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精密工作台的设计与实验研究 被引量：4
1
作者 巩娟 李庆祥 李玉和 《光学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期636-638,共3页
微器件装配技术是实现组合结构的微机械电子学系统(MEMS)的关键技术之一,精密工作台系统则是微装配系统的一个重要组成部分。精密工作台系统包括粗动工作台和微动工作台:粗动工作台包括精密机械及其传动系统、光栅定位系统、直流力矩电... 微器件装配技术是实现组合结构的微机械电子学系统(MEMS)的关键技术之一,精密工作台系统则是微装配系统的一个重要组成部分。精密工作台系统包括粗动工作台和微动工作台:粗动工作台包括精密机械及其传动系统、光栅定位系统、直流力矩电机驱动系统及计算机控制系统;微动工作台包括微动台、压电陶瓷驱动电源和电感测微移。实验结果表明,粗动台系统的最高速度为5mm/s,最低速度为3.4μm/s,系统的重复定位精度为±1μm;微动台系统的定位精度可达到±1μm。 展开更多
关键词 微装配 粗动工作台 微动工作台 光栅定位
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光学仪器 光学仪器装调
2
《中国光学》 CAS 2005年第6期78-78,共1页
TH706 2005064487 精密工作台的设计与实验研究=Design and experimental study on the precision service platforms[刊,中]/巩娟(清 华大学精密仪器与机械学院．北京(100084)),李庆祥…∥ 光学技术．-2005,31(4)．
关键词 微动工作台 工作台系统 装调 精密工作台 粗动 微机械电子学 精密仪器 关键技术 机械学 微装配
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绝不能失去你
3
作者 李焯雄 汤小康 《音乐天地》 2003年第4期70-70,共1页
《绝不能失去你》旋律轻快、清新,四人合音部分十分动听,看过《流行花园2》的朋友也应该能体会到《绝不能失去你》的歌词就像是恢复记忆后的道明寺向衫菜的真实内心表白吧!
关键词 流星花园 恢复记忆 偶像剧 旦旦 小康 粗动 合音 歌词 三柱 二冲
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漫画
4
《湖南安全与防灾》 2004年第5期64-64,共1页
关键词 漫画 粗动 感悟 健康 南郑
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粗精动超精密运动平台系统建模与分析研究 被引量：6
5
作者 杨一博 尹文生 +1 位作者 朱煜 王春洪 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第23期2773-2776,共4页
建立了气浮支撑粗精动超精密运动平台系统理论模型。在分析了系统中存在的位置耦合与力耦合的特性以及系统模型随平台质量比的变化产生的模型特性变化的基础上,用矩阵分式形式描述了系统的传递函数矩阵并分析了系统的能控性与能观性。... 建立了气浮支撑粗精动超精密运动平台系统理论模型。在分析了系统中存在的位置耦合与力耦合的特性以及系统模型随平台质量比的变化产生的模型特性变化的基础上,用矩阵分式形式描述了系统的传递函数矩阵并分析了系统的能控性与能观性。基于建立的模型设计了LQG多输入多输出运动控制器并进行了运动平台控制仿真,结果表明,通过抑制气浮粗精动平台中产生的耦合作用可提高系统动态性能。 展开更多
关键词 粗精动 力耦合 建模 LQG控制器
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粗精动运动平台的系统辨识激励信号优化设计 被引量：4
6
作者 杨一博 尹文生 +2 位作者 汪劲松 朱煜 蔡田 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期165-170,共6页
针对粗精动运动平台系统辨识中激励信号的生成进行了优化设计方法的研究。粗精动平台结构通常用于长行程、高精度的运动平台系统,如扫描光刻机运动平台、硬盘寻道平台等系统。获得粗精动系统的准确模型是改进粗精动运动系统控制的重要... 针对粗精动运动平台系统辨识中激励信号的生成进行了优化设计方法的研究。粗精动平台结构通常用于长行程、高精度的运动平台系统,如扫描光刻机运动平台、硬盘寻道平台等系统。获得粗精动系统的准确模型是改进粗精动运动系统控制的重要基础。而系统辨识是获得系统模型的一种有效方式。其中输入信号设计是系统辨识试验重要的一部分。将粗精动运动平台的系统模型简化为一类多变量有限阶次线性时不变模型;将多入多出(Multiple-input multiple-output,MIMO)辨识方法引入粗精动系统辨识,并提出一种多入多出模型系统辨识激励信号优化设计算法,算法通过将多正弦曲线时域信号与其功率谱密度参数化,利用参数化后的激励信号在有限功率输入下进行激励信号优化;理论分析与仿真结果表明此方法可以有效提高估计模型的渐进方差性能。 展开更多
关键词 粗精动 系统辨识 激励信号 优化设计
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