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题名一种高容MLCC介质层陶瓷晶粒的分析方法
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作者
林显竣
李冬梅
黄木生
吴炜坚
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机构
广东微容电子科技有限公司
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出处
《节能技术》
CAS
2024年第4期359-361,381,共4页
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文摘
片式多层陶瓷电容器(MLCC)介质层中陶瓷晶粒的尺寸、形状以及分布对于改善并提高MLCC的性能具有重要的研究意义。为了分析高容MLCC介质层的陶瓷晶粒的形貌,本文采用氯化铁置换MLCC剖面金属电极层,再放入箱式气氛炉进行热腐蚀,利用扫描电子显微镜对热腐蚀后的样品进行分析。采用化学腐蚀和热腐蚀相结合的方法,结果表明:经过氯化铁腐蚀内电极后,利用箱式氮气气氛炉,升温速率30℃/min,并控制最高温度和保温时间,腐蚀出的陶瓷晶粒边界清晰,周围无金属电极膨胀遮挡。本文的研究方法可应用于MLCC介质层陶瓷晶粒的分析。
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关键词
片式多层陶瓷电容器
陶瓷晶粒
氯化铁
箱式气氛炉
热腐蚀
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Keywords
multi layer ceramic capacitors
ceramic grains
ferric chloride
box atmosphere furnace
thermal corrosion
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分类号
TM28
[一般工业技术—材料科学与工程]
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