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提高石英音叉钨丝探针制作成材率
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作者 李英姿 张应旭 +4 位作者 张立文 王振宇 单冠乔 李华 钱建强 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2016年第2期34-37,共4页
针对探针的腐蚀及粘接制约原子力显微镜实验开展的问题,提出一种制作原子力显微镜石英音叉钨丝探针的方法。通过对原有腐蚀装置的改进,提高了钨丝针尖的成材率;钨丝探针粘接装置的开发极大地避免了人为因素的干扰,提高了针尖粘接的效率... 针对探针的腐蚀及粘接制约原子力显微镜实验开展的问题,提出一种制作原子力显微镜石英音叉钨丝探针的方法。通过对原有腐蚀装置的改进,提高了钨丝针尖的成材率;钨丝探针粘接装置的开发极大地避免了人为因素的干扰,提高了针尖粘接的效率。最后通过实验来验证腐蚀方法及粘接装置的可行性。 展开更多
关键词 原子力显微镜 石英音叉钨丝探针 工艺改良 粘接装置
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