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粗精动超精密运动平台系统建模与分析研究
被引量：
6
1
作者
杨一博
尹文生
+1 位作者
朱煜
王春洪
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第23期2773-2776,共4页
建立了气浮支撑粗精动超精密运动平台系统理论模型。在分析了系统中存在的位置耦合与力耦合的特性以及系统模型随平台质量比的变化产生的模型特性变化的基础上,用矩阵分式形式描述了系统的传递函数矩阵并分析了系统的能控性与能观性。...
建立了气浮支撑粗精动超精密运动平台系统理论模型。在分析了系统中存在的位置耦合与力耦合的特性以及系统模型随平台质量比的变化产生的模型特性变化的基础上,用矩阵分式形式描述了系统的传递函数矩阵并分析了系统的能控性与能观性。基于建立的模型设计了LQG多输入多输出运动控制器并进行了运动平台控制仿真,结果表明,通过抑制气浮粗精动平台中产生的耦合作用可提高系统动态性能。
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关键词
粗
精
动
力耦合
建模
LQG控制器
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职称材料
粗精动运动平台的系统辨识激励信号优化设计
被引量：
4
2
作者
杨一博
尹文生
+2 位作者
汪劲松
朱煜
蔡田
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第9期165-170,共6页
针对粗精动运动平台系统辨识中激励信号的生成进行了优化设计方法的研究。粗精动平台结构通常用于长行程、高精度的运动平台系统,如扫描光刻机运动平台、硬盘寻道平台等系统。获得粗精动系统的准确模型是改进粗精动运动系统控制的重要...
针对粗精动运动平台系统辨识中激励信号的生成进行了优化设计方法的研究。粗精动平台结构通常用于长行程、高精度的运动平台系统,如扫描光刻机运动平台、硬盘寻道平台等系统。获得粗精动系统的准确模型是改进粗精动运动系统控制的重要基础。而系统辨识是获得系统模型的一种有效方式。其中输入信号设计是系统辨识试验重要的一部分。将粗精动运动平台的系统模型简化为一类多变量有限阶次线性时不变模型;将多入多出(Multiple-input multiple-output,MIMO)辨识方法引入粗精动系统辨识,并提出一种多入多出模型系统辨识激励信号优化设计算法,算法通过将多正弦曲线时域信号与其功率谱密度参数化,利用参数化后的激励信号在有限功率输入下进行激励信号优化;理论分析与仿真结果表明此方法可以有效提高估计模型的渐进方差性能。
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关键词
粗
精
动
系统辨识
激励信号
优化设计
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职称材料
题名
粗精动超精密运动平台系统建模与分析研究
被引量：
6
1
作者
杨一博
尹文生
朱煜
王春洪
机构
清华大学摩擦学国家重点实验室
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第23期2773-2776,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(50577037)
文摘
建立了气浮支撑粗精动超精密运动平台系统理论模型。在分析了系统中存在的位置耦合与力耦合的特性以及系统模型随平台质量比的变化产生的模型特性变化的基础上,用矩阵分式形式描述了系统的传递函数矩阵并分析了系统的能控性与能观性。基于建立的模型设计了LQG多输入多输出运动控制器并进行了运动平台控制仿真,结果表明,通过抑制气浮粗精动平台中产生的耦合作用可提高系统动态性能。
关键词
粗
精
动
力耦合
建模
LQG控制器
Keywords
coarse- fine
force coupling
modeling
LQG controller
分类号
TP271.5 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
粗精动运动平台的系统辨识激励信号优化设计
被引量：
4
2
作者
杨一博
尹文生
汪劲松
朱煜
蔡田
机构
清华大学精密仪器与机械学系
清华大学摩擦学国家重点实验室
出处
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第9期165-170,共6页
基金
国家重点基础研究发展计划资助项目(973计划
2009CB724205)
文摘
针对粗精动运动平台系统辨识中激励信号的生成进行了优化设计方法的研究。粗精动平台结构通常用于长行程、高精度的运动平台系统,如扫描光刻机运动平台、硬盘寻道平台等系统。获得粗精动系统的准确模型是改进粗精动运动系统控制的重要基础。而系统辨识是获得系统模型的一种有效方式。其中输入信号设计是系统辨识试验重要的一部分。将粗精动运动平台的系统模型简化为一类多变量有限阶次线性时不变模型;将多入多出(Multiple-input multiple-output,MIMO)辨识方法引入粗精动系统辨识,并提出一种多入多出模型系统辨识激励信号优化设计算法,算法通过将多正弦曲线时域信号与其功率谱密度参数化,利用参数化后的激励信号在有限功率输入下进行激励信号优化;理论分析与仿真结果表明此方法可以有效提高估计模型的渐进方差性能。
关键词
粗
精
动
系统辨识
激励信号
优化设计
Keywords
Coarse-fine System identification Excitation signal Optimization design
分类号
TP271.5 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
粗精动超精密运动平台系统建模与分析研究
杨一博
尹文生
朱煜
王春洪
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
6
下载PDF
职称材料
2
粗精动运动平台的系统辨识激励信号优化设计
杨一博
尹文生
汪劲松
朱煜
蔡田
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
4
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职称材料
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