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光掩膜版用低羟基高纯石英玻璃的研究 被引量：2
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作者 陈娅丽 吴椿烽 +4 位作者 钱宜刚 汤明明 陈京京 顾铃铃 缪丽华 《玻璃》 2021年第3期6-10,共5页
介绍了采用不同原材料由一步法工艺所制备的石英玻璃的方法及其光学性能与杂质含量,基于羟基含量高、尺寸小等缺点,通过优化工艺,以两步法(沉积、脱羟烧结)制备的石英玻璃更具有优良的性能。检测结果表明,两步法气相沉积工艺制备的石英... 介绍了采用不同原材料由一步法工艺所制备的石英玻璃的方法及其光学性能与杂质含量,基于羟基含量高、尺寸小等缺点,通过优化工艺,以两步法(沉积、脱羟烧结)制备的石英玻璃更具有优良的性能。检测结果表明,两步法气相沉积工艺制备的石英玻璃具有更低的羟基含量≤1×10^(-6),以及良好的透过率85%以上,完全满足高端光电技术领域的应用需求。 展开更多
关键词 气相沉积工艺 CVD法 等离子沉积工艺 羟基 石英玻璃
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高频等离子固相外沉积工艺参数在线测量系统研究 被引量：2
2
作者 秦卫光 邵明强 +1 位作者 孙丽丽 刘晓光 《中国建材科技》 2017年第3期68-69,87,共3页
高频等离子固相外沉积工艺工程中沉积温度和沉积量是最为关键的工艺参数,但受到沉积车间温度、强光照和高频信号干扰等不利条件的限制,常规测量方法无法实现精确测量。本文根据工艺特性采用红外测温和影像测量的手段实现工艺过程的在线... 高频等离子固相外沉积工艺工程中沉积温度和沉积量是最为关键的工艺参数,但受到沉积车间温度、强光照和高频信号干扰等不利条件的限制,常规测量方法无法实现精确测量。本文根据工艺特性采用红外测温和影像测量的手段实现工艺过程的在线精确测量,提升了工艺控制精度和石英材料产品品质。 展开更多
关键词 高频等离子沉积工艺 红外测温 影像测量
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Battenfeld优化产品耐磨性
3
《橡塑技术与装备》 CAS 2004年第1期53-53,共1页
关键词 BATTENFELD 耐磨性 BEXalit涂层 挤出机 双螺杆 等离子粉末沉积工艺
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