏度分析等,通过一系列优化手段,达到了提高了机床的加工精度和效率的目的。 展开更多

关键词 数控机床 模态分析 谐响应分析 灵敏度分析 精度和效率

下载PDF 职称材料

寻求一条适合自己的SP3D发展之路 被引量：1

7

作者 马丹宁 《智库时代》 2019年第44期74-74,90,共2页

本文通过介绍SP3D在设计院引进各种软件最终寻求到准确定位的历程,详细阐述了针对我院管道平台工作特点,SP3D最终的功能定位和使用情况,向大家分享平台推广使用的经验和心得。

关键词 设计SP3D 二维设计 精度和效率

下载PDF 职称材料

基于点云切片的建筑物门窗信息提取 被引量：15

8

作者 赵梦娜 花向红 +1 位作者 冯绍权 赵不钒 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第6期175-184,共10页

针对建筑物特征信息提取的效率和精度问题,提出了一种基于点云切片和最小包围矩形的建筑物特征信息提取算法。该算法先对点云进行去噪和切片处理,然后利用每个切片中相邻点之间的水平角和竖直角差值自动快速提取建筑物整体和门窗的轮廓... 针对建筑物特征信息提取的效率和精度问题,提出了一种基于点云切片和最小包围矩形的建筑物特征信息提取算法。该算法先对点云进行去噪和切片处理,然后利用每个切片中相邻点之间的水平角和竖直角差值自动快速提取建筑物整体和门窗的轮廓点,之后对轮廓点进行滤波、分类和排序,最后采用最小包围矩形提取规则建筑的整体尺寸和门窗尺寸信息。通过三组实验,将提取出的建筑物整体和门窗尺寸与实际尺寸进行比较,结果表明:所提算法对建筑物门窗和整体尺寸的提取准确度在3 cm以内,总体精度可达97.4%以上,对160万左右建筑物点云数据的提取总时间在8 s以内,证明了所提算法的有效性。 展开更多

关键词 测量 点云切片 最小包围矩形 轮廓点提取 尺寸信息提取 精度和效率分析

原文传递

航空发动机叶片加工过程检测方法研究 被引量：8

9

作者 李婷婷 高晓斐 刘晓晨 《航空精密制造技术》 2020年第4期37-41,共5页

本文通过分析航空发动机叶片不同加工过程的特性公差要求,根据不同测量设备系统精度、功能特点,总结出一种比较合理的叶片工艺检测方案,能够基本解决叶片测量精度要求与测量效率之间的矛盾,同时指出涡轮叶片气膜孔、空心叶片内腔尺寸的... 本文通过分析航空发动机叶片不同加工过程的特性公差要求,根据不同测量设备系统精度、功能特点,总结出一种比较合理的叶片工艺检测方案,能够基本解决叶片测量精度要求与测量效率之间的矛盾,同时指出涡轮叶片气膜孔、空心叶片内腔尺寸的高效检测技术有待发展。 展开更多

