期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到231篇文章
< 1 2 … 12 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
等离子体增强CVD氧化硅和氮化硅 被引量：3
1
作者 毛赣如 刘凌 田瑞芬 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 1995年第4期563-566,共4页
利用红外吸收谱等微观分析对氧化硅和氨化硅薄膜的成分和结构进行了研究．采用高频Ｃ－Ｖ测试和准静态离子电流法测量了氧化硅、氯化硅及其复合膜的界面特性，结果表明ＰＥＣＶＤＳｉＯ２－ＳｉＮ双层结构的复合膜对半导体器件表面有良... 利用红外吸收谱等微观分析对氧化硅和氨化硅薄膜的成分和结构进行了研究．采用高频Ｃ－Ｖ测试和准静态离子电流法测量了氧化硅、氯化硅及其复合膜的界面特性，结果表明ＰＥＣＶＤＳｉＯ２－ＳｉＮ双层结构的复合膜对半导体器件表面有良好的钝化效果． 展开更多
关键词 氧化硅 氮化硅 CVD 半导体薄膜 等离子沉积
下载PDF
等离子沉积ZrO_2-Y_2O_3陶瓷涂层与基体结合力的研究 被引量：1
2
作者 孟琳 李凡 于维平 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2002年第11期8-9,共2页
研究了在利用高能脉冲等离子方法沉积的ZrO2 Y2 O3 陶瓷涂层和NiCoCrAlY合金层之间加入陶瓷梯度结合层的技术 ,进行了涂层的截面形貌分析。实验结果证明 ,在加入陶瓷梯度结合层之后 ,提高了NiCoCrAlY合金的抗高温氧化性能及与ZrO2 Y2 ... 研究了在利用高能脉冲等离子方法沉积的ZrO2 Y2 O3 陶瓷涂层和NiCoCrAlY合金层之间加入陶瓷梯度结合层的技术 ,进行了涂层的截面形貌分析。实验结果证明 ,在加入陶瓷梯度结合层之后 ,提高了NiCoCrAlY合金的抗高温氧化性能及与ZrO2 Y2 O3 ZrO2 陶瓷涂层的结合力。在实验的基础上提出了陶瓷涂层的物理模型。 展开更多
关键词 等离子沉积 ZRO2-Y2O3 陶瓷涂层 基体结合力 研究 高能脉冲等离子
下载PDF
真空等离子沉积中真空电弧的产生及触发电路的设计 被引量：1
3
作者 袁安富 程仲元 王珉 《南京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期47-50,共4页
在真空等离子沉积中 ,首先要触发真空电弧 ,由于等离子沉积本身所具有的复杂性 ,要成功地触发真空电弧必须考虑很多因素 ,如 :阴极的材料、电极的结构、阴阳两电极之间的间隙、电极的表面状态、触发方式等。文中对影响触发电弧的因素以... 在真空等离子沉积中 ,首先要触发真空电弧 ,由于等离子沉积本身所具有的复杂性 ,要成功地触发真空电弧必须考虑很多因素 ,如 :阴极的材料、电极的结构、阴阳两电极之间的间隙、电极的表面状态、触发方式等。文中对影响触发电弧的因素以及在设计触发电路时需要考虑的因素作了一定的分析 ,并在此基础上 。 展开更多
关键词 触发电路 等离子沉积 电弧喷涂 设计 真空
下载PDF
在真空等离子沉积中起弧和电弧稳定性问题研究 被引量：1
4
作者 袁安富 王珉 《表面技术》 EI CAS CSCD 1999年第6期14-16,共3页
在真空系统中,电弧的触发和稳定性受到很多因素的影响,如:阴极的材料、电极的结构、阴阳两电极之间的间隙、电极的表面状态、触发方式等。本文对于低真空状态下的电弧触发和稳定性问题作了探讨并提出了适合于本装置的较合理的参数。
