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柔性铰链的应用 被引量:57
1
作者 吴鹰飞 周兆英 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第18期1615-1618,共4页
柔性铰链以其特殊的性能在精密机械、精密测量、微米技术和纳米技术等领域得到广泛应用。通过对柔性铰链在支撑结构、联接结构、调整机构和测量仪器中的应用 ,以及柔性铰链与压电致动结合实现超精密位移和定位的典型例子 。
关键词 柔性铰链 精密机械 精密测量 微米技术 纳米技术 压电致动器
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机器视觉在精密测量中的应用 被引量:42
2
作者 廖强 周忆 +1 位作者 米林 徐宗俊 《重庆大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期1-4,共4页
机器视觉技术正广泛地应用于各个方面 ,从工业检测到文件处理 ,从医学图象到遥感图象 ,从毫微米技术到多媒体数据库 ,不胜枚举。可以说 ,需要人类视觉的场合几乎都需要机器视觉。文章围绕自行研制的二维显微摄象精密检测系统 ,描述了机... 机器视觉技术正广泛地应用于各个方面 ,从工业检测到文件处理 ,从医学图象到遥感图象 ,从毫微米技术到多媒体数据库 ,不胜枚举。可以说 ,需要人类视觉的场合几乎都需要机器视觉。文章围绕自行研制的二维显微摄象精密检测系统 ,描述了机器视觉的基本原理、基本组成以及制造业中精密测量的现状和发展趋势 ;展示了机器视觉技术在机械制造微尺寸精密测量中的成功应用 。 展开更多
关键词 精密测量 机器视觉 微小尺寸
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精密测头技术的演变与发展趋势 被引量:41
3
作者 石照耀 韦志会 《工具技术》 北大核心 2007年第2期3-8,共6页
本文从历史发展角度考察了精密测头技术的发展,分析了触发式测头、扫描式测头和非接触式光学测头的特点和应用范围,给出了最新测头案例,并对市场上存在的几种测头进行了性能比较,最后论述了精密测头技术的发展趋势。高精度、高效率、高... 本文从历史发展角度考察了精密测头技术的发展,分析了触发式测头、扫描式测头和非接触式光学测头的特点和应用范围,给出了最新测头案例,并对市场上存在的几种测头进行了性能比较,最后论述了精密测头技术的发展趋势。高精度、高效率、高集成化、多功能、数字化以及发展非接触测头是今后精密测头的发展方向。 展开更多
关键词 测头 精密测量 精密量仪 三坐标测量
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大空间坐标尺寸测量研究的现状与发展 被引量:43
4
作者 叶声华 邾继贵 +2 位作者 张滋黎 周虎 郭磊 《计量学报》 EI CSCD 北大核心 2008年第B09期1-6,共6页
大空间范围内的坐标尺寸测量是大型装备制造及精密工程安装的基础支撑技术之一,也是精密测量技术的热点和难点问题。随着当前重大基础装备工业的快速发展,大空间坐标尺寸测量的重要性和迫切性日渐突出,现有的测量方法和技术已经不能... 大空间范围内的坐标尺寸测量是大型装备制造及精密工程安装的基础支撑技术之一,也是精密测量技术的热点和难点问题。随着当前重大基础装备工业的快速发展,大空间坐标尺寸测量的重要性和迫切性日渐突出,现有的测量方法和技术已经不能满足应用要求,必须发展新的测量方法和仪器设备,以此为背景,结合正在发展的大尺寸组合式测量方法,阐述了大空间坐标尺寸测量的应用现状、组合式测量方法、全局空间测量与控制等几方面问题,试图反映该技术领域的技术现状、关键问题和发展趋势,为相关研究和工程应用提供部分参考依据。 展开更多
关键词 计量学 大尺寸 坐标尺寸 精密测量
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多通道精密时间间隔测量系统的研制 被引量:42
5
作者 辜新宇 郭际 +1 位作者 施韶华 李孝辉 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2013年第1期69-75,共7页