关键词 压气机叶片 涡轮叶片 检测方案 检测设备 测量精度和效率

原文传递

国家数值风洞风雷软件结构/非结构混合网格同构计算特性

10

作者 杜一鸣 麻彤 +1 位作者 邱福生 陈祖昌 《气动研究与试验》 2024年第5期22-39,共18页

传统计算流体力学(CFD)结构与非结构网格在网格生成难度、近壁区网格质量、远场网格密度等方面均具有互补性,若能够将两者结合构造“结构/非结构混合网格”,便可充分发挥不同网格类型的优势。基于国家数值风洞风雷软件的任意网格“同构... 传统计算流体力学(CFD)结构与非结构网格在网格生成难度、近壁区网格质量、远场网格密度等方面均具有互补性,若能够将两者结合构造“结构/非结构混合网格”,便可充分发挥不同网格类型的优势。基于国家数值风洞风雷软件的任意网格“同构混合计算”框架,采用RAE2822翼型和ONERA M6机翼标模算例,以日常生成习惯并保证网格规模相近的情况下,构造了结构、非结构以及结构/非结构混合网格,对比分析了不同类型网格的求解特性。初步研究结果表明,对于跨声速激波弱分离流动问题,采用风雷软件求解结构/非结构混合网格能够得到与实验数据吻合较好的计算结果,同时收敛性和计算效率较纯结构和非结构网格也更好。但结构-非结构计算域交界面处存在变量的不连续,近壁区结构网格的层数会对计算结果产生明显影响,只有保证足够的结构网格覆盖范围以及较好的过渡性才能保证近壁区求解精度。此外,根据计算经验提出了结构/非结构混合网格的生成策略和调用风雷软件进行计算的应用指南,能够为风雷软件工程应用提供参考。 展开更多

关键词 国家数值风洞风雷软件 结构/非结构混合网格 气动标模验证 计算精度和效率 收敛性 工程应用指南

原文传递

高速切削技术在细长轴车削加工中的应用研究

11

作者 张视野 《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》 2024年第7期0027-0030,共4页

近年来,我国制造业蓬勃发展,细长轴零件的车削加工技术备受关注。由于其特殊形状和刚度,加工过程中常出现振动、变形等问题,严重影响加工精度与效率。为应对这一挑战,本文深入研究了基于高速切削技术的细长轴零件车削加工。文章首先探... 近年来,我国制造业蓬勃发展,细长轴零件的车削加工技术备受关注。由于其特殊形状和刚度,加工过程中常出现振动、变形等问题,严重影响加工精度与效率。为应对这一挑战,本文深入研究了基于高速切削技术的细长轴零件车削加工。文章首先探讨了高速切削理论在细长轴零件加工中的优越性和必要性。随后,以高速直线切削刀具和高速旋转切削刀具为研究对象,通过系列实验,详细分析了高速切削加工参数对细长轴零件车削加工精度和效率的影响。本研究为提升细长轴零件车削加工技术水平提供了有益参考。结果表明,高速切削在降低细长轴零件的加工振动、增强加工稳定性,提高加工精度和效率等方面具有明显优势。最后,对高速车削工艺的实施步骤进行了详细的描述,并以实例验证了该工艺的优越性及适用性。通过本文的研究,发现高速切削技术的应用,可以显著改善细长轴车削加工的精度和效率,对于提升我国制造业竞争力,以及推动精密制造技术的进步有着十分重要的意义。希望该研究可以为相关领域提供有益的参考。 展开更多

