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系统级模拟的MEMS器件宏模型 被引量：6
1
作者 戎华 黄庆安 李伟华 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2002年第5期366-371,共6页
MEMS器件的系统级模拟是实现器件优化的重要环节 ,常用的MEMS器件系统级模拟方法是基于宏模型 ,该宏模型要能与电路模拟软件相连接 ,再用电路模拟软件进行系统级模拟。因此 ,关键是如何建立能满足此种要求的宏模型。本文介绍了常用的等... MEMS器件的系统级模拟是实现器件优化的重要环节 ,常用的MEMS器件系统级模拟方法是基于宏模型 ,该宏模型要能与电路模拟软件相连接 ,再用电路模拟软件进行系统级模拟。因此 ,关键是如何建立能满足此种要求的宏模型。本文介绍了常用的等效电路宏模型和硬件描述语言宏模型的建立方法以及这两种宏模型的优缺点。 展开更多
关键词 MEMS器件 系统级模拟 等效电路宏模型 硬件描述语言宏模型 微机电系统
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F-I类比方法及MEMS梁的等效电路宏模型 被引量：2
2
作者 戎华 黄庆安 李伟华 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期528-533,共6页
建立了一种基于力 -电流 ( F- I)类比、适用于梁结构机电耦合系统小信号时域及频域分析的等效电路宏模型 ,与已有的基于力 -电压 ( F- V)类比的等效电路宏模型相比 ,基于 F- I类比的等效电路宏模型的电网络与原来的机械网络具有相同的... 建立了一种基于力 -电流 ( F- I)类比、适用于梁结构机电耦合系统小信号时域及频域分析的等效电路宏模型 ,与已有的基于力 -电压 ( F- V)类比的等效电路宏模型相比 ,基于 F- I类比的等效电路宏模型的电网络与原来的机械网络具有相同的拓扑结构 ,因此 ,基于 F- I类比的等效电路宏模型能为复杂机电系统等效电路宏模型的建立带来很大的方便 .模拟结果表明该模型具有较高的精度 . 展开更多
关键词 F-I类比 力-电流类比 等效电路宏模型 MEMS梁 模态分析 拉格朗日方程 微机电系统
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MEMS微传感器件IP库的建立方法 被引量：1
3
作者 殷刚毅 《电子器件》 EI CAS 2005年第3期690-692,695,共4页
为实现MEMS器件系统级的模拟,运用等效电路宏模型的方法建立相应的IP模型库单元。本文以悬臂梁结构的微传感器为例,描述了如何根据基本结构与数学方程建立等效电路宏模型,并采用COVENTORWARE软件进行了模型的各个模态的谐振频率和相关... 为实现MEMS器件系统级的模拟,运用等效电路宏模型的方法建立相应的IP模型库单元。本文以悬臂梁结构的微传感器为例,描述了如何根据基本结构与数学方程建立等效电路宏模型,并采用COVENTORWARE软件进行了模型的各个模态的谐振频率和相关曲线的验证,最后通过我们自行开发的IP库单元建立接口软件对单元进行了封装与入库。 展开更多
关键词 等效电路宏模型 系统级 SPICE IP库
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基于受力分析的MEMS薄膜系统级模拟方法的研究
4
作者 李蓓佳 李伟华 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期607-610,共4页
介绍一种MEMS系统级模拟方法。该方法直接分析运动物体的受力情况,并结合能量原理,利用受控源的反馈实现耦合作用,建立机电耦合MEMS薄膜的等效电路模型。利用该等效电路实现对薄膜动态行为的系统级模拟,并将Spice和有限元法,Saber的模... 介绍一种MEMS系统级模拟方法。该方法直接分析运动物体的受力情况,并结合能量原理,利用受控源的反馈实现耦合作用,建立机电耦合MEMS薄膜的等效电路模型。利用该等效电路实现对薄膜动态行为的系统级模拟,并将Spice和有限元法,Saber的模拟结果进行对比,验证了该模拟方法应用于二维情况分析的有效性。 展开更多
关键词 MEMS设计 系统级模拟 薄膜 受力分析 等效电路宏模型
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