为了更方便地在科学研究和工程实践中对多个物理事件之间的时间间隔进行测量,扩大测量量程,提出了一种多通道、大量程的精密时间间隔测量系统的研制方法。系统的设计采用集成的数字时间转换芯片TDC-GPX,运用管道式预处理和逻辑门延迟线... 为了更方便地在科学研究和工程实践中对多个物理事件之间的时间间隔进行测量,扩大测量量程,提出了一种多通道、大量程的精密时间间隔测量系统的研制方法。系统的设计采用集成的数字时间转换芯片TDC-GPX,运用管道式预处理和逻辑门延迟线方法,能实现8个通道的同时测量,测量精度可达50 ps,测量范围为5.5 ns^4 294 s,在TDC-GPX芯片的内部再触发模式下,通过编程进一步扩展还可以实现无限制测量量程的测量。 展开更多
关键词 多通道 大量程 时间间隔 精密测量
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精密技术中热变形误差影响的基本问题 被引量:30
6
作者 费业泰 罗哉 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2003年第1期79-84,共6页
在精密测量和精密机械等精密工程技术领域,影响精度的众多因素中,温度变化引起的热变形误差已成为主要的甚至决定因素.由于精度不断提高,传统热变形误差的某些概念与方法已失去实用价值,该文分析了热变形误差的研究与应用现状,研究了适... 在精密测量和精密机械等精密工程技术领域,影响精度的众多因素中,温度变化引起的热变形误差已成为主要的甚至决定因素.由于精度不断提高,传统热变形误差的某些概念与方法已失去实用价值,该文分析了热变形误差的研究与应用现状,研究了适应高精度技术的热变形误差新概念、新方法,提出了几种实用性不同的热膨胀系数概念以及精确热膨胀系数和科学热膨胀系数定义.在全面分析热变形误差的多种因素基础上,研究了物体形状结构对其参数热变形影响的新认识并举例说明,同时提出相应的热变形系数,最后简介了考虑形状影响的热变形误差建模方法. 展开更多
关键词 精密测量 精密机械 热变形误差 热变形系数 因素分析 热变形误差模型 形体参数
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现代精密测量技术现状及发展 被引量:37
7
作者 周亮 王振环 +1 位作者 孙东辰 穆乃锋 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第8期1869-1878,共10页
精密测量是先进制造发展的前提和基础,作为智能制造的眼睛,极大地提高了生产效率、降低了生产成本,直接推动了人类社会发展。在制造信息化大背景下,作为先进制造的先导技术,精密测量方法与仪器技术必须超前或在先进制造基础上提出新的... 精密测量是先进制造发展的前提和基础,作为智能制造的眼睛,极大地提高了生产效率、降低了生产成本,直接推动了人类社会发展。在制造信息化大背景下,作为先进制造的先导技术,精密测量方法与仪器技术必须超前或在先进制造基础上提出新的发展趋势,为先进制造精密化、集成化、智能化发展提供信息支撑。概述了工业生产与科学研究中的现代精密测量技术发展现状和研究内容,着重叙述了应用于精密检测的最新技术、精密测量如何从实验室走向生产现场、精密测量技术的未来及发展方向。 展开更多
关键词 精密测量 智能制造 生产现场 发展方向
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双目立体视觉测量方法研究 被引量:21
8
作者 管业鹏 童林夙 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期581-584,588,共5页
提出了一种简易快速的特征点提取算子 ,并与经典算法 [1~ 4 ] 作了实验对比 ,证实了所提算法简单、有效、可靠 ,对外界光照条件具有较强的适应性 ,且抗干扰能力强。在进行特征点匹配时 ,在现有约束条件的基础上 ,提出了基于被测物体形... 提出了一种简易快速的特征点提取算子 ,并与经典算法 [1~ 4 ] 作了实验对比 ,证实了所提算法简单、有效、可靠 ,对外界光照条件具有较强的适应性 ,且抗干扰能力强。在进行特征点匹配时 ,在现有约束条件的基础上 ,提出了基于被测物体形态与摄像机相对位置的视差范围约束 ,根据视差方向性并采用动态搜索方法来缩小匹配点的搜索范围 ,从而提高了搜索速度 ,降低了错误匹配概率。通过对具有已知三维坐标标准件的计算机仿真实验 。 展开更多
关键词 立体视觉 灰度 特征点 匹配 精密测量
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激光干涉精密测量与应用 被引量:34
9
作者 谈宜东 徐欣 张书练 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第15期222-243,共22页