关键词 电弧 稳定性 沉积 等离子沉积 起弧
下载PDF
超声波对等离子沉积成形组织性能的影响 被引量：1
5
作者 程成 钱应平 +1 位作者 周细枝 曾巍 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2015年第4期158-160,共3页
从超声波影响金属凝固的原理讨论超声振动对沉积层组织及性能的影响。根据等离子成形特点,提出了一种等离子超声复合装置设计方案,并总结等离子沉积成形技术遇到的关键问题。
关键词 等离子沉积 超声原理 组织缺陷 成形装置
下载PDF
一种激光—等离子金属零件快速沉积制造复合系统
6
作者 马义全 冯培锋 +1 位作者 王公海 张海东 《机电技术》 2015年第4期5-8,18,共5页
根据激光与等离子金属沉积的工作原理,构造了一种基于这两种技术的金属零件直接沉积制造复合系统,介绍了该系统的工作原理和系统构成,并具体描述了该系统的软、硬件实施。系统以数控加工中心为载体,设计了与之配合的激光等离子复合沉积... 根据激光与等离子金属沉积的工作原理,构造了一种基于这两种技术的金属零件直接沉积制造复合系统,介绍了该系统的工作原理和系统构成,并具体描述了该系统的软、硬件实施。系统以数控加工中心为载体,设计了与之配合的激光等离子复合沉积头及各子系统与数控机床的集成控制方案,可以实现机床的两种工作模式,并实现激光等离子复合沉积制造过程自动控制及对影响沉积质量的主要参数进行控制。 展开更多
关键词 金属快速制造 激光沉积 等离子沉积 复合系统
下载PDF
Norsk Titanium公司的快速等离子沉积3D打印技术获ITA奖
7
作者 孙智博(译) 《现代材料动态》 2019年第5期2-3,共2页
挪威的Norsk Titanium公司宣布,公司已成为国际钛协会2018年钛应用开发奖的获得者。据报道,Norsk Titanium公司开始向工业巨头波音公司提供结构性、添加剂制造的航空零件。这些首批符合OEM标准的零部件目前正飞行在波音787上。Norsk公... 挪威的Norsk Titanium公司宣布,公司已成为国际钛协会2018年钛应用开发奖的获得者。据报道,Norsk Titanium公司开始向工业巨头波音公司提供结构性、添加剂制造的航空零件。这些首批符合OEM标准的零部件目前正飞行在波音787上。Norsk公司利用其快速等离子沉积(RPD)送丝工艺,在挪威Henefoss和纽约Plattsburgh的生产工厂生产近净形钛部件。 展开更多
关键词 TITANIUM 等离子沉积 打印技术 ITA 3D 生产工厂 波音787 钛部件
原文传递
Norsk为波音供应3D打印钛组件
8
《新材料产业》 2017年第6期92-93,共2页
Norsk钛公司研发其快速等离子沉积（RPD）工艺超过10年，它可以用比相同组件少50％～75％的成本生产钛组件。
关键词 组件 钛 打印 3D 供应 波音 等离子沉积 比相
下载PDF
超声振动辅助等离子沉积成形的研究
9
作者 张小伟 钱应平 何寅 《电加工与模具》 2010年第6期28-31,共4页
介绍了等离子沉积成形的原理、应用及其存在的优缺点,从超声原理出发介绍了超声振动对等离子沉积过程中晶粒及组织的影响,并设计了超声振动辅助等离子沉积成形的实验装置,对实验过程中以及该实验可能涉及的问题进行了探讨。
关键词 等离子沉积 超声振动 组织缺陷
下载PDF
防污涂料
10
《涂料技术与文摘》 2017年第7期61-62,共2页