关键词 高速切削技术 细长轴零件 车削加工 刀具 加工精度和效率

下载PDF 职称材料

基于新一代GNSS-R星座海面测高原理提高水下惯性/重力组合导航精度研究进展 被引量：5

12

作者 郑伟 李钊伟 吴凡 《科学技术与工程》 北大核心 2019年第36期21-36,共16页

紧跟国际卫星测高反演和水下组合导航的最新热点,以满足中国迫切提出的科学和国防需求为导向,介绍了基于GNSS-R卫星海面测高原理提高水下惯性/重力组合导航精度研究进展。第一,介绍了GNSS-R测高精度研究进展、GNSS-R测高沿轨迹空间分辨... 紧跟国际卫星测高反演和水下组合导航的最新热点,以满足中国迫切提出的科学和国防需求为导向,介绍了基于GNSS-R卫星海面测高原理提高水下惯性/重力组合导航精度研究进展。第一,介绍了GNSS-R测高精度研究进展、GNSS-R测高沿轨迹空间分辨率研究进展、GNSS-R反射点轨迹间空间分辨率研究进展、基于卫星测高反演海洋重力场研究进展、水下重力匹配导航研究进展等。第二,在GNSS-R海面测高方面,提出了新型大地水准面静态高程镜面反射点修正定位法、海洋潮汐时变高程镜面反射点修正定位法、法向投影镜面反射点修正定位法、GNSS-R星载下视天线接收信噪比模型构建法、GNSS-R星载下视天线可用镜面反射点筛选算法等,旨在提高卫星测高精度和空间分辨率;在水下重力匹配导航方面,提出了新型主成分加权平均归一化法、测地线周期性航向控制法、分层邻域阈值搜索法、先验递推迭代最小二乘误匹配修正法等,旨在提高水下重力匹配导航精度、匹配效率及可靠性。第三,预期提出新型二阶不动点时延提取法,旨在提高GNSS-R卫星海面测高精度;预期提出新型反射信号分解法,旨在提高GNSS-R卫星海面测高沿轨迹空间分辨率;预期提出新型海面粗糙度误差校正法,旨在提高GNSS-R卫星海面测高轨迹间空间分辨率;预期提出新型正则化稳健算法,旨在提高海洋重力场反演精度和空间分辨率;预期融合星载GNSS-R模拟测高数据、岸/空基GNSS-R验证测高数据等多源信息,联合几何配准收敛速度快和直接概率准则定位精度高的优点,构建新型几何配准-直接概率准则混合法,旨在提高水下惯性/重力组合导航精度和速度。 展开更多

关键词 GNSS-R卫星测高精度 GNSS-R沿轨迹分辨率 GNSS-R轨迹间分辨率 海洋重力场反演精度和分辨率 水下重力匹配导航精度和效率

下载PDF 职称材料

动态存储方法在气相爆轰波数值模拟中的应用 被引量：4

13

作者 董刚 范宝春 +1 位作者 朱旻明 陈义良 《爆炸与冲击》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期75-79,共5页

为减少反应流计算花费的时间,采用动态存储建立热力学数据表(Insitu adaptive tabulation,ISAT)的方法来取代反应流计算中化学反应的直接积分(Direct integral,DI),并针对气相H2/O2爆轰波的传播过程进行了数值模拟。采用两种不同的ISAT... 为减少反应流计算花费的时间,采用动态存储建立热力学数据表(Insitu adaptive tabulation,ISAT)的方法来取代反应流计算中化学反应的直接积分(Direct integral,DI),并针对气相H2/O2爆轰波的传播过程进行了数值模拟。采用两种不同的ISAT误差放大判据对一维爆轰波的压力、温度及组分变化进行了计算,并和DI的结果进行了比较以考察其计算精度。此外,还探讨了ISAT方法的效率。计算结果表明,和DI方法相比,在爆轰波传播计算中ISAT方法计算误差小于3%,化学反应计算速度提高了8倍。 展开更多

关键词 爆炸力学 化学反应精度和效率 动态存储建表 爆轰波 直接积分 数值模拟

下载PDF 职称材料

用多次建表的ISAT方法计算激波诱导火焰失稳 被引量：1

14

作者 董刚 李先锋 +2 位作者 范宝春 蒋勇 陈义良 《燃烧科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期515-520,共6页

对减少燃烧反应化学计算时间的动态自适应建表(ISAT)方法进行了改进,采用多次建表的方法计算了激波诱导火焰失稳的二维瞬态过程.计算结果表明,ISAT方法与直接积分计算结果以及实验结果吻合较好,能够满足计算精度的要求.多次建表方法在... 对减少燃烧反应化学计算时间的动态自适应建表(ISAT)方法进行了改进,采用多次建表的方法计算了激波诱导火焰失稳的二维瞬态过程.计算结果表明,ISAT方法与直接积分计算结果以及实验结果吻合较好,能够满足计算精度的要求.多次建表方法在没有降低ISAT方法效率的前提下,可有效限制数据表容量,总CPU计算时间可减少2.53倍,其中化学反应的CPU计算时间则减少3.75倍.对瞬态燃烧问题而言,多次建表ISAT方法提供了减少燃烧化学反应计算时间的有效思路. 展开更多