"没有测量就没有科学",对物理量越来越精确的测量已成为现代科学和技术领域孜孜追求的目标。激光干涉精密测量具有可溯源,纳米甚至皮米高分辨率,以及数米、几千米甚至上千千米的超长测量范围等突出优点,被广泛用于IC装备、数... "没有测量就没有科学",对物理量越来越精确的测量已成为现代科学和技术领域孜孜追求的目标。激光干涉精密测量具有可溯源,纳米甚至皮米高分辨率,以及数米、几千米甚至上千千米的超长测量范围等突出优点,被广泛用于IC装备、数控机床、超精密微纳制造、引力波探测等先进技术和前沿科学领域。清华大学激光精密测量与应用课题组长期围绕激光干涉和激光回馈干涉开展研究,先后在大频差、高功率保持的新原理双频激光器、用于无靶镜纳米测量的回馈干涉原理研究方面取得了突破,研制出新型双频激光干涉仪和激光回馈干涉仪,并在多个领域开展了应用研究。本文详细总结了课题组最近十年的研究成果,在此基础上展望了激光干涉精密测量与应用研究领域的发展前景。 展开更多
关键词 激光光学 精密测量 激光干涉 激光回馈 计量应用
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双频激光干涉测量中的环境补偿技术 被引量:33
10
作者 池峰 朱煜 +1 位作者 张志平 高为宫 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期182-188,共7页
作为一种超精密的非接触式测量设备,双频激光干涉测量系统可以在保证纳米级测量精度的情况下实现大范围和高速度测量,因而获得非常广泛的用途。环境是影响激光干涉测量系统测量精度的最大因素,为了获得纳米测量精度,必须对测量环境进行... 作为一种超精密的非接触式测量设备,双频激光干涉测量系统可以在保证纳米级测量精度的情况下实现大范围和高速度测量,因而获得非常广泛的用途。环境是影响激光干涉测量系统测量精度的最大因素,为了获得纳米测量精度,必须对测量环境进行补偿。因此,重点研究了环境补偿技术,并研制了一种新型波长跟踪器,与Edlen经验公式进行对比测试,结果表明新型波长跟踪器具有良好的补偿效果。采用自制波长跟踪器补偿之后,被测运动台伺服精度可达1.61nm。 展开更多
关键词 物理光学 精密测量 双频激光干涉仪 Edlen经验公式 波长跟踪器 环境补偿 纳米测量
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微结构自由曲面的超精密单点金刚石切削技术概述 被引量:31
11
作者 李荣彬 孔令豹 +3 位作者 张志辉 杜雪 陈新 刘强 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第19期144-155,共12页
回顾了超精密加工技术的发展,主要包括超精密加工设备的开发历程,以及超精密单点金刚石切削技术基础,并对微工程技术作一简要介绍;重点论述微结构自由曲面的微纳切削技术,包括单点金刚石车削(Single point diamond turning,SPDT),快刀... 回顾了超精密加工技术的发展,主要包括超精密加工设备的开发历程,以及超精密单点金刚石切削技术基础,并对微工程技术作一简要介绍;重点论述微结构自由曲面的微纳切削技术,包括单点金刚石车削(Single point diamond turning,SPDT),快刀伺服加工(Fast tool servo,FTS),金刚石微凿切(Diamond micro chiseling,DMC),光栅铣削等技术。指出微结构自由曲面测量领域面临的挑战和存在的问题,包括接触式测量和非接触式测量。通过几个典型微结构自由曲面的加工及测量的应用进行举例说明;最后介绍我国在超精密加工机床领域内的研制情况,展望了超精密切削技术未来发展趋势。 展开更多
关键词 微结构自由曲面 精密加工 精密测量 切削机理 机床设备
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基于近景数字摄影的坐标精密测量关键技术研究 被引量:23
12
作者 邾继贵 叶声华 《计量学报》 CSCD 北大核心 2005年第3期207-211,共5页
研究了基于数字近景摄影原理的三维坐标精密视觉测量方法,可用于工业现场大尺寸范围内的坐标测量。对其核心技术,即数字成像器件高精度模型及标定、成像器件空间精密定向、高精度亚像素图像处理算法以及光学编码与精密测头技术,进行了... 研究了基于数字近景摄影原理的三维坐标精密视觉测量方法,可用于工业现场大尺寸范围内的坐标测量。对其核心技术,即数字成像器件高精度模型及标定、成像器件空间精密定向、高精度亚像素图像处理算法以及光学编码与精密测头技术,进行了深入的讨论,给出了原理和实现思路,为工业现场数字近景摄影三维坐标精密测量系统的设计提供了理论依据。 展开更多
