-
题名离子束加工中全频段误差的演变
被引量：3
- 1
-
-
作者
李文卿
张继友
王永刚
马仙梅
孟晓辉
李昂
-
机构
北京空间机电研究所
国防科技工业光学超精密加工技术创新中心
-
出处
《航天返回与遥感》
CSCD
2020年第5期47-54,共8页
-
基金
国防科技创新特区项目(19-163-18-ZT-013-023-01)。
-
文摘
在空间光学、光刻物镜、惯性约束聚变及强光系统等领域的高精密光学元件制造过程中,采用基于小磨头抛光原理的修形技术,虽然能有效去除面形低频误差,但对中高频误差难以修正。为了达到有效控制全频段误差的目的,文章以直径420mm的非球面为样件,在离子束抛光机床上进行不同频段误差的修形收敛试验。针对光学元件面形误差在不同频段的特性,以面形误差频段均方根及梯度均方根指标作为评价参数,分析各频段误差产生的原因,探索离子束工艺参数及其他因素与各频段误差间的对应关系。通过4轮离子束迭代加工后,样件全频段面形误差均方根值从34.973nm收敛到6.025nm,梯度均方根值由0.091λ/cm收敛到0.061λ/cm(λ=632.8nm)。试验结果表明:通过优化离子束的工艺参数,可显著提升光学元件的全频段面形精度,实现频段误差在不同评价参数下的同步收敛。频段均方根及梯度均方根指标可作为评价全频段面形误差变化的标准,对光学加工具有参考价值。
-
关键词
空间频段
全频段误差
离子束修形
工艺参数
航天遥感
-
Keywords
spatial frequency band
full band error
ion beam polishing
process parameters
space remote sensing
-
分类号
TH706
[机械工程—仪器科学与技术]
-
