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气体传感器研究进展和发展方向 被引量:53
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作者 吴玉锋 田彦文 +1 位作者 韩元山 翟玉春 《计算机测量与控制》 CSCD 2003年第10期731-734,共4页
根据气体传感器使用的气敏材料以及气敏材料与气体相互作用的效应不同对目前研究的主要气体传感器进行了分类。介绍了半导体气体传感器、固体电解质气体传感器、接触燃烧式气体传感器、光学式气体传感器、石英谐振式气体传感器、表面声... 根据气体传感器使用的气敏材料以及气敏材料与气体相互作用的效应不同对目前研究的主要气体传感器进行了分类。介绍了半导体气体传感器、固体电解质气体传感器、接触燃烧式气体传感器、光学式气体传感器、石英谐振式气体传感器、表面声波气体传感器等气体传感器国内外研究与应用概况。重点叙述了不同类型气体传感器气敏材料研究取得的进展情况。在综合该领域国内外研究现状的基础上,提出了气体传感器的发展方向。 展开更多
关键词 气体传感器 气敏材料 粉末溅射技术 金属氧化物半导体气体传感器
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