关键词 计量学 近景数字摄影 标定 精密测量
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轮廓度误差的精密测量和评定 被引量:21
13
作者 王旭蕴 张玉坤 《计量学报》 CSCD 1995年第1期12-17,共6页
对具有复杂、不规则轮廓的零件进行精密测量和误差评定,是当前几何量计量领域中的一个重要课题。本文针对在坐标测量机上进行轮廓测量提出了对曲线和曲面轮廓的数学描述方法、对曲线和曲面的等距平移以得到实测轮廓、以及引入矢量积运... 对具有复杂、不规则轮廓的零件进行精密测量和误差评定,是当前几何量计量领域中的一个重要课题。本文针对在坐标测量机上进行轮廓测量提出了对曲线和曲面轮廓的数学描述方法、对曲线和曲面的等距平移以得到实测轮廓、以及引入矢量积运算对实际轮廓误差进行法向评定,从而实现了对零件复杂形面的精密测量和误差评定。对国家和国际标准中轮廓度公差标准的贯彻实施可起到推动作用,并最终达到提高产品质量的目的。 展开更多
关键词 轮廓度 精密测量 测量 表面粗糙度
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一种精密测量超声波传输时间的方法 被引量:29
14
作者 张兴红 张慧 +2 位作者 陈锡侯 王先全 冯济琴 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期717-721,共5页
针对超声波传输时间精密测量的要求,提出了一种精密测量超声波传输时间的方法.该方法以高分辨率高精度A/D和高速FPGA作为硬件核心,保证了超声波回波信号采样数据的高分辨率和实时性.精密测量超声波传输时间的软件算法综合了整个超声波... 针对超声波传输时间精密测量的要求,提出了一种精密测量超声波传输时间的方法.该方法以高分辨率高精度A/D和高速FPGA作为硬件核心,保证了超声波回波信号采样数据的高分辨率和实时性.精密测量超声波传输时间的软件算法综合了整个超声波回波信号采样数据,利用细分插补算法精确计算超声波传输时间的终点时刻,保证了超声波传输时间测量的高精度.实验表明,该方法能够在不增加生产成本的前提下,达到ns级,乃至ps级的超声波传输时间精密测量. 展开更多
关键词 超声波传输时间 精密测量 软件细分 回波信号
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基于激光位移传感器的自由曲面精密测量方法 被引量:26
15
作者 董祉序 孙兴伟 +2 位作者 刘伟军 杨理践 王雷 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第12期30-38,共9页
针对数据采集误差严重影响激光位移传感器(LDS)测量精度的问题,基于激光三角法测量原理,分析了激光束和会聚光斑质心对系统测量精度的影响,建立了定量计算LDS物面倾角误差和感光元件倾角误差的数学模型。采用该模型,可对LDS采集数据进... 针对数据采集误差严重影响激光位移传感器(LDS)测量精度的问题,基于激光三角法测量原理,分析了激光束和会聚光斑质心对系统测量精度的影响,建立了定量计算LDS物面倾角误差和感光元件倾角误差的数学模型。采用该模型,可对LDS采集数据进行实时补偿。实验结果表明,引入两个补偿模型对测量结果进行修正后,不仅大幅提高了LDS的数据采集精度,使其测量误差控制在0.008 mm以内,而且提升了LDS在自由曲面中的测量精度。 展开更多
关键词 激光位移传感器 自由曲面 精密测量 在机测量
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高精密温度测量的研究与实现 被引量:14
16
作者 戴义保 陈多磊 《自动化仪表》 CAS 北大核心 2003年第3期24-27,共4页
介绍了一种高精密温度测量的原理和方法。采用铂电阻作为温度传感器 ,在电路设计中主要采取了以下措施 :高精度压控电流源 ,恒流电流为 1mA ;四线制测温电路消除引线电阻影响 ;测温电路自校正 ,抑制环境温度变化和系统误差对测量结果的... 介绍了一种高精密温度测量的原理和方法。采用铂电阻作为温度传感器 ,在电路设计中主要采取了以下措施 :高精度压控电流源 ,恒流电流为 1mA ;四线制测温电路消除引线电阻影响 ;测温电路自校正 ,抑制环境温度变化和系统误差对测量结果的影响。通过理论计算及实际测量 ,温度在 60 0℃以下的测量精度可达到± 0 0 0 1℃。 展开更多