关键词 动态自适应建表 化学反应 火焰失稳 计算精度和效率

下载PDF 职称材料

液闪探测的时间分辨率研究 被引量：1

15

作者 贺宏锟 史浩山 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第6期1030-1033,共4页

液闪探测系统设计中引入信号处理设计方法,经分析液闪探测信号,得出提高时间分辨率有利于提高探测效率的观点和实现方案,并获得了验证。据此,采用高速数字信号处理技术和器件,多道探测和复合探测效率也会相应提高。

关键词 液体闪烁探测 检测精度和效率 时间分辨率

下载PDF 职称材料

基于改进粒子群算法的阵列侧向测井快速反演

16

作者 彭杰 倪小威 +1 位作者 徐思慧 汤鹏 《能源与环保》 2021年第5期157-164,共8页

电阻率是评价储层含烃饱和度的重要物理参数,电阻率参数的精确度对测井储层参数评价及油气资源勘探开发方案有重要影响。在电法测井中,由于视电阻率影响复杂,如围岩—层厚、井斜、泥浆侵入、井眼、仪器分辨率等因素都会使测量的电阻率... 电阻率是评价储层含烃饱和度的重要物理参数,电阻率参数的精确度对测井储层参数评价及油气资源勘探开发方案有重要影响。在电法测井中,由于视电阻率影响复杂,如围岩—层厚、井斜、泥浆侵入、井眼、仪器分辨率等因素都会使测量的电阻率值产生较大的误差,测量资料准确度不够高,因而对测量的视电阻率数值进行校正很有必要。通过对电阻率资料反演的方法来进行视电阻率的校正,合适的反演算法一般都是要满足反演效率和精度的诉求。由于反演过程中伴随着大量的正演计算,所以实时反演对反演算法收敛速度及正演计算效率要求较高。提出了一种高速有效的实时反演算法--自适应混沌粒子群反演算法,与基本粒子群算法、马奎特算法相比,该算法在寻优成功率、收敛速度、抗噪性等方面具备一定优势。在反演的过程中,将严格的正演计算用预先制作的阵列侧向测井伪几何因子表格进行替代,采用线性插值法直接调用,在保证计算精度的前提下进一步提高了反演速度。构建三参数反演模型,将反演结果与基于渗流—对流扩散二场耦合的动态泥浆侵入模拟结果进行对比,证明了快速反演算法的适用性及准确性,可用于井场阵列侧向测井资料的实时反演处理。 展开更多

关键词 电阻率参数 视电阻率影响因素 反演精度和效率 阵列侧向测井 粒子群算法 三参数快速反演

下载PDF 职称材料

免棱镜全站仪在高海拔山区测图的优越性

17

作者 吕红涛 王小萍 方广杰 《城市勘测》 2013年第6期156-158,共3页

航空摄影测量是长距离油气管道工程线路地形图测量的常用方式,RTK测图和全站仪测图用于管道单体工程测量。RTK测量凭着灵活、方便、快捷等诸多优势,在平原、丘陵、沙漠等地区发挥着重要作用,而免棱镜全站仪测图则在密林、悬崖、沟壑等... 航空摄影测量是长距离油气管道工程线路地形图测量的常用方式,RTK测图和全站仪测图用于管道单体工程测量。RTK测量凭着灵活、方便、快捷等诸多优势,在平原、丘陵、沙漠等地区发挥着重要作用,而免棱镜全站仪测图则在密林、悬崖、沟壑等区域受到重视。结合工程实践,通过RTK与免棱镜全站仪测量成果精度与测图效率的比对,分析总结免棱镜全站仪在高海拔山区进行大比例尺测图的优越性。 展开更多