由于医疗设备细菌繁殖而导致的感染对病患和医疗机构来说都是实质性的问题。生物被动型聚恶唑啉涂膜作为一种潜在解决方案吸引了生物医学领域的关注。本文提出了一种独创的且简便的制备防污用等离子沉积法恶唑啉型涂膜的方法。通过等离... 由于医疗设备细菌繁殖而导致的感染对病患和医疗机构来说都是实质性的问题。生物被动型聚恶唑啉涂膜作为一种潜在解决方案吸引了生物医学领域的关注。本文提出了一种独创的且简便的制备防污用等离子沉积法恶唑啉型涂膜的方法。通过等离子沉积2-甲基-2-恶唑啉和2-乙基-2-恶唑啉， 展开更多
关键词 防污涂料 等离子沉积 聚恶唑啉 医疗机构 细菌繁殖 医疗设备 医学领域 被动型
下载PDF
等离子沉积工艺的智能控制
11
作者 继植 《航空制造工程》 1991年第9期13-15,5,共4页
关键词 等离子沉积 工艺 智能控制 电加工
原文传递
合成金刚石的某些方法评介
12
作者 罗崇泰 黄良甫 +1 位作者 李梦轲 刘定权 《真空与低温》 1990年第2期33-38,共6页
首先扼要阐述了与金刚石薄膜制备技术有关的等离子体特性,随后着重介绍了金刚石薄膜制备技术的最新进展。根据沉积工艺参数和装置的结构评价了各种技术的优缺点。最后指出了目前这些技术中存在的问题。
关键词 金刚石 薄膜 真空镀膜 等离子沉积
下载PDF
等离子堆焊技术的研究进展 被引量：7
13
作者 赵唯 柳林 +1 位作者 张海鸥 王桂兰 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第F05期216-218,221,共4页
综述了等离子堆焊技术的原理、应用及最新研究状况，包括等离子沉积制造技术（plasma deposition manufacturing，PDM）、等离子激光复合堆焊技术（1aser plasma hybrid surfacing，LPHS）等。概述了等离子沉积制造的技术特点，展示了运... 综述了等离子堆焊技术的原理、应用及最新研究状况，包括等离子沉积制造技术（plasma deposition manufacturing，PDM）、等离子激光复合堆焊技术（1aser plasma hybrid surfacing，LPHS）等。概述了等离子沉积制造的技术特点，展示了运用PDM和LPHS技术直接成型高温合金GH163零件的一些研究结果。 展开更多
关键词 等离子堆焊 等离子沉积制造 激光等离子复合堆焊 高温合金 显微组织
下载PDF
射频等离子沉积聚硅氧烷薄膜的XPS研究 被引量：5
14
作者 齐尚奎 吕晋军 +3 位作者 张平余 杨生荣 王云飞 王敬宜 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2001年第4期459-464,共6页
用CVD方法在一台射频放电等离子体聚合实验装置内成功地制备了沉积聚酯薄膜基底有机聚硅氧烷薄膜。该薄膜在有原子氧模拟实验装置内具有抗原子氧剥蚀的良好性能 ,对航天器等材料表面起到防护作用。有机聚硅氧烷薄膜与等离子体沉积时氧... 用CVD方法在一台射频放电等离子体聚合实验装置内成功地制备了沉积聚酯薄膜基底有机聚硅氧烷薄膜。该薄膜在有原子氧模拟实验装置内具有抗原子氧剥蚀的良好性能 ,对航天器等材料表面起到防护作用。有机聚硅氧烷薄膜与等离子体沉积时氧的泄露量有关 ,且沉积密度经AFM检测有较大的差异。并用XPS较详细考察了不同工艺制备的聚硅氧烷官能团构成和表面状态 。 展开更多
关键词 原子氧 CVD 有机聚硅氧烷 XPS 薄膜 射频等离子沉积 航天器 表面改性 材料
