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多晶硅薄膜的等离子氢化新工艺
1
作者
曾祥斌
徐重阳
+5 位作者
JohnnyK.O.Sin
王长安
赵伯芳
周雪梅
张洪涛
饶瑞
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2000年第6期415-417,共3页
根据多晶硅薄膜氢化的微观机理 ,提出改进氢化效果的工艺方法。在不增加设备投资的情况下 ,采用该方法能够明显提高多晶硅薄膜的氢化效果 ,从而提高薄膜晶体管的性能 ,ION/ IOFF从1 0 3量级增加到 1 0 5量级 ,氢化工艺的处理时间也相应...
根据多晶硅薄膜氢化的微观机理 ,提出改进氢化效果的工艺方法。在不增加设备投资的情况下 ,采用该方法能够明显提高多晶硅薄膜的氢化效果 ,从而提高薄膜晶体管的性能 ,ION/ IOFF从1 0 3量级增加到 1 0 5量级 ,氢化工艺的处理时间也相应缩短。
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关键词
多晶硅薄膜
氢化
工艺
薄膜晶体管
等离子
氢化
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职称材料
四氯化硅氢化研究进展
被引量：
27
2
作者
陈其国
陈涵斌
满慈皊
《氯碱工业》
CAS
2010年第6期27-30,共4页
综述了四氯化硅热氢化法、氯氢化法和等离子体氢化法制备三氯氢硅的最新进展,并对这3种技术进行了对比。
关键词
四氯化硅
三氯氢硅
多晶硅
热
氢化
氯
氢化
等离子
体法
氢化
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职称材料
植物油氢化技术研究进展(Ⅱ)
被引量：
11
3
作者
刘军海
裘爱泳
《中国油脂》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第9期22-25,共4页
扼要介绍了超临界催化氢化、等离子体技术氢化、膜反应器氢化等氢化技术的原理、优点和目前存在的问题等。
关键词
植物油
氢化
技术
超临界催化
氢化
等离子
体技术
氢化
膜反应器
氢化
下载PDF
职称材料
等离子体氢化对TiAl合金组织及力学性能的影响
4
作者
刘永达
董福宇
+4 位作者
林雪健
张悦
石明浩
黄宏军
袁晓光
《特种铸造及有色合金》
CAS
北大核心
2020年第5期567-570,共4页
对TiAl合金进行了等离子体氢化处理,研究了氢化处理对TiAl合金组织及力学性能的影响。结果表明,通过LECO ROH600氢氧含量分析仪测得H实际含量为0.060%。置氢处理前后TiAl合金的相组成未发生变化,仍为γ-TiAl和α2-Ti3Al,氢以固溶的形式...
对TiAl合金进行了等离子体氢化处理,研究了氢化处理对TiAl合金组织及力学性能的影响。结果表明,通过LECO ROH600氢氧含量分析仪测得H实际含量为0.060%。置氢处理前后TiAl合金的相组成未发生变化,仍为γ-TiAl和α2-Ti3Al,氢以固溶的形式存在于TiAl合金中。置氢处理后,合金硬度和室温抗压强度均有所提升。高温变形过程中的流变应力更低,材料再结晶程度提高,变形更加均匀。
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关键词
TIAL合金
等离子
体
氢化
处理
组织
力学性能
EBSD
原文传递
题名
多晶硅薄膜的等离子氢化新工艺
1
作者
曾祥斌
徐重阳
JohnnyK.O.Sin
王长安
赵伯芳
周雪梅
张洪涛
饶瑞
机构
华中理工大学电子科学与技术系
香港科技大学电气与电子工程系
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2000年第6期415-417,共3页
文摘
根据多晶硅薄膜氢化的微观机理 ,提出改进氢化效果的工艺方法。在不增加设备投资的情况下 ,采用该方法能够明显提高多晶硅薄膜的氢化效果 ,从而提高薄膜晶体管的性能 ,ION/ IOFF从1 0 3量级增加到 1 0 5量级 ,氢化工艺的处理时间也相应缩短。
关键词
多晶硅薄膜
氢化
工艺
薄膜晶体管
等离子
氢化
Keywords
