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题名等倾与相移两种干涉仪的平面度绝对测量比对
被引量：4
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作者
王青
顾洋
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机构
南京理工大学
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出处
《计测技术》
2018年第2期30-33,共4页
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基金
国家重大仪器专项开发(2013YQ150829)
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文摘
采用三平面互检测量方法,分别在等倾干涉仪和相移干涉仪上对平晶平面度进行了绝对测量比对。针对两种干涉仪不同的测量原理,提出了一种规范方法以从相移干涉仪数十万点阵测量数据中,提取符合等倾干涉仪测量数据格式的结果;对比等倾干涉仪的结构与环境控制方法,研究了相移干涉仪进行平面度绝对检验过程中的温度、温度梯度、温度分层情况,采取双重保温措施下达到了0.002μm的测量重复性,和0.01μm的绝对检验测量不确定度。与等倾干涉仪的检定结果的差异小于0.01μm,证明了相移干涉仪用于平晶的平面度检定工作可行性。
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关键词
平面度
相移干涉仪
等倾干涉仪
三平面互检
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Keywords
flatness
phase - shifting interferometer
isoclinic interferometer
three - flat test
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分类号
TB921
[一般工业技术—计量学]
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题名基于机器视觉与等倾干涉术的平面度测量装置
被引量：4
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作者
汤昌社
潘嘉声
周建友
胡润洪
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机构
广东省计量科学研究院
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出处
《中国测试技术》
2008年第2期16-17,47,共3页
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基金
国家质检总局科技项目(2005QK73)
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文摘
为实现平晶平面度的快速测量,运用机器视觉技术对等倾干涉仪进行改造。计算机对CCD采集的干涉图进行实时处理,再利用所有像素样本点(约4 000个)的最小二乘法同时拟合出多条干涉环直径并计算标准干涉环直径D0。对平晶表面不同的检定点,测量软件均能根据其实测D0值计算平面度。改造后的干涉仪不但显著提高了工作效率,且大大降低了劳动强度。
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关键词
平晶
CCD
等倾干涉仪
最小二乘拟合
标准干涉环
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Keywords
Optical flat
CCD
Isoclinic interferometer
Least square fitting
Standard interference ring
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分类号
TH741.3
[机械工程—光学工程]
TH821
[机械工程—仪器科学与技术]
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