关键词 高海拔山区 免棱镜全站仪测图 RTK测图 精度和效率比较

下载PDF 职称材料

气相爆轰模拟的化学反应加速算法

18

作者 董刚 范宝春 《计算物理》 EI CSCD 北大核心 2009年第1期27-34,共8页

针对反应流中刚性化学反应源项传统算法计算量大的特点,提出加速化学反应计算速度的动态数据表存储/删除算法,在二维气相爆轰的数值模拟中进行检验,研究节点删除和整体删除两种不同方式的效果,并与传统直接积分的算法进行比较.计算结果... 针对反应流中刚性化学反应源项传统算法计算量大的特点,提出加速化学反应计算速度的动态数据表存储/删除算法,在二维气相爆轰的数值模拟中进行检验,研究节点删除和整体删除两种不同方式的效果,并与传统直接积分的算法进行比较.计算结果表明,该算法既可以很好地满足计算精度的要求,同时也对计算机内存没有苛刻的要求.当数据表数据容量一定时,计算的加速比随控制容差的增加而增加,在相同的容差条件下,节点删除算法比整体删除算法加速效果明显.并且在处理瞬态反应流问题时显示了很好的优越性. 展开更多

关键词 化学反应精度和效率 动态存储/删除 爆轰波 数值模拟

下载PDF 职称材料

基于网格剖分法的磁通切换永磁电机等效磁网络建模与分析 被引量：3

19

作者 曹东辉 赵文祥 +1 位作者 吉敬华 潘小云 《中国科学：技术科学》 EI CSCD 北大核心 2021年第8期970-980,共11页

为了高效准确地分析磁通切换永磁电机性能,本文提出一种基于网格剖分的等效磁网络建模方法.该方法的核心在于建立十字形网格以及结合网格法与磁路法.其中,十字形网格建立在无序磁场区域,无需预先判断磁场即可自适应表示磁通分布,同时考... 为了高效准确地分析磁通切换永磁电机性能,本文提出一种基于网格剖分的等效磁网络建模方法.该方法的核心在于建立十字形网格以及结合网格法与磁路法.其中,十字形网格建立在无序磁场区域,无需预先判断磁场即可自适应表示磁通分布,同时考虑漏磁与局部饱和.进一步在规律磁路区域,结合使用集总参数磁路模型,减小模型计算复杂度,兼顾建模精度和建模效率.另外,对原始转子和转子含磁障两种结构磁通切换永磁电机,基于网格固定性优势进行建模,避免了结构重新剖分并分析比较了电磁性能,精确评估了转子磁障结构对于降低永磁体涡流损耗的作用.最后,有限元与实验结果验证了本文所提出的等效磁网络的有效性与准确性. 展开更多

关键词 磁通切换永磁电机 等效磁网络 网格剖分 局部饱和考虑 兼顾建模精度和建模效率 转子磁障结构 涡流损耗

原文传递

硅各向异性腐蚀的仿真模型研究

20

作者 严一峰 方玉明 《电子科技》 2018年第2期56-60,共5页

为了在硅衬底上加工出多样的微结构,满足微机电系统的发展,硅各向异性腐蚀的仿真模型被大量研究。从衬底模型、腐蚀规则的制定、腐蚀速率、时间步长的角度出发,介绍了这些要素对几何模型和原子模型所包含多种仿真方法的模拟精度和模拟... 为了在硅衬底上加工出多样的微结构,满足微机电系统的发展,硅各向异性腐蚀的仿真模型被大量研究。从衬底模型、腐蚀规则的制定、腐蚀速率、时间步长的角度出发,介绍了这些要素对几何模型和原子模型所包含多种仿真方法的模拟精度和模拟效率的影响,归纳了各种仿真方法的适用场合和特点,并为提出更优化的方案提供了方向。其中连续CA方法和MC方法揭示了腐蚀的本质,模拟精度高,三维处理能力强,被广泛应用。而原子模型算法简单,运算速度快,在对结构简单的MEMS仿真中也得到应用。所有仿真方法都可在权衡精度和效率的利弊后做出改进。 展开更多

关键词 硅 各向异性腐蚀 仿真方法 模拟精度和模拟效率

下载PDF 职称材料