下载PDF
铝酸盐溶液对TiAl合金微弧氧化膜生长和膜层特性的影响 被引量：3
15
作者 李夕金 薛文斌 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第7期97-103,共7页
目的改善TiAl合金表面结构,提高其力学性能。方法利用微弧氧化(MAO)方法,在NaAlO2电解液中制备了TiAl合金表面的陶瓷膜,分析微弧氧化过程中不同阶段的膜层生长特点,并研究铝酸盐溶液对微弧氧化膜生长速率的影响。通过硬度测试和显微划... 目的改善TiAl合金表面结构,提高其力学性能。方法利用微弧氧化(MAO)方法,在NaAlO2电解液中制备了TiAl合金表面的陶瓷膜,分析微弧氧化过程中不同阶段的膜层生长特点,并研究铝酸盐溶液对微弧氧化膜生长速率的影响。通过硬度测试和显微划痕测试方法,评价膜层对基体硬度的影响和膜/基结合力的变化。利用扫描电子显微镜(SEM)分析不同厚度膜层的结构,结合能谱仪(EDS)分析膜层中元素的分布变化。使用X射线衍射仪(XRD)分析膜层相结构的变化。结果铝酸盐溶液中微弧氧化膜的厚度随着微弧氧化时间增加,可以达到57μm。微弧氧化过程分为明火花和暗火花生长两个阶段:前30min是明火花生长阶段,生长速率可达1μm/min;后续时间为暗火花生长阶段,生长速率约为0.23μm/min。膜层包括致密内层和疏松外层。致密层中孔隙较少,Al、Ti含量较低;外层有较大的孔隙,Al含量较高,Ti含量较低。扫描电子显微镜结果显示,膜的内层与基体结合良好。显微划痕实验测得膜/基结合力达到45N。陶瓷膜的相成分是Rutile-TiO2和Al2TiO5,且随着膜层变厚,Al2TiO5的相对含量上升。陶瓷膜的显微硬度随着膜厚度的增加而增加,120min膜的显微硬度值可达1450HV,是基体硬度的3倍多。结论在NaAlO2中对TiAl合金进行微弧氧化处理,可以制备55μm的陶瓷层。该膜层与基体间有优异的结合力,可以有效改善基体的表面结构,提高材料的硬度,改善其耐磨性能。 展开更多
关键词 TIAL合金 微弧氧化 液相等离子沉积 铝酸盐溶液 结构 硬度
下载PDF
光掩膜版用低羟基高纯石英玻璃的研究 被引量：2
16
作者 陈娅丽 吴椿烽 +4 位作者 钱宜刚 汤明明 陈京京 顾铃铃 缪丽华 《玻璃》 2021年第3期6-10,共5页
介绍了采用不同原材料由一步法工艺所制备的石英玻璃的方法及其光学性能与杂质含量,基于羟基含量高、尺寸小等缺点,通过优化工艺,以两步法(沉积、脱羟烧结)制备的石英玻璃更具有优良的性能。检测结果表明,两步法气相沉积工艺制备的石英... 介绍了采用不同原材料由一步法工艺所制备的石英玻璃的方法及其光学性能与杂质含量,基于羟基含量高、尺寸小等缺点,通过优化工艺,以两步法(沉积、脱羟烧结)制备的石英玻璃更具有优良的性能。检测结果表明,两步法气相沉积工艺制备的石英玻璃具有更低的羟基含量≤1×10^(-6),以及良好的透过率85%以上,完全满足高端光电技术领域的应用需求。 展开更多
关键词 气相沉积工艺 CVD法 等离子沉积工艺 羟基 石英玻璃
下载PDF
高频等离子固相外沉积工艺参数在线测量系统研究 被引量：2
17
作者 秦卫光 邵明强 +1 位作者 孙丽丽 刘晓光 《中国建材科技》 2017年第3期68-69,87,共3页
