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稀土化合物浆料对CVD金刚石厚膜的刻蚀 被引量：5
1
作者 王佳宇 金爱子 +2 位作者 白亦真 纪红 金曾孙 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期172-174,共3页
ＣＶＤ金刚石厚膜具有极高的硬度，使得对其进行表面抛光极为困难．传统的机械抛光方法既不经济又耗费时间，而一些新的抛光技术又由于实验条件限制而难以推广．针对以上情况，我们寻求到一种新的化学刻蚀方法，即利用稀土化合物浆料对... ＣＶＤ金刚石厚膜具有极高的硬度，使得对其进行表面抛光极为困难．传统的机械抛光方法既不经济又耗费时间，而一些新的抛光技术又由于实验条件限制而难以推广．针对以上情况，我们寻求到一种新的化学刻蚀方法，即利用稀土化合物浆料对金刚石厚膜生长表面进行刻蚀，破坏表面的晶粒使之成为晶骸，降低表面的耐磨性，以提高表面粗糙的金刚石厚膜的抛光效率． 展开更多
关键词 CVD 金刚石厚膜 刻蚀 稀土化合物浆料 表面形貌 生长表面 镜面抛光效率
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CVD金刚石厚膜的稀土化合物浆料刻蚀(英文)
2
作者 王佳宇 白亦真 +3 位作者 陈宏宇 吕宪义 金曾孙 纪红 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2001年第3期240-243,共4页
与现有的金刚石膜抛光工艺相匹配的高效刻蚀技术，是目前研究的热点。自行研制的稀土 化合物浆料对 CVD金刚石厚膜进行了刻蚀研究，刻蚀过程在低于金刚石氧化点的温度下和大气 环境中完成。其刻蚀结果，用扫描电子显微镜给出。实验表... 与现有的金刚石膜抛光工艺相匹配的高效刻蚀技术，是目前研究的热点。自行研制的稀土 化合物浆料对 CVD金刚石厚膜进行了刻蚀研究，刻蚀过程在低于金刚石氧化点的温度下和大气 环境中完成。其刻蚀结果，用扫描电子显微镜给出。实验表明 ,该工艺采用廉价的稀土化合物为 原料，具有简单、安全、高效的特点。 展开更多
关键词 CVD 金刚石厚膜 刻蚀 稀土化合物浆料
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