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电容耦合的抑制对感应耦合放电等离子体的影响
1
作者
辛煜
宁兆元
+1 位作者
狄小莲
虞一青
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期439-443,共5页
感应耦合等离子体(ICP)是微电子工业刻蚀高精度沟槽结构的首选高密度等离子体源。研究ICP的电特性与等离子体电学参量的变化显得非常重要。本文中,在平板型ICP源的感应线圈和介质窗口之间,使用了对称、均匀、呈辐射状的法拉第屏蔽板。...
感应耦合等离子体(ICP)是微电子工业刻蚀高精度沟槽结构的首选高密度等离子体源。研究ICP的电特性与等离子体电学参量的变化显得非常重要。本文中,在平板型ICP源的感应线圈和介质窗口之间,使用了对称、均匀、呈辐射状的法拉第屏蔽板。结果表明,屏蔽板的使用不仅极大地降低了干扰等离子体参量测量的等离子体射频电位,而且也降低了线圈中的放电电流和等离子体中的轴向微分磁场信号强度,但Ar等离子体的发射光谱表明,法拉第屏蔽的采用对等离子体功率吸收的影响不大。对测量信号中出现的高次谐波行为也做了定性的讨论。
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关键词
感应耦合
等离子体
等离子体
射频
电位
法拉第屏蔽
电容耦合
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职称材料
题名
电容耦合的抑制对感应耦合放电等离子体的影响
1
作者
辛煜
宁兆元
狄小莲
虞一青
机构
苏州大学物理科学与技术学院
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期439-443,共5页
基金
国家自然科学基金的资助(No.10305008)
文摘
感应耦合等离子体(ICP)是微电子工业刻蚀高精度沟槽结构的首选高密度等离子体源。研究ICP的电特性与等离子体电学参量的变化显得非常重要。本文中,在平板型ICP源的感应线圈和介质窗口之间,使用了对称、均匀、呈辐射状的法拉第屏蔽板。结果表明,屏蔽板的使用不仅极大地降低了干扰等离子体参量测量的等离子体射频电位,而且也降低了线圈中的放电电流和等离子体中的轴向微分磁场信号强度,但Ar等离子体的发射光谱表明,法拉第屏蔽的采用对等离子体功率吸收的影响不大。对测量信号中出现的高次谐波行为也做了定性的讨论。
关键词
感应耦合
等离子体
等离子体
射频
电位
法拉第屏蔽
电容耦合
Keywords
ICP, Plasma rf potential, Faraday shield, Capacitive coupling
分类号
O53 [理学—等离子体物理]
TN3 [理学—物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电容耦合的抑制对感应耦合放电等离子体的影响
辛煜
宁兆元
狄小莲
虞一青
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
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职称材料
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