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全方位离子注入与沉积类金刚石碳膜的结构与性能 被引量：5
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作者 刘洪喜 蒋业华 +1 位作者 周荣 汤宝寅 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期108-112,118,共6页
用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)复合强化新技术在AISI440C不锈钢表面制备了类金刚石(DLC)碳膜。膜层表面的原子力显微镜(AFM)形貌显示出DLC膜结构致密均匀。Raman光谱分析结果表明,制备的DLC主要是由金刚石键(sp3)和石墨键(sp2)... 用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)复合强化新技术在AISI440C不锈钢表面制备了类金刚石(DLC)碳膜。膜层表面的原子力显微镜(AFM)形貌显示出DLC膜结构致密均匀。Raman光谱分析结果表明,制备的DLC主要是由金刚石键(sp3)和石墨键(sp2)组成的混合无定形碳膜,且sp3键含量大于10%。以纯石墨棒做阴极,C2H2为工作气体条件下合成的DLC薄膜中,sp3键含量总体上较单纯用石墨作阴极而无工作气体条件下合成的DLC薄膜中sp3键含量高。与基体相比,薄膜试样的显微硬度和摩擦磨损性能均得到了较大改善,最大硬度提高88.7%,磨损寿命延长超过4倍。 展开更多
关键词 类金刚石碳膜(DLC) 等离子体浸没离子注入与沉积(piiid) RAMAN光谱 AISI440C不锈钢
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PIIID复合强化处理轴承钢表面TiN膜层的XPS表征 被引量：4
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作者 刘洪喜 蒋业华 +1 位作者 詹兆麟 汤宝寅 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第9期2585-2589,共5页
用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)复合强化新技术在AISI52100轴承钢基体表面成功合成了硬而耐磨的氮化钛薄膜。膜层表面的化学组成和相结构分别用X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)表征;膜层表面的原子力显微镜(AFM)形貌显示出... 用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)复合强化新技术在AISI52100轴承钢基体表面成功合成了硬而耐磨的氮化钛薄膜。膜层表面的化学组成和相结构分别用X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)表征;膜层表面的原子力显微镜(AFM)形貌显示出TiN膜结晶完整,结构致密均匀。XRD测试结果表明,TiN在(200)晶面衍射峰最强,具有择优取向。Ti(2p)的XPS谱峰泰勒拟合分析揭示出,Ti(2p1/2)峰和Ti2p3/2峰均有双峰出现,表明氮化物中的Ti至少存在不同的化学状态;N(1s)的XPS谱峰在396.51,397.22和399.01 eV附近出现了三个分峰,分别对应于TiNxOy,TiN和N—N键中的氮原子。结合O(1s)的XPS结果,证实膜层中除生成有稳定的TiN相外,还有少量钛的氧化物和未参与反应的单质氮。整个膜层是由TiN,TiO2,Ti—O—N化合物和少量单质氮组成的复合体系。 展开更多
关键词 XPS分析 等离子体浸没离子注入与沉积(piiid) 氮化钛薄膜 轴承钢
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