Poly-silicon film
Hydroge nation
Plasma hydrogenation
Thin film transistor
分类号
TN304.055 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
四氯化硅氢化研究进展
被引量：
27
2
作者
陈其国
陈涵斌
满慈皊
机构
江苏中能硅业科技发展有限公司
出处
《氯碱工业》
CAS
2010年第6期27-30,共4页
文摘
综述了四氯化硅热氢化法、氯氢化法和等离子体氢化法制备三氯氢硅的最新进展,并对这3种技术进行了对比。
关键词
四氯化硅
三氯氢硅
多晶硅
热
氢化
氯
氢化
等离子
体法
氢化
Keywords
silicon tetrachloride
trichlorosilane
polysilicon
thermal hydrogenation
hydrochlorination
plasma hydrogenation
分类号
TQ127.2 [化学工程—无机化工]
下载PDF
职称材料
题名
植物油氢化技术研究进展(Ⅱ)
被引量：
11
3
作者
刘军海
裘爱泳
机构
江南大学食品学院
聊城大学化学化工学院
出处
《中国油脂》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第9期22-25,共4页
文摘
扼要介绍了超临界催化氢化、等离子体技术氢化、膜反应器氢化等氢化技术的原理、优点和目前存在的问题等。
关键词
植物油
氢化
技术
超临界催化
氢化
等离子
体技术
氢化
膜反应器
氢化
Keywords
Oils
supercritical hydrogenation
plasma-hydrogenation
membrane-reactor-hydrogenation
分类号
TS225.6 [轻工技术与工程—粮食、油脂及植物蛋白工程]
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职称材料
题名
等离子体氢化对TiAl合金组织及力学性能的影响
4
作者
刘永达
董福宇
林雪健
张悦
石明浩
黄宏军
袁晓光
机构
沈阳工业大学材料科学与工程学院
出处
《特种铸造及有色合金》
CAS
北大核心
2020年第5期567-570,共4页
基金
辽宁省教育厅资助项目(LQGD2019001)
辽宁省自然科学基金资助项目(20180510056,2019-ZD-0216)。
文摘
对TiAl合金进行了等离子体氢化处理,研究了氢化处理对TiAl合金组织及力学性能的影响。结果表明,通过LECO ROH600氢氧含量分析仪测得H实际含量为0.060%。置氢处理前后TiAl合金的相组成未发生变化,仍为γ-TiAl和α2-Ti3Al,氢以固溶的形式存在于TiAl合金中。置氢处理后,合金硬度和室温抗压强度均有所提升。高温变形过程中的流变应力更低,材料再结晶程度提高,变形更加均匀。
关键词
TIAL合金
等离子
体
氢化
处理
组织
力学性能
EBSD
Keywords
TiAl Alloy
Plasma-hydrogenation
Microstructure
Mechanical Properties
EBSD
分类号
TG146.2 [一般工业技术—材料科学与工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
多晶硅薄膜的等离子氢化新工艺
曾祥斌
徐重阳
JohnnyK.O.Sin
王长安
赵伯芳
周雪梅
张洪涛
饶瑞
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2000
0
下载PDF
职称材料
2
四氯化硅氢化研究进展
陈其国
陈涵斌
满慈皊
《氯碱工业》
CAS
2010
27
下载PDF
职称材料
3
植物油氢化技术研究进展(Ⅱ)
刘军海
裘爱泳
《中国油脂》
CAS
CSCD
北大核心
2003
11
下载PDF
职称材料
4
等离子体氢化对TiAl合金组织及力学性能的影响
刘永达
董福宇
林雪健
张悦
石明浩
黄宏军
袁晓光
《特种铸造及有色合金》
CAS
北大核心
2020
0
原文传递
已选择
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