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题名程控无油超高真空排气台的研制
被引量：3
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作者
米伦
李晓勇
王远
李建
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机构
中国工程物理研究院电子工程研究所
北京利方达真空技术有限责任公司
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出处
《真空与低温》
2005年第3期170-174,共5页
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文摘
由外冷式吸附泵作为前级泵、溅射离子泵作为主抽真空泵构成无油超高真空系统,采用计算机控制技术,以真空度为工艺进程判据,对器件进行烘烤排气,实现电真空器件的真空排气工艺的自动控制。介绍了无油超高真空系统、控制系统、烘箱与热功率以及软件的设计。排气台为多工位结构,具有气体质谱分析和充气功能;空载时极限真空度优于8×10-7Pa;烘箱烘烤温度为25～600℃,连续可调,恒温精度优于±1%;分析质量数为1～80。程控排气台设计合理,操作简便,计算机控制技术精细了工艺过程控制量,排除了人为因素,其性能稳定可靠,可满足使用要求。
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关键词
无油超高真空系统
真空度
程控工艺
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Keywords
oil free high vacuum system
vacuum degree
programmed control
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分类号
TP273
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TB751
[自动化与计算机技术—控制科学与工程]
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