高频等离子固相外沉积工艺工程中沉积温度和沉积量是最为关键的工艺参数,但受到沉积车间温度、强光照和高频信号干扰等不利条件的限制,常规测量方法无法实现精确测量。本文根据工艺特性采用红外测温和影像测量的手段实现工艺过程的在线... 高频等离子固相外沉积工艺工程中沉积温度和沉积量是最为关键的工艺参数,但受到沉积车间温度、强光照和高频信号干扰等不利条件的限制,常规测量方法无法实现精确测量。本文根据工艺特性采用红外测温和影像测量的手段实现工艺过程的在线精确测量,提升了工艺控制精度和石英材料产品品质。 展开更多
关键词 高频等离子沉积工艺 红外测温 影像测量
下载PDF
气相沉积涂层技术用于钻探机具的硬质润滑薄膜 被引量：1
18
作者 唐宇 尹德政 《价值工程》 2014年第21期53-55,共3页
钻探机具,要带有最优的耐磨特性,以及最优的耐蚀特性;在苛刻的态势下,也应妥善运转。钻探机具固有的表面性能,涵盖了配件的耐磨特性。载能粒子惯常的沉积状态,关涉着摩擦薄膜特有的构架问题。要提升配件原有的耐磨特性,就应提高机具表... 钻探机具,要带有最优的耐磨特性,以及最优的耐蚀特性;在苛刻的态势下,也应妥善运转。钻探机具固有的表面性能,涵盖了配件的耐磨特性。载能粒子惯常的沉积状态,关涉着摩擦薄膜特有的构架问题。要提升配件原有的耐磨特性,就应提高机具表层硬度,用气相沉积技术,接纳复合架构下的、多层级高结合力的层积思路,制备出硬度较高的表层。这样制备好的润滑薄膜,带有独特构架及特有的性能,能提快原有的钻探速率,供应可用的新技术。 展开更多
关键词 气相等离子沉积 钻探机具 硬质润滑薄膜
下载PDF
类金刚石薄膜厚度的测量 被引量：1
19
作者 袁安富 王珉 《表面技术》 EI CAS CSCD 2000年第2期17-19,共3页
采用真空等离子沉积的类金刚石膜，它属于一种超薄性的薄膜。在诸多的测量方法中，本文采用了椭圆偏振光测量法来测量薄膜的厚度。该方法运用布鲁斯特角，并根据起偏器、检偏器和四分之一波片精确测量了薄膜的厚度。在测量薄膜厚度的同... 采用真空等离子沉积的类金刚石膜，它属于一种超薄性的薄膜。在诸多的测量方法中，本文采用了椭圆偏振光测量法来测量薄膜的厚度。该方法运用布鲁斯特角，并根据起偏器、检偏器和四分之一波片精确测量了薄膜的厚度。在测量薄膜厚度的同时也可知道所沉积膜的均匀性情况。 展开更多
关键词 薄膜 厚度测量 PVD 真空等离子沉积 金刚石
下载PDF
温度对AZ91D镁合金表面弧辉等离子沉积TiN薄膜的影响 被引量：1
20
作者 缪强 崔彩娥 +3 位作者 潘俊德 张平则 段良辉 刘亚萍 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期2036-2040,共5页
采用弧辉等离子沉积工艺在镁合金AZ91表面涂覆了TiN薄膜。研究了沉积温度对膜层的厚度、结合力及硬度的影响。用扫描电镜（SEM）、X射线衍射（XRD）和辉光放电光潜（GDS）分析了涂层的成分和微观结构。结果表明，随着控制温度的升高，... 采用弧辉等离子沉积工艺在镁合金AZ91表面涂覆了TiN薄膜。研究了沉积温度对膜层的厚度、结合力及硬度的影响。用扫描电镜（SEM）、X射线衍射（XRD）和辉光放电光潜（GDS）分析了涂层的成分和微观结构。结果表明，随着控制温度的升高，膜层厚度呈缓慢增加的趋势，但温度过高或过低结合力明显下降，以160～180℃最佳。180℃时的硬度HK0.01最高，达14630MPa。 展开更多
关键词 AZ91D镁合金 TIN薄膜 弧辉等离子沉积 结合力 硬度
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 2 … 12 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部