关键词 温度测量 精密测量 铂热电阻 恒流源 自校正 温度传感器
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论我国高速铁路精密工程测量技术体系及特点 被引量:25
17
作者 卢建康 《高速铁路技术》 2010年第1期31-35,共5页
本文对我国高速铁路精密工程测量技术体系的特点进行研究,重点对高速铁路精密工程测量的内容,高速铁路轨道的内部几何尺寸和外部几何尺寸定位精度,高速铁路精密工程测量的布网原则、坐标基准,"三网合一"的测量体系进行了系统... 本文对我国高速铁路精密工程测量技术体系的特点进行研究,重点对高速铁路精密工程测量的内容,高速铁路轨道的内部几何尺寸和外部几何尺寸定位精度,高速铁路精密工程测量的布网原则、坐标基准,"三网合一"的测量体系进行了系统的论述。提出了高速铁路工程测量平面控制网应在框架控制网(CP0)基础上分三级布设、高程控制网分二级布设的方法,平面坐标系统应采用边长投影变形值≤10mm/km的工程独立坐标系以及应按"三网合一"的原则进行高速铁路精密工程测量的观点。 展开更多
关键词 高速铁路 精密测量 技术体系
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小型微/纳米级三坐标测量机的研制 被引量:19
18
作者 范光照 朱志良 钟添东 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2003年第1期17-23,共7页
介绍一套低成本小型三维坐标测量机的研制过程,作为微/纳米级超精密测量设备,整体机台结构采用花岗岩材料;X/Y轴的移动平台利用压电材料摩擦驱动与挠性变形原理,长短两行程可达25 mm范围及5 nm的微位移,藉自行研发的衍射干涉激光尺,位... 介绍一套低成本小型三维坐标测量机的研制过程,作为微/纳米级超精密测量设备,整体机台结构采用花岗岩材料;X/Y轴的移动平台利用压电材料摩擦驱动与挠性变形原理,长短两行程可达25 mm范围及5 nm的微位移,藉自行研发的衍射干涉激光尺,位置回馈测量系统可具有0.025 nm的分辨率;测量探头在一般DVD光读取头的自动聚焦原理基础上改装,最佳分辨率可达2.5 nm.该雏形机适于测量微机电组件、微型器件及膜厚等. 展开更多
关键词 三维坐标测量 精密测量 衍射干涉激光尺 系统结构 测量探头 双轴纳米微动平台
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机器视觉精密测量系统研究 被引量:14
19
作者 黄劼 周肇飞 《光学技术》 CAS CSCD 2004年第4期491-494,共4页
微小孔系的精密测量用传统的手段是难以实现的。以机器视觉为基础,结合计算机图像处理技术可完成这类测量任务。介绍了基于机器视觉的孔系精密测量系统的硬件组成和图像处理算法。以所提出的识别弦端点来确定图像圆心坐标的算法对500根... 微小孔系的精密测量用传统的手段是难以实现的。以机器视觉为基础,结合计算机图像处理技术可完成这类测量任务。介绍了基于机器视觉的孔系精密测量系统的硬件组成和图像处理算法。以所提出的识别弦端点来确定图像圆心坐标的算法对500根弦的中点坐标进行滤波处理,可使识别误差达到亚像素级。圆心坐标在X和Y方向的标准差均小于4μm,孔系间角度测量标准差小于3″。 展开更多
关键词 微小孔系 机器视觉 精密测量 识别精度
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高速铁路无砟轨道精调质量控制技术研究 被引量:25
20
作者 谭社会 《铁道标准设计》 北大核心 2015年第12期18-22,共5页
由于轨道设备状态"记忆"特性和生命周期管理的需要,在施工建设阶段开展轨道精调质量控制、提高轨道几何状态平顺性已成为能否进行联调联试、实现高速行车的关键。针对目前无砟轨道精调作业中的不足提出"绝对+相对"... 由于轨道设备状态"记忆"特性和生命周期管理的需要,在施工建设阶段开展轨道精调质量控制、提高轨道几何状态平顺性已成为能否进行联调联试、实现高速行车的关键。针对目前无砟轨道精调作业中的不足提出"绝对+相对"精密测量模式和"先基准后非基准"精细调整模式,在杭长高速铁路的轨道精调作业中开展实践,效果良好,全线的轨道质量指数(TQI)为2.1 mm,所采取的轨道精调控制技术可为今后无砟轨道精调质量控制提供借鉴。 展开更多
关键词 高速铁路 无砟轨道 精密测量 精细调整 质量控制
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